Номер патента: 357600

Авторы: Бондаренко, Соколов, Юсов

ZIP архив

Текст

357600 Еоюв Советсиив Социалистическиз РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 24 1.1971 ( 1623923/26-9) М. Кл. Н 01 с 7/00 исоединением заявкиКомитет ао делам аобретений и открытий при Совете Министров СССР, Бондаренко и Ю. П, Ю Б, П. Соколов,Московский авиационный технологический инстит аявител РЕЗИСТИВНЫЙ МАТЕР Изобретение относится к области технологии радиоэлементов.Известен резистивный материал для тонкопленочных резисторов на основе металла, карбида металла и газа. 5Цель изобретения - уменьшение ТКС материала, расширение диапазона номиналов резисторов и повышение надежности их работы,Поставленная цель достигается тем, что материал состоит из смеси или твердого раствора 10 тантала, карбида тантала и несвязанного азота при следующем соотношении исходных компонентов, вес. %: Осуществление процесса в азотосодержащеи среде позволяет также насыщать покрытие несвязанным азотом (2 - 3 вес. %), изменяющим в нужную сторону электросопротивление покрытия.Образование резистивной пленки с малым ТКС и с широким диапазоном номиналов возможно благодаря малому ТКС карбида тантала (от 10 - 4 до 10 - 6 град т) и высокому удельному сопротивлению, мало меняющемуся в диапазоне температур 20 - 1000 С. Содержание резистивным покрытием несвязанного растворенного в тантале азота также позволяет уменьшить ТКС и расширить диапазон номиналов резисторов. 58 - 94 3 - 40 2 - 3 Карбид танталаТанталНесвязанный азот Предм зобретен ся пример образования реиз предлагаемого материаском основании. 20 зистивной пленки на диэлекии из керамики, стекла, снматериалов осуществляется о напыления тантала (3 - е из смеси, например, азота 25 Термическое плазменное пыется на подогретую до тем С подложку, при этом наосаждается карбид тантала образованный в газовой фаи паров тантала с углеродами. Резистивныйрезисторов нала и газа, отуменьшения тепротивления,лов резистороработы, указаси или твердтантала и нессоотношении и 8 - 94 3 - 40 Карбид танталаТанталНесвязанный азот Ниже приводитзистивной пленки.ла на диэлектричеОбразование ретрическом основанталла и другихпутем плазменног40 вес. % ) в среди углеводородов.ление тантала ведпературы 400 вряду с танталом(58 - 94 вес. %),зе за счет реакцисодержащими пар материал для тонкопленочных основе металла, карбида металличающийся тем, что, с целью мпературного коэффициента сорасширения диапазона номинав и повышения надежности их нный материал состоит из смеого раствора тантала, карбида вязанного азота при следующем сходных компонентов, вес. %:

Смотреть

Заявка

1623923

Б. П. Соколов, Э. А. Бондаренко, Ю. П. Юсов Московский авиационный технологический институт

МПК / Метки

МПК: H01C 7/06

Метки: материал, резистивный

Опубликовано: 01.01.1972

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-357600-rezistivnyjj-material.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Резистивный материал</a>

Похожие патенты