Способ контроля структуры пограничного слоя двуокиси кремния в системах окисел полупроводник

Номер патента: 857820

Опубликовано: 23.08.1981

Авторы: Брик, Матяш

МПК: G01N 24/10

Метки: наблюдения, парамагнитного, резонанса, сигналов, электронного

...выдает импульсы отрицательной полярности на сетку генераторной лампы высокочастотного генератора 14; осу-. ществляют модуляцию амплитуды пере" ео менного сигнала Н совий импульсами прямоугольной формы при коэффициенте модуляции 100, Эти же импульсы .подают на вход синхронного детекто ра 11ЫЧастоту следованиямодуляционныхимпульсов Я устанавливают не менее,чем на порядок меньше ширины линиирезонансного поглощенияао, хьнр Это требование обусловлено необходимостью получения неискаженного сигнала ЭПР. При несоблюдении укаэанного требования, т.е. ПриЯ )о,та Нр; наблюдается искажение линии ЭПР вследствие нелинейности характеристик исследуемого образца, в котором происходит смещение сигналов с частотами 1 ви щ 2.На практике Я. выбирают из...

Номер патента: 312327

Опубликовано: 01.01.1971

Автор: Седов

МПК: H01J 37/26

Метки: быстропротекающих, микроскопе, наблюдения, полупроводниках, процессов, электронном

...может быть небольшим, и пучок может прочерчивать на диафрагме траекторию в форме эллипса, Для того чтобы проходящий диафрагму пучок продолжал двигаться вдоль оси системы, применяют дополнительный постоянный сдвиг пучка путем подачи постоянного напряжения на пластину вертикального отклонения, при этом отверстие располагают в центре диафрагмы.Скважность освещающих импульсов опргделяется диаметром пучка на диафрагме и размахом отклонения в горизонтальном направлении.В случае применения ионного пучка для предотвращения его расплывания при движении к объекту используется монохроматор скоростей ионов, находящийся перед входом в систему отклонения. Монохроматоры, например, электростатического типа состоят из пары электродов...

Номер патента: 1035679

Опубликовано: 15.08.1983

Авторы: Достанко, Егоров, Левчук, Ширипов

МПК: H01J 37/26

Метки: микроскоп, просвечивающий, электронный

...каждого ионного .источникавыполнен иэ магнитомягкого материаладля,концентрации магнитных полейсоленоидов 1 или постоянных магнитов ) 12 и 13 в кольцевых ускорительных каналах 14 и 15, которые являются вместе с кольцевыми анодами16 и 17,зонами газовых разрядов иускорения ионов. По оси корпуса ионных источников выполнены сквозныеотверстия для прохождения электрон-.ного пучка, стенки которых 18 и 19также изготовлены из магнитомягкогоматериала и служат магнитным экраномуменьшающим воздействие магнитныхполей соленоидов 12.и 13 на электронный зондирующий пучок 5. Небольшиемагнитные поля рассеяния, существующие внутри. отверстий имеют осесимметричную Форму и благодаря со.осному с электронным пучком расположению ионных источников...

Номер патента: 1819356

Опубликовано: 30.05.1993

Авторы: Иванковский, Куницин, Меерталь, Остапчук, Стасюк, Фоминых

МПК: H01L 21/302

Метки: кремний-металлосодержащего, многослойных, селективного, слоя, структурах, травления

...подложке, например пластине кремния, создают диэлектрические изолирующие слои, например термически выращенную двуокись кремния (3102, нитрида кремния (3 за), фосфорно-силикатного стекла (ФСС) или их комбинации, на которых формируют кремний-металлсодержащий слой на основе кобальта (Со) и (или) титана (Т) путем, например, совместимого катодного распыления мишени из металла и мишени из кремния с последующим отжигом наносимого слоя, либо в виде металл- кремниевого (кобальт-кремниевого или титан-кремниевого) сплава в виде резистивных слоев типа РС 3000 К(Со - 30, Я 1-707 ь), РС 2310 К (Соь, Т, 3-67) и других, например путем одновременно ионноплазменного распыления их из мишени, с содержанием металла в слое не более 40, после...

Номер патента: 535626

Опубликовано: 15.11.1976

Авторы: Кисель, Кобыляков, Махонин

МПК: H01J 37/26

Метки: микроскоп, растровый, электронный

...соединен плюсом с корпусом микроскопа и минусом с объектом 9, Напряжение источника 10 питания иммерсионного объектива меньше по напряжению источника 19 питания электронной пушки,Микроскоп работает следующим образом.Сфокусированный предварительно электронный зонд 3 после прохождения первой электронно-оптической системы 2 попадает в поле отклоняющей системы 5, которая направляет его по оси иммерсионной линзы 8. Перед входом в поле линзы 8 на этот зонд действует отклоняющая система 6, Она разворачивает зонд по поверхности объекта по строкам и кадру. Иммерсионная линза 8 для первичного электронного зонда является формирующей линзой с малыми передним отрезком и сферической аберрацией. Это позволяет сформировать в плоскости объекта...