Установка ионного легирования

Номер патента: 1292601

Авторы: Автюшков, Бобченок, Борисов, Гурский, Симонов

ZIP архив

Описание

Установка ионного легирования, включающая последовательно расположенные в вакуумной камере источник многозарядных ионов, масс-сепаратор, состоящий из магнита с полюсами, выполненными в форме секторов в плоскости, перпендикулярной магнитным силовым линиям, и расположенного между полюсами и повторяющего их форму в той же плоскости ионопровода, ускорительную трубу и подложкодержатель, отличающаяся тем, что, с целью увеличения производительности и возможности регулирования профиля концентрации внедренных ионов, каждый из секторов выполнен из n частей в форме полукольца и расположенных внутри него четвертьколец, изготовленных из однородных магнитных материалов, средние радиусы полукольца и четвертьколец выбраны из соотношения

где Rn - средний радиус полукольца, м;

Ri - средний радиус с i-го четвертькольца, м;

Bi - магнитная индукция, созданная i-м четвертькольцом в ионопроводе, Т;

Bn - магнитная индукция, созданная полукольцом в ионопроводе, Т;

n - количество частей полюса магнита, равное числу степеней ионизации ионов;

i - порядковый номер четвертькольца при отсчете в порядке возрастания их средних радиусов (i = 1, 2, 3,..., n-1).

Заявка

3882300/25, 09.04.1985

Автюшков Е. В, Борисов О. М, Гурский Л. И, Бобченок Ю. Л, Симонов В. В

МПК / Метки

МПК: H01L 21/265

Метки: ионного, легирования

Опубликовано: 20.06.2012

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1292601-ustanovka-ionnogo-legirovaniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Установка ионного легирования</a>

Похожие патенты