Термопара и способ ее изготовления

9) ( 64010 СПУБЛИК ЫЙ КОМИТЕТ СССР ОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙУДАРСТВЕННДЕЛАМ ИЗ БРЕТ ТЕЛЬСТВУ ылив,(71) Ивано-Франковский институт не ти и газа(56) Авторское свидетельство СССР В 220563, кл," 6 О К 7/02, 1968.Самсонов Г.В. Высокотемпературные неметаллические термопары и наконечники. Киев, Наукова думка, 1965, с. 162.Геращенко О.А. и др.и температурные измерениник. Киев, Наукова думкас. 224.(54) ТЕРМОПАРА И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВПЕНИЯ(57) Изобретение относится к термометрии, а именно к измерению высоких температур в нейтральных и агрессивных средах, Цель изобретения - повышение надежности и стабильности метрологических свойств, Слой 2 электроиэоляции размещен на всей цилиндрической поверхности внутреннего термоэлектрода 1 за исключением зоны рабочего сная 4, Слой 2 может быть выполнен из карбонитрида бора. Внешний электрод 3 получают осаждением поликристаллического слоя карбида а кремния при давлении газовой смеси 20-40 мм рт.ст. и температуре по- ффффф верхности внутреннего электрода 1100- ф ф 1300 С одновременно на слой 2 элек- С троизоляции и участок электрода в зоне 4 рабочего спая до требуемой толщиные 2 се у 2 з апе ф лыу 1 илтМайИзобретение относится к термометрии, а именно к измерению высоких температур в нейтральных и агрессив" ных средах.Цель изобретения - повышение надежности и стабильности метрологических свойств.На чертеже схематически представ- лена термопара,Термопара включает внутренний термоэлектрод 1, слой электроизоляции 2, внешний термоэлектрод 3. рабочий (горячий ) спай 4.Термопара работает следующим образом.Помещают рабочий спай термопары в измеряемую среду, возникающая в результате нагрева термо-ЭДС термопа" ры, по соединительным проводам поступает на прибор контроля термопары. Затем по известной градуировочной зависимости термо-ЭДС от темпе-. ратуры и определяют последнюю.Предложенный способ изготовления термопары реализуется следующим образом.На внутренний термоэлектрод, выполненный из графита, наносят слой электроизоляции, например, из карбонитрида бора оставляя свободной от изоляции зону рабочего спая. Для подключения соединительного провода к холодному концу электрода оставляют свободным торец или часть цилиндрической поверхности. Затем помещают термоэлектрод с изоляцией в реакционную камеру в межэлек"родное пространство газоразрядного устройства. В камере создают разрежение510 мм рт,ст., затем через камеру в течение 15-20 мин пропускают чистый водород при давлении 20- 40 мм рт.ст., после чего включают газовый разряд с напряжением горения 500 В н удельной мощностью разрядаг5 - 10 Вт/см и повышают температуру внутреннего электроца до 1 ОО -о1300 С, .в течение 5-10 мин продолжают пропускать через камеру водород. Затем в результате термического разложения металлоорганического соединения кремния, например метилтрихлорсилана, подают пары соединения кремния в камеру с водородомцоводя соотношение компонентов до 1:1 - 1:О при давлении в камере 20-чО мм рт.ст,. и расходе газовой смеси 1,5-10 л/ч При этих .параметрах ведут осаждение кубического карбида кремния из газовой фазы на слой электроизоляции и участох графитового электрода, свободньй от изоляции в зоне рабочего спая 4, цо получения внешнего электрода требуемой толщины. После окончания процесса осаждения внешнего электрода охлаждают графитовый электрод и при его температуре 200-300 С прекращают подачу водорода и выключают газовый :аэряд.Формула изобретения15Уермопара, содержащая соединенные в рабочий схай коаксиальнс расла,.оженные термоэлектроды разделенныеслоем электро-оляцин причем внут.ренний те моэлектрод выполнен из графита, о т л и ч а ю щ а,я с я темчто, с целью повышения надежности истабильности метрологических свойств,слой электроизоляции расположен навсей цилиндрической поверхности внут 25реннего термоэлектрода за исключением зоны рабочего спая, а внешнийэлектрод выполнен из поликристаллического слоя кубического карбидакремния.2. Термопара по п. 1, о т л и "ч а ю щ а я с я тем, что слой электроизоляции выполнен иэ карбонитрида бора,3. Способ изготовления термопа 35 ры по пп.и 2, заключающийся в последовательном нанесении на поверхность одного электрода электрическойизоляции и материала второго электрода, о т л и ч а ю ш и й с я тем,40 что поликристаллический слой карбидакремния осаждают одновременно наслой электроизоляции и на поверхностьвнутреннего электрода в,зоне рабочего спая термическим разложением ме-45 таллоорганического соединения кремния из неравновесной газовой фазы,содержащей пары металлоррганическогосоединения кремния и водород в соотношении 1:1 - 1:1 О, причем процесс50 ведут при давлении газовой смеси 2040 мм рт,ст расходе смеси 1,51 О л/ч и температуре поверхностивнутреннего электрода 1100-1300 С.55 4. Способ по п. 3, о т л и ч а ющ и й с я тем, что в качестве соединения кремния используют метилтрихлорсилан,