Способ изготовления полупроводниковых датчиков давления

Номер патента: 835268

Авторы: Вигдорович, Говорухин, Малюков, Молодцов, Петрова

Описание

1. Способ изготовления полупроводниковых датчиков давления, включающий выращивание маскирующего слоя двуокиси кремния на пластине кремния, его травление, формирование тензорезисторов и присоединение выводов, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса изготовления и улучшения качества полупроводниковых датчиков, после формирования тензорезисторов на обратной стороне пластины кремния располагают кристаллодержатели, на поверхность которых наносят слой стекловидного диэлектрика, коэффициент линейного термического расширения которого согласован с коэффициентом линейного термического расширения кристаллодержателя, спаивают их вместе при температуре не более 1000oC, формируют металлизацию на тензорезисторы и разделяют пластину кремния совместно с кристаллодержателями на отдельные модули с полупроводниковыми датчиками.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что слой стекловидного диэлектрика толщиной 6 - 9 мкм на кристаллодержателях получают методом центрифугирования из суспензии стекловидного диэлектрика системы SiO2 - B2O5 - Al2O3 - RO или PbO - B2O3 - ZnO при времени осаждения 5 - 7 мин и воздействии линейных перегрузок (1,5 - 2,0) 103g, оплавлением полученного слоя при температуре 900 - 950oС в течение 8 - 10 мин для системы SiO2 - B2O3 - Al2O3 - RO, при температуре 600 - 630oC для системы PbO - B2O3 - ZnO в течение 8 - 10 мин с последующим охлаждением для каждой системы со скоростью 3 - 5oC/мин.

Заявка

2908161/25, 03.04.1980

Таганрогский радиотехнический институт им. В. Д. Калмыкова, Московский институт электронной техники

Вигдорович В. Н, Петрова В. З, Молодцов В. А, Малюков С. П, Говорухин В. Н

МПК / Метки

МПК: H01L 21/34

Метки: давления, датчиков, полупроводниковых

Опубликовано: 27.12.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-835268-sposob-izgotovleniya-poluprovodnikovykh-datchikov-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления полупроводниковых датчиков давления</a>

Похожие патенты