Способ контроля электролюминесцентных p-n-структур

Номер патента: 971041

Авторы: Криворотов, Марончук, Пивоварова, Рудая, Спектор

Описание

Способ контроля электролюминесцентных p-n-структур, включающий измерение интенсивности электролюминесцентного излучения со стороны эпитаксиального слоя, отличающийся тем, что, с целью неразрушающего контроля толщины p-n-областей электролюминесцентной структуры, дополнительно измеряют интенсивность электролюминесцентного излучения со стороны подложки и по отношению определяют толщину p-n-областей.

Заявка

3257858/25, 05.03.1981

Новосибирский государственный университет, Институт физики полупроводников СО АН СССР

Криворотов Е. А, Марончук И. Е, Марончук Ю. Е, Пивоварова И. В, Рудая Н. С, Спектор С. А

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: p-n-структур, электролюминесцентных

Опубликовано: 10.11.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-971041-sposob-kontrolya-ehlektrolyuminescentnykh-p-n-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля электролюминесцентных p-n-структур</a>

Похожие патенты