Патенты с меткой «нитридных»

Номер патента: 894486

Опубликовано: 30.12.1981

Авторы: Комаров, Курьязов, Малявко, Соловьев, Тишков, Черненко, Ширяев

МПК: G01N 15/08

Метки: кремнии, нитридных, окисных, пленках, пор, сквозных

...начинают пррекрываться, что ведет к заниженной оценке степени пористости,П р и м е р 1.Проводят контроль пористости пленок в следующих структурах; пластино кремния марки КЭФс ориентацией поверхности (001) диаметрои 60 мм и толщиной 500 мкм с пленкой двуокиси кремния толщиной Оу 12 мки. Структуры помещает в высоковакууиную печь, где с поиощьв натекателя паров гексана поддерживается давление 27. 10 4 Па и на 1,0 мин подни" мают их температуру до 1000 С, при этом в порах на границе раздела пленка подложка в результате химического взаимодействия кремния с парами гексана, проникшими к подложке сквозь поры, образуются включения карбида креиния диаметром -фЗ мкм. Определенная с помощьв металлографичхеского йикроскопа МИРР при 300...

Номер патента: 1836484

Опубликовано: 23.08.1993

Автор: Фридрих

МПК: C23C 8/24

Метки: детали, нанесения, нитридных, слоев, сплавов, титана

...500-1000 С, МПа. При этом парциальиака составляет минимум е оптимальны температувление 0,5 - 7 МПа, Способ учение нитридных слоев м и более. 1 з,п. ф-лы, 1 ил, 1836484ление в диапазоне 0,5-7 МПа, причем требуется парциальное давление аммиака минимум 0,2 МПа,При таком способе под давлением на деталях из титана и титановых сплавов, имеющих любую геометрию и габариты, при соответствующих размерах камерных печей, можно получать достаточно толстые покрытия нитридных слоев (до 20 мкм и более). Исключительное значение имеет тот факт, что не требуются газы свысокой степенью частоты, достаточно использовать аммиак обычного промышленного качества, Кроме того, имеется возможность подмешивать к аммиаку азот, причем для способа аэотирования...

Номер патента: 1628561

Опубликовано: 20.06.2012

Авторы: Астапчик, Хатько

МПК: C23C 14/28

Метки: нитридных, покрытий, формирования

Способ формирования нитридных покрытий, включающий воздействие импульсного лазерного излучения на поверхность подложки в азотсодержащей среде при длительности лазерного импульса 10 -3-10-6 с и плотности мощности лазерного излучения 2·106 - 1010 Вт/см2, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей способа, в качестве азотсодержащей среды используют слой жидкости азота, сформированного на поверхности подложки, причем толщину слоя жидкого азота выбирают в интервале (2-5)D, где D - диаметр лазерного пятна на поверхности, равной 0,5-1,5 мм.