Баркдон

Номер патента: 1414878

Опубликовано: 07.08.1988

Авторы: Балыкин, Баркдон, Домрачев, Минкин, Петраков, Шагун

МПК: C23C 14/32

Метки: ионно-плазменного, напыления

...инертного газа аргона до давления 0,7-0,9 Па производят, откачку активных газов посредством магнетронного насоса с титановой мишенью. Для этого на магнетрон подают рабочее напряжение 400-500 В и устанавливают ток разряда 1-1,2 А,Так как титан обладает геттерирующимдействием по отношению к активнымгазам, в течение 30-40 мин обеспечивается откачка вСех остаточных газов,кроме аргона, при этом о степениоткачки судят по цвету разряда в магнетроне. Зелено-голубой цвет плазмыразряда свидетельствует о полномпоглощении остаточных газов, кромеаргона, после чего ток разряда целесообразно понизить до 0,2-0,3 А дляобеспечения экономичного иснользова"ния татановой мишени. Если послеудаления активных остаточных газовдавление в вакуумной камере...