Устройство для сортировки стапелированных плоских деталей, преимущественно полупроводниковых пластин, разделенных кольцевыми прокладками

Совэ Советских Социалистических РеспубликОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 11783890(22 Заявлено 1 б.0279 (21) 2728334/18-21 с присоединением заявки ЙоГосударственный комитет сссР но делам изобретений и открытий(53) УДК 621.382.3. .002,72(088.8) Дата опубликования описания 10. 12,80(54) УСТРОЙСТВО для СОРТИРОВКИ СТАПЕлиРОВАННЫХ плОСКНХ ДЕТАЛЕЙ, ПРЕИМУЬДСТВЕННО ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, РАЗДЕЛЕННЫХ КОЛЬЦЕВЫМИ ПРОКЛАДКАМИ Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для обеспечения высокопроизводитель ной загрузки установок плазмохимичес" кого травления фасок полупроводни-" 5 новых пластин.Известно устройство перегрузки хрупких изделий,.содержащее транспортирующее приспособление, вакуумный щуп, держатель с большим числом 1 О прорезей и упорные поверхности 1 . устройство предназначено для поштучной переукладки изделий.Недостатком этого устройства является небольшая производительность 15 иэ-за холостого хода держателя и затрат дополнительного времени на переключение вакуума.Известно устройство для сортировки плоских деталей, содержащее пита тель, транспортирующий диск с размещенными на его периферии профилированными ячейками, выполненными открытыми с его торцовой стороны, и приемники для деталей Я . 25Недостатком известного устройства является его низкая производительность,Цель изобретения - повышения производительности. 30 2Это достигается тем, что устройство для сортировки стапелированных плоских деталей, преимущественно полупроводниковых пластин, разделенных кольцевыми прокладками, со держащее питатель, транспортирующий диск с размещенными на его периферии профилированными ячейками, выполненными открытыми с его торцовой стороны, приемник для полупроводниковых пластин и приемник для кольцевых прокладок, снабжено платФормой, кинематически связанной с транспортирующим диском, который снабжен подпружиненными Фигурными штырями, при этом питатель выполнен в виде направляющих, каждый подпружиненный Фигурныйштырь размещен в каждой второй профилированной ячей ке транспортирующего диска, а приемники для полулроводниковых пластин н кольцевых прокладок размещены на тлатформе, установленной с возможностью поступательного перемещения в плоскости, перпендикулярной плоскости транспортирующего диска.На чертеже изображена кинемати" ческая схема устройства для сортировки стапелированных плбских деталей, преимущественно полупроводниковыхпластин, разделенных кольцевыми про кладками.Устройство состоит из направляющих 1 для установки пакета 2,набранного иэ полупроводниковых пластин с кольцевыми прокладками между ними. Эксцентрично оси пакета 2 вращается транспортирующий диск 3 касательно к нижнему торцу пакета 2 вокруг оси 4 от привода 5. На периферии транспортирующего диска 3 выпол-нены профилированные ячейки,б и 7, открытые с торцовой стороны транспортирующего диска.В ячейках 7 установлены Фигурные гнтыри 8 в виде грибка, подпружиненного пружиной 9 вверх. Верхняя часть 33 грибка совпадает с плоскостью транспортирующего диска 3. В нижней части фигурных штырей 8 имеется выступ, Под нижней частью транспортирующего диска 3 установлен неподвижно ролик Я 10.За нижней частью транспортирующего диска 3 установлены приемник 11 для полупроводниковых пластин и при-емник 12 для кольцевых прокладок, находящиеся на одной платформе 13, перемещающейся по винту 14 на разрезной гайке 15. Винт 14 вращается череэ зубчатую передачу 16 от сектора 17, установленного на транспортирующем диске 3, на котором установЛена ог- ЗО раничительная планка 18.Направляющие 1 установлены перпендикулярно плоскости транспортирующего диска 3, при этом направляющие 1, транспортирующий диск 3 и платфор- З 5 ма 13 установлены наклонно.Устройство работает следующим образом.Пакет 2 полупроводниковых пластин, набранный через прокладки (прокладки имеют Форму кольца), поступивший с операции плазмохимической обработки, устанавливается в направляющие 1. Пакет 2 торцом ложится на верхнюю плоскость транспортирующего диска 3.При его вращении полупроводниковаяпластина может запасть только н ячейку б, в ячейку 7 ей не позволит за"пасть фигурный штырь 8, причем при вращении транспортирующего диска 3первой идет ячейка 7, что предотвращает забор ячейкой б кольцевых прокладок. После эападания пластины в ячейку б она поворачивается вместе странспортирующим диском 3 до нижнегоположения, где и соскальзывает под 55 действием силы тяжести в приемник11. Для предотвращения преждевременного соскальзывания установлена ограничительная планка 18.Кольцевая прокладка из пакета 2под действием силы тяжести попадает в ячейку 7, поворачивается нместе с транспортирующим диском 3 до нижнего положения и может соскользнуть только в приемник 12, так как Фигурный штырь 8 опустится и освободит кольцевую прокладку, только войдя но взаимодействие с неподвижныгл роликом 10, установленным напротив приемника 12. За двумя ячейками б и,7 на транспортирующем диске 3 установлен зубчатый сектор 17, который войдя во нзаимодейстние с зубчатой, передачей 16 вращает винт 14 на однй оборот, поднимая разрезную гайку 15 на шаг и вместе с ней платформу 13 с приемниками 11 и 12. После того как приемники 11 и 12 заполнятся, оператор снимает разрезную гайку 15 и опускает платформу 13 в нижнее положение. Затем устанавливает на нее пустые приемники 11 и 12. Далее цикл повторяется,Производительность устройства2000 пластин и прокладок в часФормула изобретенияустройство для сортировки стапелиронанных плоских деталей, преимущественно полупроводниковых пластин, разделенных кольцевыми проклад- . ками, содержащее питатель, транспортирующий диск с размещенными на его периферии профилиронакньми ячейками, выполненными открытыми с его торцовой стороны, приемник для полупроводниковых пластин и приемник для кольцевых прокладок, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности, оно снабжено платформой, кинематически связанной с транспортирующим диском, который снабжен подпружиненными фигурными штырями, при этом питатель выполнен и виде. направляющих, каждый подпружиненный Фигурный штырь размещен в каждой второй профилированной ячейке транспортирующего диска, а приемники для поЛупроводниковых пластин и кольцевых прокладок размещены на платформе, установленной с возможностью поступательного перемещения в плоскости, перпендикулярной плоскости транспортирующего диска.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент СЩА Р 3.923.342,кл. 302"2, опублик, 1975.2, Авторское свидетельство СССРР 165828, кл. Н 01 Г 41/02, 1963783890 7 Тираж 844 ПодписноВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам иэобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/ каэ 856 5 оектная, 4 ППП "Патент , г. Ужгоро Фил Составитель Й.Гришкова едактор Н.Суханова Техред И.Петко Корректор,О.Ковинская