411542

Номер патента: 1723956

Опубликовано: 20.10.1995

Авторы: Гурин, Семенюк, Трипута, Хоббихожин, Хоменко

МПК: C23C 14/02, H01L 21/302

Метки: ионно-плазменной

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ, содержащее вакуумную камеру, в которой размещены разрядные электроды, подключенные к двум независимым источникам ВЧ-напряжения и разделенные промежуточным заземленным электродом с отверстием, при этом обрабатываемое изделие размещено на одном из разрядных электродов против отверстия промежуточного электрода, отличающееся тем, что, с целью повышения скорости ионно-плазменной обработки и уменьшения степени загрязнения обрабатываемого изделия, оно снабжено дополнительным электродом, размещенным на противоположном торце камеры, камера выполнена в виде параллелепипеда, охватывающего разрядный, промежуточный и дополнительный электрод, формы которых повторяет сечение камеры, и присоединенного к нему...

Номер патента: 1414878

Опубликовано: 07.08.1988

Авторы: Балыкин, Баркдон, Домрачев, Минкин, Петраков, Шагун

МПК: C23C 14/32

Метки: ионно-плазменного, напыления

...инертного газа аргона до давления 0,7-0,9 Па производят, откачку активных газов посредством магнетронного насоса с титановой мишенью. Для этого на магнетрон подают рабочее напряжение 400-500 В и устанавливают ток разряда 1-1,2 А,Так как титан обладает геттерирующимдействием по отношению к активнымгазам, в течение 30-40 мин обеспечивается откачка вСех остаточных газов,кроме аргона, при этом о степениоткачки судят по цвету разряда в магнетроне. Зелено-голубой цвет плазмыразряда свидетельствует о полномпоглощении остаточных газов, кромеаргона, после чего ток разряда целесообразно понизить до 0,2-0,3 А дляобеспечения экономичного иснользова"ния татановой мишени. Если послеудаления активных остаточных газовдавление в вакуумной камере...

Номер патента: 708544

Опубликовано: 05.01.1980

Авторы: Диденко, Нечаев, Рябчиков, Тузов

МПК: H05H 5/00

Метки: инжекции, магнитным, полем, пучка, сильноточного, установку, электронного

...испарсння и тсрмоионизации материала твердотельной мишени 6. Адиабатический нагрев мишени 6 и продуктов ее испарения приводит к рез. кому нарастанию давления внутри цилиндрического сопла 5, вызывающего ускорение плазмы внутри цилиндрического сопла 5, навстречу лучу лазера. Скорость разлета плазмы достигает 10" см/с. Нейтральные атомы испаренного вещества твердотельной мишени 6 движутся так же навстречу лучу лазера и подвергаются дополнительной ионизации. Таким образом, при вполне достижимых в настоящее время уровнях мощности лазера, получают почти стопро. центную ионизацию исцаренного вещества, образующего плазменный канал внутри вакуумной каме)ы 4 установки.Геометрические размеры плазменного канала определяются размерами...

Номер патента: 854197

Опубликовано: 07.01.1986

Авторы: Бельченко, Деревянкин, Дудников

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник, отрицательных

...Источник работает следующим образом. В газоразрядную ячейку по каналу 6 в катоде или аналогичному каналу в аноде подается газообразное рабочее вещество, а из кон.тейнера 7 - пары цезия. Между катодом 3 и корпусом газоразрядной камеры 1 прикладывается напряжение, поджигающее и поддерживающее разряд.,При достаточно малых зазорах (О, 5-1 мм) между катодом и анодом разряд локализуется в полуцилиндрической канавке 5 примыкающей к эмиссионной щели 2,При глубине канавки 2 мм сильноточный тлеющий разряд, генерирующий отрицательные ионы, зажигается и без магнитного поля, но без магнитного поля вместе с отрицательными ионами извлекается интенсивный поток сопутствующих электронов, который формируется в пучок. В этом режиме из источника можно...

Номер патента: 1816288

Опубликовано: 15.05.1993

Авторы: Беришвили, Гадахабадзе, Схиладзе

МПК: C23C 14/35

Метки: вакууме, ионно-плазменного, многокомпонентных, нанесения, пленок

...систем ионна-плазменного напыления иэ заявки-прототипа,Остальные исходные данные (количественное соотношение компонентов в пленке) взяты иэ целей задачи получения многокомпонентнцх покрытий, либо являются справочными (1, 01, Р )Отметим также, что данные, приведенные в заявке в таблицах 1 и 2, подтверждены конкретнцми практическими расчетами и экспериментальными результатами.Ниже для наглядности приведен пример расчета возможных конструкций мишени с разной степенью дробления колец из одного и того же компонента для получения трехкомпонентной пленки с заданным стехиометрическим составом:А 158 Т 114 5128.Здесь за основу мишени был взят алюминий, Общие размеры мишени взяты прежними (В = 40 мм, го = 13,46 мм). Остальные исходные данные,...