Способ изготовления сфер из монокристаллических феррогранатов
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Формула
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СФЕР ИЗ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ФЕРРОГРАНАТОВ, включающий резку монокристаллов на кубические заготовки, придание заготовкам формы, близкой к сферической, с использованием абразива зернистостью 160/125 мкм, шлифование связанным абразивом последовательно уменьшающейся зернистости 80/63, 40/28, 20/14 мкм, полирование свободным абразивом последовательно уменьшающейся зернистости 10/7, 5/3, 3/2, 1/0,5 мкм, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных сфер по однородности кривой ферромагнитного резонанса, на каждом этапе шлифования снимают слой толщиной 310 d/H3, а при полировании абразивом зернистостью 10/7 мкм, преимущественно эльбором на полировальнике из стеклотекстолита, снимают слой толщиной от 11 до 15 мкм, где d зернистость абразива, мкм, Н твердость монокристалла по Моосу.
Описание
Цель изобретения повышение выхода годных сфер по однородности кривой ферромагнитного резонанса. Монокристаллы иттрийжелезного граната Y3Fe5O12 (ИЖГ) и кальцийвисмутванадиевого граната Ca2xBi3-2xFe5-xVxO12 (КВВГ) разрезают алмазной кольцевой пилой с внутренней режущей кромкой на заготовки в виде кубиков с длиной сторон 1,4 мм. После отбраковки кубиков, имеющих трещины и сколы, их обрабатывают с помощью абразива зернистостью 160/125 мкм методом обкатки до придания им формы, близкой к сферической. Затем сферы шлифуют во вращающихся чашках с наклоном стенок 45о при неподвижном диске (диаметр чашки 25 мм, угловая скорость вращения 100 об/с). Зернистость карбида кремния при шлифовании изменяют в следующей последовательности: 80/63; 40/28; 20/14 мкм. Затем сферы полируют с использованием порошков эльбора на полировальнике из текстолита, изменяя зернистость альбора в следующей последовательности: 10/7; 5/3; 1,0/0,5 мкм. Величину припуска при шлифовании выбирают из выражения 310 d/H3, где d диаметр зерна абразива. Н твердость монокристалла по Моосу (твердость ИЖГ по Моосу 7,5, твердость КВВГ по Моосу 6,5. При полировании сфер эльбором зернистостью 10/7 мкм снимают слой толщиной от 11 до 15 мкм. Обработанные сферы контролируют по однородности кривой ферромагнитного резонанса

Результаты обработки и измерений сведены в таблицу.
Предлагаемый способ позволяет повысить выход годных сфер по однородности кривой ферромагнитного резонанса почти в восемь раз, причем производительность обработки повышается по сравнению с известными способами в 2,5-2,7 раза.
Рисунки
Заявка
3701646/25, 10.02.1984
Петров В. В, Генделев С. Ш, Шильников Ю. Р
МПК / Метки
МПК: H01L 21/463
Метки: монокристаллических, сфер, феррогранатов
Опубликовано: 27.09.1995
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1268002-sposob-izgotovleniya-sfer-iz-monokristallicheskikh-ferrogranatov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления сфер из монокристаллических феррогранатов</a>
Предыдущий патент: Вертолет
Следующий патент: Резонатор для приборов свч
Случайный патент: Устройство для измерения расхода электропроводных жидкостей