Способ изготовления кремниевых структур
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1602275
Авторы: Губарев, Марквичева, Нисневич
Описание
Заявка
4635611/25, 28.10.1988
Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина
Губарев В. Н, Марквичева В. С, Нисневич Я. Д
МПК / Метки
МПК: H01L 21/225
Метки: кремниевых, структур
Опубликовано: 27.06.2000
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1602275-sposob-izgotovleniya-kremnievykh-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления кремниевых структур</a>
Предыдущий патент: Наддолотный лубрикатор
Следующий патент: Гидросепаратор
Случайный патент: Опора канатного става ленточного конвейера"