Устройство для управления током электромагнитной линзы

(19) (11) 70 4 Н О .) 3,302 АНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ОРСКО ИДЕТ ЕЛЬСТ нное ооъелине.оп ыло в, Г. Л. К иво СССР1, 1982.Японии37 О, оиу блик(54) (57) УС НИЯ ТОК ЛИНЗЫ, со которого сое ходом генер соединен с в разователя, нитной линз 4 й НШН 8 И УПР ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Сумское прои водствние Электрон,хо 5816715 кл. Н 01,)1)83. ТРОР)СТВО ДЛЯ УПРАВЛ 1-:- ОЧ ЭЛ 1 КТРОМЛ ГН ИТНО 1 держ а гцее счс тны й бок и ды диненц через блок реверса с выатора ичяуьсов, а его выход ходом цифроаналогового нреобподсоединениого к элктрочагс чсрез усилитель чогцности, пт.икаюее,ч тч, что, с целью повышения быстродействия и эффективностиправле. ния, устройство снабжено формирователем адреса слова, дешифратором, блоком про рамчируемого постоянного започинаюгцего устройства (Г 1 ПЗУ), коммутатором параллельных кодов, цифровым индикатором и блокоч управления, причем первый вход коччтатора параллельны. кодов соединен с вторыч выходом счетного блока, второй вход коммутатора параллельных кодов соединен с выходом блока ППЗУ, третий вход кчмутатора параллельных кодов соединен с денирратором, вход которого соединен с входоч бгцка ПГ 13 У и с выходом формирователя адреса слова, а выход коммутатора наралельных кодов соединен с вторым входоч цифроаналогового преобразователя и с ирным входом цифрового индикатора, второи вхд которого соединен с первым входом счстнпо блока, а блок управления соедини с вторыч вхо;цм блока реверсаИзобретение стноси гс я к з.(сктрцнщ-лучевой технике, в чдстнс)сти к длектрцн)н)й микроскопии, и может быгь и(3 цльзова о в нриборострситсльной нрлыНас ннос н при нроизво,цзвс нриоцрцв, в кц)ц)ь)х нрименяются злектрцх(дгн)Нье линзы л.)я фцкуси ровки злектронных пучков. Цель изобретения нцвыше ие быстро. действия и зффскгивности у нравления током ЭЛСКТ)ОМс)313 ИТНОИ ЛИ 11:)Ы (с (.ЧЕТ Р(.ДВДЗИ.10 телыОй с)брдбцтки режимов, занесения информдции оо зих режимах в нрцгрдммируе- МОЕ НЦСТОЯ 1310( За)0 М 3 Нс )ОЦ 1 С(.С ГРцй)Г ГВЦ С ПОСЛСЛУ ННЦИМ 3 ЗЕ)ЕНИЕМ ИЗ НЕГО УКД. Зсди 10 й ИНСРОРХ(ДСИИ В СХ)ОГВЕЗСТВНИ С 3. 15 данной програ мц).1 и чер)ежеднд (,см; Ирсл;(г;х(ц ) устройства.Устрс)исю с ц,(с рски 1 (Ор) и р) В)1 с,) ьддрссс) СГ 1 цва, )р,1) с 3 Н с СН НЬ И,151 Я,И - рвсд НИ Я с).др (. с (,)0(с(, (с)1 С сд)1 ( В (, ),С20 и рограм миру ем 0) ( ссян)н)гц (д)нм 0 их щего устрцс( (111,У), ЛшифрдзцрНРС ЛНДЗНДЧСНый,ЛН фЦРМ РЦВДНИЯ СИ и;(,)с 06(ц 1 ЕЧИНс 1 К)Н) (ц )с"),1 ц 1(НИ( СТдр(Н) рсд:(рялцн колВ 1(кд и с)гцке кцхчх гдции 33). 25 раллсльных кцлцн, ГОк , 3)( (ч)х(мр(м; ) нцстцян)игц зд)шмин; Оиц. зрц.(Н)111 ЗУ), нрелндзн;ченныи .1,)я зд)н ( и ллительнц)ц хрднен)(я кц н)В (к ь н;) ствуюн(их (днрцгрдммирсндн:)ым рс,ки)1; работы алек)рцм;3 Нип(цй л(Нзы,с нс),( р 4 имну.,с(В)слд.)(ас)сины 1я (0 )рц- ВД НИЯ И)1 3)ХГ 1)(ОВ С Р( МГ)3 .), ( 33(с) Т) )3 СЛЕ,)С) ВД НИ, (. ( ( 1:) (К 3;( 1 Н (: скорость и(мс),(ния )0.1, и ( с.)1,х ),з блок 5;)с В" 3 р(.:3 3(3.,):, л; клк)че)(и (, ), , к (ц)ц ,.н. ВХ 0,10 Н (3иц ц (, ) ц 1) К ВЬ Хц,)С 1 , 4 их)н )ьн., ) 33(, и ,) , с) ) ) ),.Н Ы Н ЛЛ яц р 3;) Г)ц ) с(( ькд, бс)ок 7 у 3 дн)(,),нс.) н фоЭМ ИРОВсди,)5 ) ., ), ((З3)5) 5 ревсрсд. ци,;с 1(. ННЬ)И ЛГ)51с 1,33)1) ) ) )тскд, 3)цс 3 у);. )0(3, 3:нрс цордзцн;3,)ь кцм)хт;(Г,;Н ЫК Ц, СЦ 1),) .Н с( , )(с1: Н3 1ЧС)1 ИЯ С)с(ри)ИХ рс.(1)Я)ОН Кц,)(к)1 с,гр(Лд НИ: Нц,НЫЬ(, 3)с)ц;)Ь,.)цг( НЫас)с)рд,(01)(,)ь , нрсл 3, (3)дс)нй л (я0 6 р сд з ц и с1 И 5) , 1 д ) К( сс( Г)3 ,; Н 1 ) 1С )1 1,Л ,уси,);с,))103(,нцс:3, 3 ре.д (ндц 3(ныилля усилени;3;)н;),нОнно и );1,3;1, д,н)ктрц1 3 дН И 1 Н10 Г Н1 ) ( ) ( , 1 1 р ,( 1 д (с 3 ) ) ( Нц. 1 Г 5 3фс)зм и)с)В)3)(и 51 длс)кт)цн 101) ) Н)(, 3)ри 1(м11(.рвЫИ. НХОЛ( К)М)с )Х),(, 1)3)1,, ц)ЫХКО,Ц) В (ЦС,1 И Н С ( ГОР ь 1 М ВЫ Х) ,)( с НЦОлокд 6, Втс,рци нхц, Кцлуд )црд3:,(р;3,3 лс)с)ы)ы), кц.0( (цс,1, н ), х),)цк;д,С111 ЗУ, рсгий Вх( Л;цм3 црд ) (,3);з -,НЛЬН),Х КОЛО) СК.ИНС) с ,(Х, )3 ., иф рдгрд 2, Вход которого соединен с входом блока 3 ГПЗУ и с выходом формирователя13,)реса слова, а выод коммутатора 9 параллельных колон соединен с вторым входом цифроаналогово(о преобразователя 10 и с первым входом цифрового индикатора 8, Второй вход которого соединен с первым Входом цифроаналогового преобразователя ( и с первым выходом счетного блока 6, д блок ) управления сс)едите)3 с вторым вхо- (л 6.цкд 5 реверса, В сод которсо соединсн с енердторл 4 импульсов, а первый и Второй Выходы 1 олсцел)(невы к входам счез- )ннц блок;( 6, выход цифроаналогового прецбр;зцватсля 1 О через усилитель 11 мошнос и Олс( с,шнен к:лс кгнмдгнитнцй линзе 12Усгрцйствц р ботает ледуюшим образом.СнердОр 1 иму Ьссв формирует им) )ь ы, чдсгы,)едцв;(ния которых может х(нят)ся В здни(имости цт выбранной ско- РОСТИ с)ХЕНЕНИ) КОЛ 3 и .СЧЕТНОМ бЛОКЕ 6, ч)ц В конечном игцгс нриводит к большей и.)и м( ныиеи скор ( (и изменения тока в (к)рцм; нигнцй линзе 12. Импульсы от гер (3( р;( -1 нцсупдют нд блок 5 реверса;дисимцсти 03 сО,цстояния подаются )(;( (", ммирук)щий и.(и Вычи гакнций вход счетблцк; (, В котором нрцисхс)лит запомн,)и ( к ц) )цксд нос,(с нр(.крдшения подачи.; (ц )КольЦГ);3,(нИе разряды н(р,(,333,(цгц Вь)хцл( счс ного Г)(окд 6 сое- .10 Ны нц( релстнс н)н) с соотвстствукдшим), , ).3;(ми 3(ифрц(Н(ГОгцв ц нреобразова( )ян цифрцвог(, инликдт( рд 8, а стар)(,Ь.3,( Лс )Г)(, (ьиц ( 33)О,)д СЧСТ- ц, цк;д ( (нсг(,н;(кГ нд ксммутдтцр 9 нр 3,(сьн),) кцл )Н(цр й вход комму 3,рдг)Гс ЫЫХ Кодов Подастся Ид. ,(,)и кцл ц- блцкд 3 111 ЗУ., ,м бра л,:) (,Виси,)скти Г ссстс 51- 3( .33(и 1)р т3 , 10.с(к)н 1(.ц (.инал нди (хц.) к(.)1 у Г,) .)рд 9, нд ц)(фрцсдн)дг)о"(и ) ) и,ифрцвцй инди 3)(:,Л(,( : )3 ГЛСЛНЬИ КОД ИЛИ ОТ31, н ц цлцк; 6,)и цт блок, 3 ППЗУ.1( :31. Н 3 с ),; кд 1 1 ПЗУ осу)( (ся с .(укни я образом. Сначала1)изи , 1(;(тц)дИ) нульсцв блока ;с.1)ссд (1)с Г)(03 ( О.1(кд с) нри Отключе(ном,( )3),)рдд(,);( 2 блоке 3 11 ЗУ ;.( Сх(.и ус)д.цвкд Вс.х )ццблцлимых реж( ",)и ,цы,3 ):( ).фрон)с данные о и,),с)л) ) ( )Сс,(цн 3( Гь(вск)тсЯ с цифро.Н( 1 Ц Н 1 Л 1(КД "ЦР) ( И Нс ОСНОВЯНИИ ЗТОИ ЦИф рцнцй инфсрмд ии;зоисхцлит нр) раммиро. н )ние слов в блцкс 3 Г 11 ЗУ. Г 1 озтому, если н).к 3Верн; г к (лн:у из зарограммиоцн;),и рсжим )В , )(ОГ линзы, лостаточ;(с нцмцн)ью фцрмирцндг(ляадреса сло.1452 г О С.етииител г и.г и Рг и.к г гиг Ыг гггггТегре И Б рог Кг Ч рг к; г рК р, иггги,г иригк 74 Цг.г Б 1,ГГИЕГИг ИГГКИИ)ГО :Р Ги,г Иг Г ; г ГгИ И Г.Г "ИЗ:й, Чгг, ки+,В, Ри) ик;.и ггиг, . 4 г ргг,:г г.егиггггги ггг,гиг киггг геке ггре.ггзггииг,; Х г г Чи .;.р ,ги;ги 4магнитной линзы 12. 11 ри этом )сцИфрзтор 2 выдает сигнал нз коммутатор 9 цар,ллельНЫХ КОЛОН О 1;ОДКЛЮЧЕНИИ К ЦнфРоанзлОГО- вому цреобрдзовдтлн 1 О блокд 3 1 1,)У и Отключении второгс выхода счетнос блокд 6. Таким образом, нз входе цифроацалсновгго преобразователя 1 О формирук)т я старшие разряды кода тока. С помошьк мла,сших разрядов кола тока, иостуцакнцих непосредственно от первого выхода счгцсго блока 6, можно при необходимости производить точную установку или подстройку црограммируемых режимов работы эл.ктромдгнитнои линзы 12. Цифрозцзлсговый цреооразователь 10 производиг цреобрззовзнис цифрового сигнала кола тока в аналоговый СИГНаЛ, КОтОРЫй ЗдтЕМ СИ.г)ИВг)ТСЯ УСИЛИ- телем 11 мощности и подастся на электромагнитную линзх 12.Таким образом, предлагаемое устройсгво обеспечивает максимальное быстродействие цри установке любого запрограммированного режима работы, тзк как врмя уста)ц)вления режима оцрдслястся быстродействием цифроаналогового цреобрззовзтля 10 и усилителя 1 мснцнс)сти, з также индкЯВ- ностью электромдгнитцсй линзы 12. Кром ТОГО, информация 0 режих)дхзциссИцзя В олоке 3 11 ЗУ, не требует восстдцсвлция после повторногс) включения питания, так как сохранятся В блок цри отклкчеции ци тания. Точность установки ржима эгктромагнитной ли,зы 12, з значи г, и точц)сть цовтОРЦОй УСтЗЦОВКИ Рсжина ОПРЕДЕЛЯЮТСЯ К- личеством разрялов в цифроаналоговом цр.обрззовател 1), которыс выволятся цз цифровои индикатор 8 д.1 я Визх альцОГО контрол 51 кода тока, цоступзющего нз пифроднз.пн 0- Выи цреобразовзтсль 1 О.;1 ля больши эф)кти В ности уц рз Влеци я током электром д- цитцй линзы 12 часто цеобходихы лицзмичскис или цериодичски повтсряюпия р.жимы работы. Эти режимы работы 06 сп- чиваются Ввелцием в устройство блскз уцрзвлеция, ксторый формирует цериодигЕСКУК) 1 ЦСЛЕДОВЗТЛЬНетЬ ИМПУЛЬСОВ, ПЗ.рд метры которой зала ются оператором, юд клкчающим к гцс рзтору 4 через блок 5реверса суммирующий или вычитзкщий входы счетного блока 6. Таким образом мож.ИО СфОрннрОВатЬ ЛЮбвй днцаМИЧЕСКИй рс жим работы э,)сктрочзгцитной линзы 12, причем амилитулз колебаний тока при неизменных Временных интервалах зависит от частоты следвдния им пульсов на выходе генератора 4 имцл,ссв.сцо,1 ьзовдцис 11)длзгзмого хстроистВд В эЛКтроццЫХ МИКрОСКОпдХ ПОЗВОЛяЕт значительно повысить производительность исследований путем повышения быстролй. твин и эффективнсти упрзвлния гокд элскт 1 олз Ии гных лица элктроццо-Оцпиг- к)йитемы