Способ получения порошка нитрида кремния
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
,80143389 4 С О 1 В 21/06 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ НОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ А ИГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИИ(71) Московский инотитут тонкой химической технологии, Институт физикиАН КиргССР и Центральный научно-исследовательский институт черной металлургии им. И.П. Бардина(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРОШКА НИТРДА КРЕМНИЯ(57) .Изобретение относится к производству тугоплавких соединений, а именно к получению нитрида кремния термообработкой аэотсодержащего силана - триметилтривинилциклотрисилазана в газовой среде, содержащей азот, и позволяет повысить выход нитрида кремнияАэотсодержащий силан - триметилтривинилциклотрисилазан термообрабатывают при 14000 С и давлении 200 атм в течение 3 ч. Продукт представляет поросенок нитрида кремния с размером частиц 0,1-0,5 мкм и содержанием примесей 10 мас.7 Выход продукта составляет 62,3 Х. Способ поз воляет увеличить выход продукта в Ж 4-6 раз при сохранении высокой чистоты и дисперсности. 1 з.п. ф-лы, 1 табл. С"1433893 воляет получить очень чистые поро- .шок нитрида кремния с уровнем микро.примесей на уровне 10 мас.7 В тоже время за счет повышения давленияазота в процессе синтеза получензначительный технико-экономическийэффект способа, который заключаетсяв увеличении выхода готового продукта в 4-6 раз. В таблице представлены сравнительные данные получения нитрида по известному и предложенному способам. Формула изобретения Вес исходного Давление Вес полученсырья (силан)атм ного нитридакремния, г Способ попримерам Выход Известный 1 Предлагаемый 24,7 9,6 48,9 4,28 44,6 9,6 10,8 45,8 4,95 100 62,3 29,2 46,7 200 48,265,6 400 31,6 430 65,6 31,2 31,2 Составитель В. Лукьянов Техред М.Дидык Корректор Э. Лончакова Редактор И. Сегляник Подписное Заказ 5509/24 Тираж 446 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул Проектная, 4 Изобретение относится к производству тугоплавких соединений, а именно к получению нитрида кремния термообработки азотсодержащего силана 5 утриметилтривинилциклотрисилазана в газовой среде, содержащей азот.Цель изобретения - повышение выхода нитрида кремния.П р и м е р. Азотсодержащий силан триметилтривинилциклотрисилаэан в количестве 46,7 г термообрабатывают при 400 С и давления азота 200 атм в течение 3 ч. Полученный продукт представляет собой порошок нитрида кремния в количестве 29,2 г с размером частиц 0,1-0,5 мкм и содержанием примесей 10 мас.Е. Выход го-,3тового продукта составляет 62,37.Таким образом применение высоких 20 давлений газовой среды, содержащей азот, при получении порошков нитрида кремния методом термообработки азотсодержащих силанов увеличивает выход продукта в 4-6 раз при сохранении 25 высокой чистоты и дисперсности. Применение азотсодержащих силанов поз- с 1. Способ получения порошка нитрида кремния, включающий термоЬбработку триметидтривинилциклотрисилаэана в газовой среде содержащей азот, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения выхода продукта, термообработку ведут при давлении газовой среды 10-400 атм. 12. Способ по и. 1, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что термообработку ведут при 1400 С,
СмотретьЗаявка
4113920, 31.07.1986
МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ТОНКОЙ ХИМИЧЕСКОЙ ТЕХНОЛОГИИ, ИНСТИТУТ ФИЗИКИ АН КИРГССР, ЦЕНТРАЛЬНЫЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ЧЕРНОЙ МЕТАЛЛУРГИИ ИМ. И. П. БАРДИНА
АНДРИЕВСКИЙ РОСТИСЛАВ АЛЕКСАНДРОВИЧ, ДЗНЕЛАДЗЕ ЖАН ИОСИФОВИЧ, КАЗАНЕЦ ГРИГОРИЙ ИВАНОВИЧ, ЛЕОНТЬЕВ МИХАИЛ АНАТОЛЬЕВИЧ, НЕВСКИЙ ИГОРЬ РОМАНОВИЧ, ТАЛАНОВ ВИТАЛИЙ НИКОЛАЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: C01B 21/06
Метки: кремния, нитрида, порошка
Опубликовано: 30.10.1988
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1433893-sposob-polucheniya-poroshka-nitrida-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения порошка нитрида кремния</a>
Предыдущий патент: Способ получения высокопроцентного олеума
Следующий патент: Способ получения трикалийфосфата семиводного
Случайный патент: Тепловая труба