C01B 33/035 — разложением или восстановлением газообразных или испаряемых соединений кремния в присутствии нагретых волокон кремния, углерода или тугоплавкого металла, например тантала или вольфрама, или в присутствии нагретых кремниевых прутков, на которые осаждается образующийся кремний (при этом получается кремниевый пруток), например процесс Сименса

Способ восстановления кремния

Загрузка...

Номер патента: 145224

Опубликовано: 01.01.1962

Авторы: Бодров, Гурович, Калинбет, Малороссиянов, Покровский, Тузовский, Хребтищев

МПК: C01B 33/035

Метки: восстановления, кремния

...в реакторе, схема которого показана на чертеже. Реактор состоит из следующих основных частей:водоохлаждаемой металлической крышки 1 с встроенной в нее то коподводами 2, к которым крепятся стержни 3 из полупроводниково145224го кремния; водоохлаждаемого металлического корпуса 4, водоохлаждаемого металлического поддона 5 с встроенными в него токоподводами б для питания графитового нагревателя 7 с графитовой насадкой ч; системы графитовых и кварцевых экранов 9 и 10; снизу реактор имеет крышку 11. При пуске реактора через графитовую насадку 8 начинается подача технологического газа, например водорода (могут быть использованы спектрально чистый гелий, аргон и др.), после чего включается графитовый нагреватель 7 и подается низкое (рабочее)...

Аппарат для осаждения материалов из газовойфазы

Загрузка...

Номер патента: 245731

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Антонов, Барштак, Басалаев, Малоросси, Остапенко

МПК: C01B 33/035, C23C 16/54

Метки: аппарат, газовойфазы, осаждения

...число токовводов на группу стержней, расположенных в одной горизонтальной плоскости, и исклю чить их деформацию в процессе осаждения.На чертеже изображен описываемый аппарат,Стержневые основы 1, на которые производится осаждение, помещены горизонтально в 25 полости герметичной камеры 2. На каждую группу стержней, расположенных в одной горизонтальной плоскости, приходится по два токоввода 3, введенных в полость камеры на всю ее длину. Стержневые основы установле- З 0 ны свободно, концы их опираются на токовво. ды, снабженные в этой части электроизоляцией. Стержни в каждой группе соединены последовательно при помощи перемычек 4 из электропроводного материала, Ток подводится к группе стержней через контакты 5.Лппарат может быть применен...