Устройство для нанесения полупроводящего слоя

902 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических РеспубликВТОР СКОМУ ЕТЕЛЬСТВУ ависимое от авт. свидет а-23 с 17 00 07/22-1) явлено ЗО.Х.1970 ( 14 с присоединением заявк Гасударственный камит Совета Министрав ССС па делам изааретеннй и аткрытийриоритет -ДК 621,793.06(088.8 бликовано 11.И 1,1973, Бюллетень .А 30 19,Х 1,1973 ата опубликован иса авторыизобретен Н. С, Розин, Б, Н. Брагин, В, К, Переверзев, В. А, Штыканов и Т. М, Караджа Васин Заявител СТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОЛУПРОВОДЯ 1 ЦЕГО СЛОНА ОСНОВЕ ДВУОКИСИ ОЛОВА АЭРОЗОЛЪНЪМ МЕТОДОНА ВНУТРЕННИЕ ПОВЕРХНОСТИ КАНАЛОВ Изобретение относится к технологии изготовления электронных приборов, имеющих электропроводящие полупроводниковые слои на основе двуокиси олова, нанесенные на внутренние поверхности цилиндров или каналов.Известно устройство для нанесения полупроводящего слоя на основе двуокиси олова аэрозольным методом на внутренние поверхности каналов, содержащее испаритель с раствором четыреххлористого олова и легируюшими добавками, соединенный посредством газопровода с герметизированной рабочей камерой, расположенной в жаровом пространстве нагревательной печи.Предложенное устройство отличается от известного тем, что внутри рабочей камеры укреплены поджимаемые шайбой уплотпяющие прокладки, между которыми установлены обрабатываемые каналы, причем в уплотняюших прокладках выполнены отверстия, совпадающие по форме с торцовой поверхностью каналов. Это позволяет сокращать расход рабочей смеси и эффективно защищать боковую поверхность каналов от воздействия этой смеси. На чертеже показано описываемое устройсто.Устройство состоит из испарителя 1 с расвором четыреххлористого олова и легирующими добавками, соединенного посредством газопровода 2 с герметизированной рабочей камерой 3, расположенной в жаровом пространстве нагревательной печи 4, Внутри рабочей камеры 3 укреплены поджимаемые шай бой 5 уплотняющие прокладки 6, между которыми установлены обрабатываемые каналы 7.В уплотняющих прокладках б выполнены отверстия, совпадающие по форме с торцовой поверхностью каналов 7.10 Испаритель представляет собой баллон, имеющий патрубок 8 для подачи в испарител воздуха или кислорода. Испаритель оборудован также подогревателем 9 для подогрева раствора. Рабочая камера 3 снабжена двумя 15 патрубками, Патрубок 10 соединяется газопроводом 2 с испарителем, а патрубок 11 с устройством для создания разрежения.Рабочую камеру с установленными в нейканалами 7 вводят в жаровое пространство 20 нагревательной печи 4 и прогревают до температуры 450 - 550 С. Раствор хлорного олова разогревают в испарителе 1 до температуры 85 С при помощи подогревателя 9. Устройство для получения разрежения, например водо струйный насос, подключенный к натрубку 1(рабочей камеры, создает разрежение в рабочей камере, газопроводе, соединяющем рабочий объем с испарнтелем, и в самом испарителе, куда одновременно подается также отфиль трованный воздух или кислород.390203 3 Смирнов СоставительН. Корченкокторы: Н. Сте Техред Е. Борисоваах и Н. Учакина едак Типография пр Сапун Рабочая смесь, образующаяся в испарителе. засасывается в рабочий объем за счет разрежения, создаваемого водоструйпым насосом. Поток паров рабочей смеси полностью проходит сквозь каналы, равномерно омывая их 5 внутренние поверхности, При этом на внутрен. них поверхностях каналов и их торцах происходит гидролиз солей хлорного олова с образованием полупроводящего слоя. Точные значения температуры разогрева рабочего объема, 10 величины разрежения и количества подаваемого воздуха или кислорода устанавливаются в зависимости от материала каналов (стекло, керамика, кварц и т. п.) и требуемого сопротивления полупроводящего слоя. 15Так как для работы предлагаемого устройства не требуется получения высокого вакуума, требования к материалам для уплотняющих прокладок не являются жесткими. Прокладки могут быть изготовлены из любого до статочно мягкого материала, выдерживающего рабочие температуры, при которых идет гяыБЫ 112 РББм процесс образования полупроводящего слоя,напри.лер из асбеста, стеклоткани и т. д. Предмет изобретенияУстройство для нанесения полупроводящего слоя на основе двуокиси олова аэрозольным методом на внутренние поверхности каналов, содержащее испаритель с раствором четырех- хлористого олова и легирующими добавками, соединенный посредством газопровода с герметизированной рабочей камерой, расположенной в жаровом пространстве нагревательной печи, отличающееся тем, что, с целью сокращения расхода рабочей смеси и эффективной защиты боковой поверхности каналов от воздействия этой смеси, внутри рабочей камерыкреплены поджимаемые шайбой уплотняюцие прокладки, между которыми установлены обрабатываемые каналы, причем в уплотняющих прокладках выполнены отверстия, совпадающие по форме с торцовой поверхностью каналов. аказ 3018/5 Изд.1747 Тираж 826 Подписно ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5