Патенты с меткой «оцмедgt»
Способ автоматического управления п получения чистых материалов из газоп п. ft jh-•: •••,: оцмедgt; amp; мй1ой фазы”
Номер патента: 190580
Опубликовано: 01.01.1967
Авторы: Айзенштейн, Иванов, Казакевич, Лисовский
МПК: C30B 25/16
Метки: jh-•, газоп, мй1ой, оцмедgt, фазы, чистых
...является то, что в течение процесса непрерывно оп ределяют скорость убывания омического сопротивления наращиваемого материала, в зависимости от которой производят поиск и поддержание оптимальных значений входных переменных параметров, соответствующих мак симальному значению критерия производительности. Это дает возможность устранить влияние различных внешних и внутренних факторов на установленный ход процесса, в результате чего повышается его производи тельность.По описываемому способу измеряемая непрерывно в ходе процесса величина, обратная омическому сопротивлению наращиваемого материала, и сигнал отклонения температуры 25 от задания подаются в вычислительное устройство, с помощью которого в течение фиксированного промежутка времени...