Патенты с меткой «411542»

Номер патента: 411542

Опубликовано: 15.01.1974

МПК: H01J 3/04

Метки: 411542

...частиц.В известных плазменных источниках отрицательных ионов с молекулярным рабочим веществом атомарные отрицательнье ионы образуются при диссоциативных столкновениях электронов с молекулами, Большое значение имеет и диссоциативное прилипание при столкновении электронов с положительными молекулярными ионами, Конкурирующими процессами при этом являются разрушение отрицательных ионов электронным ударом, рекомбинация с положительными ионами, отщепление электронов при столкновениях и т, д.Необходимость высокой концентрации молекул обуславливает низкую газовую экономичность плазменных источников отрицательных ионов и ограничивает интенсивность пучков из-за необратимых потерь отрицательных ионов при столкновениях с молекулами после выхода...