Способ определения поверхностного потенциала
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
с:ОЮ;ИАТ:;. -ТоХНй тбл тет ЕТЕНИМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ Союз Советских Социалистических РеспубликОБР ВТОРСКО ависимое от авт. свидетельствааявлено 28,Х 11.1966 ( 1122041/26-25)присоединением заявкириоритетпубликовано 01.Ч.1971. Бюллетень21Дата опубликования описания ЗО.Ч 111.1971 01 г 29 011 7/О М Комитет од двламИзобретений и открыти ори Совете Министров К 621.317.799:537Авторыизобретения С. П. Кальвенас, Л, А. Климка, В. И, Гуога и Ю. К. Пожел явите ПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОЛУЕРХНОСТНОВОДНИКА ОТЕН ЦИАЛА з,р)+й,(") В 2 йт + Р(Ф)Я2 Я1 у)О а по- бразсопротивление объелупроводниковогоца в равновесныхтрических полях; екИзобретений относится к области исследования физических параметров полупроводниковых материалов.Известный способ определения поверхностного потенциала полупроводника основан на эффекте поля и заключается в следующем. К конденсатору, одной из обкладок которого является металлический электрод, а друтой - поверхность полупроводника, прикладывают внешнее электрическое продольное поле, по следнее не нарушает термодинамическое равновесие между свободными носителями и решеткой полупроводника. При этом заряд в области пространственного заряда в полупроводнике изменится таким образом, чтобы 15 экранировать объем полупроводника как от поля заряда, локализованного в поверхностных состояниях, так и от внешнего приложенного электрического поля. Соответственно изменится поверхностный потенциал и одно значно связанное с ним поверхностное сопротивление. Поэтому измеряя изменение поверхностного сопротивления, определяют поверхностный потенциал по теоретическим кривым.Цель изобретения заключается в повыше нии чувствительности измерения, в возможности определения поверхностного потенциала полупроводника при больших загибах зон в сторону инверсии в устройствах, основанных на разогреве носителей тока электрическим 30 полем, без нарушения целостности этих устройств,Это достигается изменением объемного сопротивления полупроводника при почти неизменном поверхностном сопротивлении за счет прикладывания к полупроводниковому образцу сильного электрического поля, обеспечивающего нарушение термодинамического равновесия между свободными носителями и решеткой полупроводника. Предлагаемый способ осуществляется следующим образом. Полупроводниковый образец попеременно помещают в равновесное и нарушающее тер модин амическое равновесие электрические продольные поля, измеряют изменение эффективного сопротивления при заданных напряженностях полей и по теоретическим кривым определяют значения поверхностного потенциала полупроводника.Теоретическая кривая строится, используя выражения
СмотретьЗаявка
1122041
С. П. Кальвенас, Л. А. Климка, В. И. Гуога, Ю. К. Пожела
МПК / Метки
МПК: H01L 21/66
Метки: поверхностного, потенциала
Опубликовано: 01.01.1971
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-308390-sposob-opredeleniya-poverkhnostnogo-potenciala.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения поверхностного потенциала</a>
Предыдущий патент: Устройство для испытания токопроводящихполимеров
Следующий патент: Всесоюзная шij -v ч t•«. -v • г -. • t. 1. 4 г “• i т. • lhulb-: . a.;: i; , ca; , iбиamp; лиоте1ла i
Случайный патент: Устройство для моделирования стеноза кровеносного сосуда