Способ изготовления полупроводниковых датчиков давления
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 835268
Авторы: Вигдорович, Говорухин, Малюков, Молодцов, Петрова
Описание
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что слой стекловидного диэлектрика толщиной 6 - 9 мкм на кристаллодержателях получают методом центрифугирования из суспензии стекловидного диэлектрика системы SiO2 - B2O5 - Al2O3 - RO или PbO - B2O3 - ZnO при времени осаждения 5 - 7 мин и воздействии линейных перегрузок (1,5 - 2,0)

Заявка
2908161/25, 03.04.1980
Таганрогский радиотехнический институт им. В. Д. Калмыкова, Московский институт электронной техники
Вигдорович В. Н, Петрова В. З, Молодцов В. А, Малюков С. П, Говорухин В. Н
МПК / Метки
МПК: H01L 21/34
Метки: давления, датчиков, полупроводниковых
Опубликовано: 27.12.1999
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-835268-sposob-izgotovleniya-poluprovodnikovykh-datchikov-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления полупроводниковых датчиков давления</a>
Предыдущий патент: Способ получения перхлората магния или кальция
Следующий патент: Устройство для определения степени компенсации примесей в полупроводниках
Случайный патент: Устройство для индикации