Способ изготовления кремниевых структур

Номер патента: 1602275

Авторы: Губарев, Марквичева, Нисневич

Описание

Способ изготовления кремниевых структур, включающий химическую обработку пластин кремния n-типа проводимости, загрузку пластины и источника алюминия в печь, проведение первой термообработки - диффузии алюминия, выгрузку из печи, загрузку пластин и источника галлия в печь и проведение второй термообработки - диффузии галлия, отличающийся тем, что, с целью повышения времени жизни дырок в n-слое в качестве источника алюминия используют пленку оксида кремния толщиной 0,2-0,4 мкм, осажденную на кремниевую пластину из раствора и содержащую 0,3-4,8 мас.% оксида алюминия, а в качестве источника галлия используют пленку оксида кремния толщиной 0,2-0,4 мкм, осажденную на кремниевую пластину из раствора и содержащую 2,8-10,4 мас.% оксида галлия, причем легированную галлием пленку осаждают после диффузии алюминия непосредственно на легированную алюминиевую пленку.

Заявка

4635611/25, 28.10.1988

Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина

Губарев В. Н, Марквичева В. С, Нисневич Я. Д

МПК / Метки

МПК: H01L 21/225

Метки: кремниевых, структур

Опубликовано: 27.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1602275-sposob-izgotovleniya-kremnievykh-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления кремниевых структур</a>

Похожие патенты