ZIP архив

Текст

, 14152 1 01, 37/26 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Бюг(. Ло 29роизводственное объединен( Р. А. Гри Уда ьцев О. М. Вор В. Скоро лько, В. И (ко, ( гиц он гдтько 3(088Г,фГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(54 (57) Э.(ЕКТРО)-Ы 1 МИЕРОСКО 1, содержаший размещенные в колонне зг(сктронную пуцю и систе( магнитных злектгоццык линз с обмотками, мдгцитопроводы которьх выполнены цо крайней мере с одной стенкой, образуксщей грочню полость оыаждения линз, сгт,гссчсгсосс(ссссся тем, что,цельюменьшения времени установления температурного режима колонны применьшениц ес габаритов, обмтгки линз размс цены в герметизированном объемс, часть которого заполнена легкоисп;(рякгшнися жидкостью, цричсм стенки конденсации жидкости образуют вторые стсцки полостей оксаждения.14Изобретение относится к электронно- микроскопическому приборостроению и может быть использовано при производстве электронных микроскопов и других электронно-зондовых устройств.Целью изобретения является уменьшение времени установления температурного режима колонны при уменьшении ее габаритов за счет выведения стенок конденсации охлаждающей легкоиспаряющейся жидкости, пропитыва 1 ощей обмотки линз, и пол хоть охлаждения магнитопроводов линз внешней системы.На чертеже показан электронный микроскоп, разрез.В вертикальной колонне 1 электронного микроскопа последовательно походу электронного луча расположены электронная пушка 2, конденсорный блок,3 магнитных линз, объективная линза 4, блок 5 увеличиваюп 1 их линз и люминецснпгныи экран 6, размегценный в тубусе 7. В зазоре между 11 олюными наконечниками обив ективной линзы 4 расположен объектодержатсль 8 Обмотки 9 всех ма 1 нитных линз размсч 1 цны в герметизиронанных об 1,- мах 11, коиорые частично заполнены легкоиспаряюнцейся жидкостью 1. В магнитоп 1 оводах линз выполнены полости 12 охлажд. ния, д 11 ой из стешк которых яв. ляютя ис нки 13 конденсации легкги 152692паряющейся жидкости 11. Полости 12 охлаждения магнитопроводов соединены трубопроводами 14 с внешней системой охлаждения.Электронный микроскоп работает следующим образом.Электронный луч, созданный с помощьюэлектронной пушки 2 и сформированный конденсорным блоком 3, попадает на исследуемый объект, размещенный в поле О ооъективной линзы 4. Объективная линзаформирует первичное электронно-оптическое изображение, которое увеличивается с помощью блока 5 увеличивающих линз и проектируется в тубусе 7 на люминесцентный экран 6.Наличие внешней системы охлаждениямагнитопроводов линз и выведение в полость 12 охлаждения стенок конденсации легко- испаряющейся жидкости 11 позволяют значительно увеличить интенсивность теплосъе ма с обмоток 9 и магнитопроводов линз.11 ри этом время установления температур ного режима колонны 1 микроскопа уменьшаетя более чем на порядок и составляет около двух минут. Этому же спо.собствует возможность увеличения плотности 1 ока в обмотках, а следовательно, снижение габаритов и массы системы линз в целом и уменьшение теплоемкости конструкции,

Смотреть

Заявка

3871268, 25.03.1985

СУМСКОЕ ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ "ЭЛЕКТРОН"

ЛЯЛЬКО ИВАН СЕМЕНОВИЧ, ГРИШИН РЕНТГЕНИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, ВЕПРИК ВИКТОР ГАВРИЛОВИЧ, УДАЛЬЦЕВ ВЕНИАМИН ИОСИФОВИЧ, АЛЕКСЕНКО ДИНА СЕРГЕЕВНА, ВОРОНИН ЮРИЙ МИХАЙЛОВИЧ, ЩЕТНЕВ ЮРИЙ ФЕДОРОВИЧ, СКОРОБОГАТЬКО ВАЛЕРИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01J 37/26

Метки: микроскоп, электронный

Опубликовано: 07.08.1988

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1415269-ehlektronnyjj-mikroskop.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Электронный микроскоп</a>

Похожие патенты