Способ получения кремниевых заготовок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 138062
Автор: Иноземцева
Текст
Ло 138069 сссо ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ Подписнст грушт ЛБ 1 А. И назем це в а ЪХ ЗАГОТОВОК ОЛУЧЕНИЯ КРЕМ О Заявлено 26 марта 1)60 г. за Хв 66091822 в комитет по делам изобретений и отирыти 11 ири Совете Чинис 1 ров ГССРпубликоваио в Ьоллстеис изобретский Мв 9 за 1961 г. Изобретение относится к способу предварительного легирования йодидного кремния в процессе термической диссоциации йодида кремнич. Существующие способы легирования кремния примесями для понижения удельного сопротивления при выращивании монокристаллов Х-типа связаны с целым рядом технических трудностей, Особенно затруднено получение сильно легированного кремния М-типа через расплав, так как при температуре плавления кремния упругость пара легирующих элементов является высокой и вызывает их испарениеПредлагаемый способ легирования кремния более прост и заключается во введении йодидов легирующих элементов не в кремний, а в тетрайодид кремния. Из предварительно легированного добавками йодидов тетрахлорида кремния путем термического разложения получают кремниевую заготовку, легированную одной или несколькими примесями.Описываемый способ позволяет проводить легирование кремния в более чистых условиях и дает возможность получить при вытягивании легированной кремниевой заготовки монокристалл с хорошими свойствами с первого вытягивания.В качестве легирующих добавок использовались йодиды бора, фосфора, мышьяка и сурьмы, которые добавлялись к очищенному фракционной дистилляцией тетрайодиду кремния, и полученная смесь под. вергалась термическому разложению в аппаратуре трубчатого типа.В полученных трубчатых заготовках кремния определялись концентрации введенного элемента по длине заготовки и пробивное напряжение. Результаты проведенных исследований описанного способа показывают, что введение йодидов бора, фосфора, мышьяка, сурьмы снижает пробивное напряжение на кремниевой заготовке, что, в свою очередь, снижает дельное сопротивление.Подп, к печ, 27/1 ЧгЗак. 4127 Формат бум. 70 Х 108/16 Тираж 700 ЦБТИ при Комитете по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, М, Черкасский пер., д. 2/бТипография ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР, Москва, Петровка, 14,.Предмет изобретенияСпособ получения кремниевых заготовок для получения монокристаллов по способу Чохральского путем диссоциации тетрайодида кремния, о т л и ч а ю щи й с я тем, что, с целью обеспечения более равномерного распределения примесей в заготовках, в исходный тетрайодид кремния вводят йодиды легирующих металлов, например, мышьяка, сурьмы, бора и других.
СмотретьЗаявка
660918, 28.03.1960
Иноземцева И. А
МПК / Метки
МПК: C30B 29/06, C30B 31/08
Метки: заготовок, кремниевых
Опубликовано: 01.01.1961
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-138062-sposob-polucheniya-kremnievykh-zagotovok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения кремниевых заготовок</a>
Предыдущий патент: Минерало-металлокерамический материал
Следующий патент: Алюминиевый электролизер для электролиза криолитоглиноземных расплавов
Случайный патент: Пневмомеханическая флотационнаямашина