H01J 37/08 — источники ионов; ионные пушки

Номер патента: 1356874

Опубликовано: 15.02.1993

Авторы: Пузиков, Семенов, Трубаев, Чайковский

МПК: H01J 37/08

Метки: ионов, источник

...им электрон ного луча совпадает с выходом каналав корпусе тигля 8, обращенным к аноду 1, Экстрактор 16 отделен от анода1 высоковольтным керамическим изолятором 8. На верхнем Фланце источни- ЗБ ка ионов установлена вакуумная камера 19. Молибденовая траверса 12 катода 9 введена в камеру 19 через керамический изолятор 20, необходимыйдля обеспечения подключения злектро-.о40 питания к траверсе 12 и уменьшениятеплоотвода от катоца 9. Вертикальное перемещение траверсы 12 с. катодом 9 производится через сильфон 21,Перед запуском источника установка, 45 в которой он работает, откачинаетсясредствами вакуумной откачки до дав ления 5.10 - 1 О мм рт.ст. Между катодом 9 и промежуточным электродом4 прикладывается напряжение 30 В, 50 Промежуточный...

Номер патента: 1387783

Опубликовано: 30.06.1994

Авторы: Горелик, Трофимов, Чутко

МПК: H01J 37/08

Метки: оптических, поверхностей

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ изделий, содержащее вакуумную камеру с размещенным в ней ионным источником, снабженным приводом перемещения, приспособлением для крепления обрабатываемого изделия с приводом вращения его вокруг собственной оси, систему контроля за формообразованием обрабатываемой поверхности, блок управления, выходы которого соединены с ионным источником, приводом его перемещения и блоком сравнения, а вход блока управления соединен с выходом системы контроля через блок сравнения, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обрабатываемых поверхностей при сохранении высокой производительности процесса обработки, в состав блока сравнения включена схема сравнения по скорости процесса распыления, выход...

Номер патента: 1210607

Опубликовано: 20.03.1995

Авторы: Герловин, Журавлев, Никитинский, Фурман, Ярмолюк

МПК: H01J 27/04, H01J 37/08

Метки: ионно-лучевой

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКИ, содержащее источник ионов, образованный газоразрядной камерой, профилированными эмиссионным и ускоряющим электродами, установленными с постоянным зазором между их рабочими поверхностями, в которых выполнены соосные отверстия равного диаметра, а также подложкодержатель плоских обрабатываемых деталей, при этом источник ионов установлен под углом к поверхности подложкодержателя, отличающееся тем, что, с целью повышения равномерности обработки деталей с линейными размерами, превышающими характерный линейный размер пучка ионов, форма рабочих поверхностей эмиссионного и ускоряющего электрода удовлетворяет условию

Номер патента: 1429829

Опубликовано: 27.07.1996

Авторы: Галль, Кормилицын, Кузьмин

МПК: H01J 37/08

Метки: ионов, источник, масс, основе, разряда, скользящего, спектрометрии

Источник ионов на основе скользящего разряда для масс-спектрометрии по авт. св. N 1132726, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода ионов, он снабжен дополнительным электродом, соединенным с катодом, расположенным над областью разряда на расстоянии, большем половины межэлектродного расстояния, и имеющим щель для экстракции ионов.

Номер патента: 1126128

Опубликовано: 27.04.1998

Авторы: Орликов, Чикин

МПК: H01J 37/08

Метки: газоразрядная, пушка, электронная

Газоразрядная электронная пушка, содержащая холодный катод и полый анод, отличающаяся тем, что, с целью повышения плотности мощности формируемого электронного пучка и стабилизации электронно-оптических свойств пушки при различных режимах ее работы, пушка снабжена отдельной системой откачки, а анод выполнен в виде осесимметричного сверхзвукового сопла, расположенного по оси пушки, охватывающего катод и имеющего перфорированные стенки.

Номер патента: 1136669

Опубликовано: 27.03.2000

Авторы: Голованивский, Дугар-Жабон, Сафонов

МПК: H01J 27/16, H01J 37/08

Метки: ионов, источник, многозарядных

Источник многозарядных ионов по авт.св. 760821, отличающийся тем, что, с целью повышения плотности тока многозарядных ионов, резонатор снабжен диэлектрической камерой, а система извлечения ионов выполнена в виде высоковольтного и заземленного электродов, установленных в упомянутой камере.

Номер патента: 1395030

Опубликовано: 27.03.2000

Авторы: Голованивский, Дугар-Жабон

МПК: H01J 37/08

Метки: ионов, источник, многозарядных

Источник многозарядных ионов, содержащий вакуумную камеру, магниты, создающие магнитное поле остроугольной конфигурации, электроды, систему создания плазмы и систему экстракции ионов, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности источника и увеличения тока выводимых ионов, источник дополнительно снабжен двухмодовым резонатором, помещенным между одноименными полюсами магнитов, а системы экстракции ионов размещены в сквозных отверстиях, проходящих через полюса магнитов, при этом оси каналов совпадают с осями симметрии магнитов, система создания плазмы выполнена на основе одномодового резонатора, отделенного от двухмодового резонатора стенкой с отверстием для впрыскивания плазмы.