Раствор для избирательного травления пленок хрома

Номер патента: 487167

Авторы: Белевич, Колмакова, Раснецова, Сорокина

ZIP архив

Текст

Союз Советских Социалистических Республик(б 1) Дополнительное к авт, свид-ву 51) М, Кл. С 2311/02 3 Г 21) 1976750/26(22) Заявлсно 14.1 исоединением заявкиСовета Министров СССпо делам изобретенийи открытий 3) УД 621.794.422(088,8) публиковано 05.10.75. Бюллетень3 ата опубликования описания 23.02.7 72) Авторы изобретени Е, Раснецова, А. М, Сорокина,. Белевич ол макова 71) Заявител(54) РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИ ПЛЕНОК ХРОМА10 20 овыи ангидрид ешивании. Чторнокислого цеаствора без вью ввести кислооличестве 10 -е растравлпспользовании кислотостойр, повышаетЗО ния плецерий и что, с ГосУдарственный комитет (23) Приор Изобретение относится к технологии химической обработки пленок хрома, может быть использовано при изготовлении прецизионных хромированных фотошаблонов.Известен раствор для избирательного трав ления пленок хрома, содержащий сернокислый церий и окислитель.Цель изобретения - уменьшение растравливания краев пленки, повышение выхода годных пленок и снижение рабочей температу ры р а створ а.Предлагаемый раствор отличается тем, что в качестве окислителя использован хромовый ангидрид при следующем количественном соотношении исходных компонентов (г/л): 15Церий сернокислый 5 - 160Хромовый ангидрид 30 - 100. Сернокислый церий и хром растворяют в воде при перем бы улучшить растворение се рия, продлить срок хранения р падения осадка, в него можн ту, например соляную, в к 30 г/л, или смесь кислот.При обработке в растворе ваются края пленки хрома при фоторезистов с различной костью, не надо нагревать раст ся выход годных фоторезистов. Характеристика вариантов раствораЦерий сернокислый, гХромовый ангидрид, гВода, л дТемпература обработки, С 18Время полного стравливанияхромовой пленки толщиной0,08 мкм, мпнЦерий сернокислый, гХромовый ангидрид, гВода, л дТемпература обработки, С 18Время полного стравливанияхромовой пленки толщиной0,25 мкм, минЦерий сернокислый, гХромовый ангидрид, гКислота соляная, гКислота серная, гВода, л дТемпература обработки, С 18 -Время полного стравливанияхромовой пленки толщиной0,25 мкм, мппП реям от изобретенияРаствор для избирательного травлеок хрома, содержащий сернокисльшкислитель, отличающийся тем,487167 Составитель Ю, ЕркинТехред Т. Миронова Корректор А. Степанова Редактор Б. федотов Заказ 214/1 Изд.131 Тираж 966 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж.35, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 целью уменьшения растравливания краев пленки, повышения выхода годных пленок и снижения рабочей температуры раствора, в качестве окйслителя использован хромовый ангидрид при следующем количественном со. отношении исходных компонентов (г/л):Церий сернокислый 5 - 160 Хромовый ангидрид 30 - 100.

Смотреть

Заявка

1976750, 14.12.1973

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8657

РАСНЕЦОВА БЕТТИ ЕФИМОВНА, СОРОКИНА АЛЕКСАНДРА МИХАЙЛОВНА, КОЛМАКОВА ГАЛИНА ЯКОВЛЕВНА, БЕЛЕВИЧ ГЕНРИХ МЕЧИСЛАВОВИЧ

МПК / Метки

МПК: C23F 1/02

Метки: избирательного, пленок, раствор, травления, хрома

Опубликовано: 05.10.1975

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-487167-rastvor-dlya-izbiratelnogo-travleniya-plenok-khroma.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Раствор для избирательного травления пленок хрома</a>

Похожие патенты