Устройство для локального определения соедержания газовых примесей в металлах

(56) 1кл. 25 лаборатория" У, с. 12632 "3 196 266. ВО ДЛЯ ЛОК ЕРЖАНИЯ ГА(Д 4) (57) УСТРОЙ ГО ОПРЕДЕЛЕНИЯ АЛЬНОЗЭ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ ОПИСАНИЕ И Н АВТОРСКОМУ СВИДЕ(53) 62 0286 Ы 18-2 104, 8109. 83, Бюл,36Г. Биндер и М. Н. Ковалев союзный научно-исследовательстно-конструкторский и технолоинститут электротермического ВЫХ ПРИМЕСЕЙ В МЕТАЛЛАХ, содержащее вакуумную камеру, оптическийквантовый генератор, масо-спекрометр, блок синхронизации срабатывания спектрометра и оптического квантового генератора, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения чувствительности анализа, оно дополнительно содержит от сечной клапан с калиброванным отверстием, перегородку. в вакуумной камере, электромагнитный привод клапана, причем седло клапана расположено в перегородке электромагнитный привод связан штоком с клапаном и подключен к входу блока синхронизации срабатывания масс-спектрометра и оптического квантового генератора.б 2ЩТираж 873 Подписное филиал ППП Патент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к устройствам,применяемым в металлургии, в частности устройствам для определения газовыхпримесей в металлах,Известно устройство для определения 5газовых примесей в металлах, содержа-щее вакуумную камеру, индуктор и масоспектрометр Г 13Недостатком указанного устройстваявляется то, что в результате индукционОного нагрева плавится весь исследуемыйобразец, не позволяя определить содержание газов на локальном участке образца,Известно также устройство для локального оПределения содержания газовых 15примесей в металлах, содержащее вакуумнао камеру, оптический квантовый генервтор, масс-спектрометр, блок синхронизацни срабатывания масс-спектрометраи оптического квантового генератора 1. 2 20Недостатком известного устройстваявляется отсутствие достаточно быстройрегулировки давления в камере в моментизмерения, что не позволяет повыситьгувствительность анализа выделившегося 25газа.Цель изобретения - повышение чувствительности анализа.Поставленная цель достигается .тем,что в устройстве для локального опре- ЗОделения содержащих газовых примесейв металлах, содержащем вакуумнуюкамеруоптический квантовый генератор, масо-спектрометр, блок синхронизации срабатывания спектрометра и оптического квантового генератора дополнительно введены отсечной клапан с калиброванным отверстием, перегородкамкуумной камеры, электромагнитный привод клапана, причем седло клапща расположено в перегородке, электромагнитный привод связан штоком с клапаном иподхвачен к входу блока синхронизациисрабатывания масс-спектрометра и оптического квантового генератора.На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.Устройство состоит из измерительной камеры 1, перед окном 2 которойразмещены микроскоп 3 и оптическийквантовый генератор 4, На фланцах ВН ИИ ПИ Заказ 754 1 /44 камеры размещены датчик ионизационного вакууметра 6 и датчик масс-спект-.1рометра 6. Образец 7 расположен надержателе 8, связанном с устройством 8 ввода движения в вакуум. Возвратно-поступательное перемещение отсечного клапана 10 с отверстием 11,размещенного в перегородке 12, осуществляется через сильфон 13 при псмоши штока 14 и электромагнитного привода 15, синхронизированного с масоспектрометром 6 и оптическим квантовымгенератором 4 блоком 16 синхронизации еУстройство работает следующим образом,При достижении в камере 1 высоко-8го вакуума 10 - 10 мм рт.ст.и выборе исследуемой области на образце 7 при помощи микроскопа 3, клапан 10 находится в положении 1. Приэтом обеспечивается максимальная скорость откачки, В момент измеренияпо сигналу с блока синхронизации вкдкчаются.синхронно оптический квантовыйгенератор 4, луч которого испаряетчасть образца 7, масо-спектрометр 6и привод 15 клапана 10, Клапан переходит в положение П и перекрываетотверстие в перегородке 12, при этомоткачка части камеры производится черезотверстие 11,Масс-спектрометр производит измерение выделнвщегося из образца газа.После окончания измерений клапан переходит в положение 1, после чего циклизмерения. можно повторить. Таким образом, предлагаемое устройство позволяет обеспечить оптималь ную работу масс-спектрометра, Если производить измерения без клапана, то при высоком вакууме и большой скорости откачки камеры масо-спектрометр не зарегистрирует весь выделившийся газ. Если перекрыть камеру клапаном без отверстия, то произойдет заброс давления и спектрометр будет перегружен, Введение клапана с отверстием позволяет повысить чувствительность устройства.