153977
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 153977
Текст
. Р. Носо ЧНЬ 1 Х р-и ПЕРЕХОДО ПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ 76496426-9и Совете Министров СССРык знаков М 8 за 1963 г. Заявлено 14 февраля 1962 г. за Л в Комитет по делам изобретений и открытий п Опубликовано в Бюллетене изобретений п товар Известен способ изготовления точечных р-и переходов, основанный на электроформовке контакта, состоящего из пластины полупроводникового материала п типа (или р типа) и металлической нгль;, конец которой содержит акцепторные г 1 ли донорные) примеси, При таком способе затруднено получение р-и переходов на пластинах полупроводникового материала малой толщины.Предлагается способ создания р-п переходов на пластинах полупроводникового материала толщиной порядка 50 р путем предварптсль ного окисления поверхности полупроводника л 1 обым пзвсстным спссобом.Приведена электрическая схема, поясняющая этот способ.Формовку окисленной полупроводниковой, например кремниевоц пластины 1, осуществляют положительным импульсом, подавая напряжение порядка 200 в. В начальной стадии импульса по цепи течет ма. лый ток, так как окись кремния является изолятором, и в месте конт акта острия с окисленной поверхностью имеется большое сопротивление. В результате все напряжение импульса прикладывается практически к месту контакта, где и выделяется вся мощность, Вследствие этого полупроводниковая пластина разогревается еще до начала кон такта иглы с ее поверхностью. Под влиянием разогрева и высокого напряжения пленка окиси разрушаегся, в образовавшуюся щель вплав. ляется акцепторная примесь, например алюминий. При этом сопротпв ление контакта игла - кремний резко падает и ббльшая часть мощности импульса падает на сопротивление 2, не приводя к чрезмерному перегреву кристалла и р-п перехода.,Мо 153977 Полученная подобным способом окисная пленка на поверхности полупроводниковой пластины хорошо защищает образовавшийся р-и гереход, она стабильна во времени и при повышенных температурах. Предмет изобретения Способ изготовления точечных р-и переходов путем электроформовки положительными импульсами напряжения контакта, состоящего из пластины полупроводникового материала и типа (или р типа) и металлической иглы, конец которой содержит акцепторные (или донорные) примеси, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью создания р-п переходов на пластинах полупроводникового материала толщиной по. рядка 50 р, поверхность полупроводниковой пластины предварительно окисляют любым известным способом. Редактор В. Корзун Техред А. А. Камышникова Корректор Б, Венгеров Формат бум. 70Тираж 1200о комитета по деламква, Центр, пр. Сер Х 108/1 в Объем 0,18 изд, л.Цена 4 коп.изобретений и открытий СССРа, д. 4. Подп, к печ, 24/Ч 1 - 63 г.Зак. 1580/16ЦНИИЛЙ ГосударственноМо ипография, пр. Сапунова, 2
СмотретьЗаявка
764064
МПК / Метки
МПК: H01L 21/479
Метки: 153977
Опубликовано: 01.01.1963
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-153977-153977.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">153977</a>