Способ приготовления пленок или слоев из высокополимерных изоцианатов

Номер патента: 513117

Опубликовано: 05.05.1976

Авторы: Кершман, Максимова, Федоров

МПК: C23F 1/02

Метки: арсенида, галлия, локального, пленок, раствор, травления

...может быть осуществлено ни одним из известных травителей. Либо травитель не являетея полирующим к используемой плоскости (100), либо обладает недопустимо большой скоростью травления (1,0- - выше), либо дает Чмкмобразный профиль травления с одновременным разрушением пленки фоторезиста, либо обладает диф- М Плавиковая кислотаПерекись водородаФторид аммония 385,71,5-26 стальн условиях комнатной температуры (20 С) и ушает пленки фоторезиста. Травление эпитак ых пленок ОаА 5 проводится в объемес пе раэаль. та пленок ОаА 5 используется пр меэа-планарных транзисторов, р -ди назоне, н раствор для локал,ного травлнок арсенида галлия, содержащий плавиколоту и перекись водорода. Раствор обеспечивает получение полированноиверхности дна фигур...

Номер патента: 1597368

Опубликовано: 07.10.1990

Авторы: Варламов, Куница, Мнацаканов, Романова, Сидорова, Смаглова

МПК: C08J 5/18, C08L 1/12

Метки: пленок, раствор, триацетатцеллюлозных, формования

...выбранный иэ грулпы 1 дибутилфталат 0,4-1,6, или трифенилфосфат 0,5-2,0, или нх смесь 1,6-2,0 (при массовом соотношении дибутилфталата и трифенилфосфата (0,4-1,5) :(0,5-1,2); метиловый, этиловый или бутиловый спирт -5,0-10 О; фторид натч=рия или хлорид алюминия 0,01-0,5; метиленхлорид остальное, 3 табл,С:". ол, гексанол, фт идрид алюминия.Пленкообразующие раств,ле смещения компонентов вподвергают фильтрации и дВязкость растворов опредду падающего шарика,Пленки отливают на нистекла при комнатной те ла изобретени р для формования триацета ых пленок, содержащий три1597368 тат целлюлозы, пластификатор, спирт,выбранный из группы, включающей метиловый, этиловый, бутиловый, метиленхлорид, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью снижения...

Номер патента: 1696584

Опубликовано: 07.12.1991

Авторы: Алтухова, Любарская

МПК: C23F 1/28

Метки: оксидной, пленки, поверхности, раствор, сталей, удаления

...коррозии к металлу, их разрыхлению и отделению, ускоряют процесс травления 25 образовавшимися на металле активными промежуточными соединениями и обеспечивают ингибирование деталей вследствие образования на поверхности адсорбционного слоя поверхностно-активных веществ.,30 Положительный эффект, показанный приСоляная кислотаСерная кислотаКубовый остаток1-4-бутанднолаСоляная кислотаСерная кислотаИоищая композиция "Элва"Соляная кислотаСерная кислотаИоищаяцня "Элва"Соляная кислотаСерная кислотаИоющая комлазиция "Элва"Соляная кислотаСерная кислотаИоищая композиция "Элва"Соляная кислотаСерная кислотаКубовый остаток1-4-бутандиола мерами в табл. 1 и 2, связан также с образованием в травящем растворе смешанных мицелл анионактивных и...

Номер патента: 486084

Опубликовано: 30.09.1975

Авторы: Бахмутова, Бильдинов, Девязорова, Мансурова, Рыжкина, Смирнова, Харченко

МПК: C23B 9/00

Метки: наполнения, оксидной, пленки, раствор

...анодируют в 20%-ном растворе серной кислоты при температуре 18 - 20 С, плотности тока 1,5 а/дм-, напряжении 9 в в течение 40 мин.После анодирования образцы промывают и сушат при температуре 100 - 120 С в течение 1 час.Наполнение оксидной пленки, толщиной 10 мкм производят в растворе, содержаще вес о/Перфторпеларгоновая кислота 5 1,1,3-тригидроперфторпропанол Остальное при температуре 90 С в течение 30 мин,Масло- и водоотталкивающие свойства оксидированной поверхности металла оценивались величиной краевого угла смачивания О. Краевой угол смачивания определяется методом лежачей капли по отношению к дистиллированной воде и к кедровому маслу:О к воде - 140, О к маслу - 125,486084 Предмет изобретения Составитель В. БобокТекред 3. Тараненко...

Номер патента: 487167

Опубликовано: 05.10.1975

Авторы: Белевич, Колмакова, Раснецова, Сорокина

МПК: C23F 1/02

Метки: избирательного, пленок, раствор, травления, хрома

...ры р а створ а.Предлагаемый раствор отличается тем, что в качестве окислителя использован хромовый ангидрид при следующем количественном соотношении исходных компонентов (г/л): 15Церий сернокислый 5 - 160Хромовый ангидрид 30 - 100. Сернокислый церий и хром растворяют в воде при перем бы улучшить растворение се рия, продлить срок хранения р падения осадка, в него можн ту, например соляную, в к 30 г/л, или смесь кислот.При обработке в растворе ваются края пленки хрома при фоторезистов с различной костью, не надо нагревать раст ся выход годных фоторезистов. Характеристика вариантов раствораЦерий сернокислый, гХромовый ангидрид, гВода, л дТемпература обработки, С 18Время полного стравливанияхромовой пленки толщиной0,08 мкм, мпнЦерий...