Способ автоматического управления п получения чистых материалов из газоп п. ft jh-•: •••,: оцмедgt; amp; мй1ой фазы”

Номер патента: 190580

Авторы: Айзенштейн, Иванов, Казакевич, Лисовский

ZIP архив

Текст

19 ОБЗО ОП ИСАН ИЕ ИЗОБ РЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республиквисимое от авт, свидетельстваКл, 40 а, 61/00 аявлено 09.И.1964 ( 904753/22-1присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 29.Х 1.1966. Бюллетень2Лата опубликования описания 6.11.1967 МПК С 22 Ь Комитет по цвлаьизобретений и открытопри Совете аликсрсСССР. Лисовский, В. В. Казакевич, А. Г, Айзенштейн и В ванов Предмет изо бр ете В известных способах автоматического управления процессами получения чистых материалов из газовой фазы переменные входные параметры процесса регулируют с помощью автоматических регуляторов по заданным программам, определяемым из услоьия ведения процесса при максимальной скорости осаждения.Особенностью описываемого способа является то, что в течение процесса непрерывно оп ределяют скорость убывания омического сопротивления наращиваемого материала, в зависимости от которой производят поиск и поддержание оптимальных значений входных переменных параметров, соответствующих мак симальному значению критерия производительности. Это дает возможность устранить влияние различных внешних и внутренних факторов на установленный ход процесса, в результате чего повышается его производи тельность.По описываемому способу измеряемая непрерывно в ходе процесса величина, обратная омическому сопротивлению наращиваемого материала, и сигнал отклонения температуры 25 от задания подаются в вычислительное устройство, с помощью которого в течение фиксированного промежутка времени определя. ется критерий производительности. Поиск оптимальных значений входных параметров, соответствующих максимуму этого критерия, осуществляется последовательно с помощью экстремального регулятора. Способ автоматического управления процессами получения чистых материалов из газовой фазы, с осаждением на твердую подложку, путем регулирования входных параметров с помощью автоматических регуляторов, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности процесса, в ходе его непрерывно определяют скорость убывания омичеокого сопротивления наращиваемого материала, в зависимости от которой производят поиск и поддержание оптимальных значений входных переменных параметров, соответствующих максимальному значению критерия производительности.

Смотреть

Заявка

904753

СЕсо

Д. И. Лисовский, В. В. Казакевич, А. Г. Айзенштейн, В. А. Иванов

МПК / Метки

МПК: C30B 25/16

Метки: jh-•, газоп, мй1ой, оцмедgt, фазы, чистых

Опубликовано: 01.01.1967

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-190580-sposob-avtomaticheskogo-upravleniya-p-polucheniya-chistykh-materialov-iz-gazop-p-ft-jh-ocmedgt-amp-mjj1ojj-fazy.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ автоматического управления п получения чистых материалов из газоп п. ft jh-•: •••,: оцмедgt; amp; мй1ой фазы”</a>

Похожие патенты