Ворвуль
Устройство для измерения электростатического контраста на движущихся периодически заряженных диэлектрических и полупроводниковых слоях
Номер патента: 1272283
Опубликовано: 23.11.1986
Авторы: Ворвуль, Ковалелис, Матвеев, Росов
МПК: G01R 29/12, G01R 29/24
Метки: движущихся, диэлектрических, заряженных, контраста, периодически, полупроводниковых, слоях, электростатического
...частот, оконечного усилителя 7 и регистрирующего прибора 8.Неподвижные чувствительные элек- ЗО троды 1 располагаются на расстоянии, например, 0,5-2 мм от контролируемой поверхности по направлению перемещения периодического потенциального рельеФа на расстоянии, равном нечет- З 5 ному числу пространственных полупериодов периодического потенциального рельефа.Чувствительные электроды могут иметь любую форму и быть выполнены 40 различным образом, например из Фольгированного стеклотекстолита (фиг.2),Могут быть предусмотрены конструктивные меры, позволяющие плавно либо ступенчато изменять расстояние между 45 чувствительными электродами, Входное сопротивление дифференциального усилителя 4 равно, например, 10-30 МОм,Принцип действия...
Устройство для измерения поверхностного электростатического потенциала
Номер патента: 691786
Опубликовано: 15.10.1979
Авторы: Ворвуль, Ковалелис, Ружяле
МПК: G01R 29/12
Метки: поверхностного, потенциала, электростатического
...содержйт прозрачную пластину1, на которую нанесены экранирующийи измерительный электроды 2 и Э,причем экранирующий электрод 2 нанесен на одной стороне прозрачнойпластины 1 и снабжен отверстием 4,а измерительный электрод Э нанесенна противоположную сторону прозрачнойпластины 1 соосно с отверстием 4 иимеет размер отверстия 4.Экранирующий электрод 2 и измери-.тельный электрод 3 имеют контактныеплощадки 5 и 6.Устройство работает следующимобра зом,Величина измеряемой с поиощьюустройства площади заряженного участка поверхности материала практическиравна площади измерительного электрода 3, поэтому уменьшение размеровизмерительного электрода 3 и отверстия 4 в экранируквем электроде 2увеличивает разрешающую способность.Уменьшение...