Аппарат для осаждения материалов из газовойфазы
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Ф ОПИСАН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ Совв Советокий Социалиотичвокил РеоаублиаК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельствал, 12 д, 17/32 Заявлено 25.1.1968 ( 1227849с присоединением заявки1 ПК ВО ПриоритетОпубликовано 11.71.1969. Бюллетень20Дата опубликования описания 11.Х 1.1969 Комитет оо делвев вобретеиий и открцтиЯ ори Совете Министров СССР, В. Басалаев, В. С, Малороссиянов, В. И. Остапенкои Е. И. Антонов Бар штак Заявител ППАРАТ ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ ИЗ ГАЗОВОИ ФАЗЫ2 Предмет изобретения В известных аппаратах для получения полупроводниковых материалов осаждением из газовой фазы горизонтально расположенные стержневые основы, на которые производится осаждение, крепятся каждая в двух токовводах, проходящих через стенки камеры, в связи с чем число токовводов вдвое превышает число основ. Жесткое крепление концов стержней приводит к их деформации.Отличием описываемого аппарата является 10 то, что стержни расположены в одной горизонтальной плоскости, соединены между собой последовательно при помощи элементов из электропроводного материала и установлены свободно на электроизолированных опо рах, в качестве которых могут служить токо- вводы.Это дает возможность уменьшить число токовводов на группу стержней, расположенных в одной горизонтальной плоскости, и исклю чить их деформацию в процессе осаждения.На чертеже изображен описываемый аппарат,Стержневые основы 1, на которые производится осаждение, помещены горизонтально в 25 полости герметичной камеры 2. На каждую группу стержней, расположенных в одной горизонтальной плоскости, приходится по два токоввода 3, введенных в полость камеры на всю ее длину. Стержневые основы установле- З 0 ны свободно, концы их опираются на токовво. ды, снабженные в этой части электроизоляцией. Стержни в каждой группе соединены последовательно при помощи перемычек 4 из электропроводного материала, Ток подводится к группе стержней через контакты 5.Лппарат может быть применен для получения стержней полупроводникового кремния водородным восстановлением его хлоридов. После установки и соединения основ камеру уплотняют, продувают инертным газом, затем водородом, разогревают основы и осуществляют подачу паро-газовой смеси,1. Лппарат для осаждения материалов из газовой фазы на нагретых стержневых основах, включающий герметичную камеру с введенными в ее полость электродами и горизонтально расположенными в полости камеры стержнями из одноименного с. осаждаемым материала, соединенными с токовводами, отличаои 1 ийся тем, что, с целью уменьшения числа токовводов и исключения деформации стержней, стержни расположены в одной горизонтальной плоскости, соединены между собой последовательно при помощи элементов из электропроводного материала и установле245731 на электроиаолпрованных опо 1 ппография, пр. Сапунова, 2 ны свободнорах,4 2, Аппарат по и. 1, отличаощийся тсм, что опорами служат токовводы.плача парплоЮю смеси Составитель Т. Г. Фирсова Рсдактор И. Д, Корченко Текред А, А. Камышникова Корректор Г. И. ТарасоваЗаказ 2762113 Тирак 480 Подво своеЦ 1.ИИПИ Комитета по делам изобретен,п 1 и открытий пуп Совете Министров СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4
СмотретьЗаявка
1227849
К. В. Басалаев, В. С. Малоросси нов, В. И. Остапенко, Е. М. Барштак, Е. И. Антонов
МПК / Метки
МПК: C01B 33/035, C23C 16/54
Метки: аппарат, газовойфазы, осаждения
Опубликовано: 01.01.1969
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-245731-apparat-dlya-osazhdeniya-materialov-iz-gazovojjfazy.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Аппарат для осаждения материалов из газовойфазы</a>
Прибор для определения скорости течения воды в открытых бассейнах и для записи отклонений течения в горизонтальной и вертикальной плоскостях
Номер патента: 8436
Опубликовано: 30.03.1929
Автор: Воскресенский
МПК: G01P 5/00
Метки: бассейнах, вертикальной, воды, горизонтальной, записи, отклонений, открытых, плоскостях, прибор, скорости, течения
...кольцам и роликам 42 - ток для отметки отклонения руля в горизонтальном направлении и по роликам 43 - ток для, отметки отклонений руля в вертикальном направлении, Контакт 44 регистрирует полные обороты часовой стрелки. На ленте регистрирующего аппарата, находящегося на поверхности (на понтоне, на берегу в будке. и т. и.) - получается ряд точек или черточек, промежутки между которыми дают углы поворота в линейных мерах, а число скоростных контактов показывает число оборотов скоростей, Точность отсчетов может быть любая, в зависимости от длины ленты регистратора,Прибор, изображенный на фиг10 - 13, требует для установки только троса с поплавком (надводным или подводным), прикрепляемым. к верхнему кольцу и троса сдонным грузом,...
Вакуумная система машины литья под давлением с горизонтальной камерой прессования
Номер патента: 438496
Опубликовано: 05.08.1974
Авторы: Гребешков, Ильин, Котов, Куклин, Левит, Рябинкин, Сироткин
МПК: B22D 17/30
Метки: вакуумная, горизонтальной, давлением, камерой, литья, прессования
...смыканиепресс-формы и на включение гидроцилиндрапрессования 25После того, как наконечник плунжера 26пройдет заливочное отверстие, управляемыйклапан 15 отключает электропечь 1 от вакуумного трубопровода 21 и сообщает газовую полость герметизированного тигля с атмосферой,в результате чего уровень металла в металлопроводе 3 понижается до уровня в электропечи 1 за счет поступления воздуха между плунжером 26 и отверстием в стакане 11,Включают управляемый клапан 14 и разгерметизируют кожух 7 в требуемый моментлибо по сигналу от путевого выключателя призапрессовке металла в форму, либо по сигналуот реле времени, связанного с включениемпрессования. Вакуумная система машины литья под давлением с горизонтальной камерой прессования,...
Прессующий поршень для машины литья под давлением с горизонтальной камерой прессования
Номер патента: 452421
Опубликовано: 05.12.1974
МПК: B22D 17/20
Метки: горизонтальной, давлением, камерой, литья, поршень, прессования, прессующий
...в процессе прес 1сования наблюдается подъем металла в камере со стороны гладкой поверхности прес- сующего поршня, Этот подъем под общим уровнем металла в виде "козырька" перекрывает питатель до начала заполнения формы жидким металлом, образуя "газовый мешок" в камереи литниковой втулке. Дальнейшее движение поршня вызывает перемешивание "газового мешка" с жидким металлом и запрессовку двухфазной смеси (металл - газ) в полость формы, что резко снижает плотность отливки.Для получения плотной отливки движение жидкого металла в камере должно быть та(21) 1913130/22-2 (51) М. Кл. В 22 с 17/заявки Ие -кнм, чтобы газ в камере прессования нь перемешивался с металлом.Эта цель достигается путем нанесениякольцевых концентрических канавок напрес 5...
Прессующий поршень для машины литья под давлением с горизонтальной камерой прессования
Номер патента: 551113
Опубликовано: 25.03.1977
МПК: B22D 17/20
Метки: горизонтальной, давлением, камерой, литья, поршень, прессования, прессующий
...прессования 2 с атмосферой.В канале 4 установлен фильтр 5, а на прессующей поверхности поршня 1 выполненыгоризонтальные канавки 6. Канавки 6 ивыступ 3 препятствуют образоваюпо греб ня волны металла и тем самым смешиванию жидкого металла с воздухом. Крометого, выступ создаетуоловиядляувеличежявремени отвода воздуха и газов через фиильтратмосферу. После заливки металла 7 в 25 камеру прессования 2 до уровня 8, до на 551113чала движетт прессушего поршня, воздухи газы могут выходить в атмосферу череззаливочное окно 9, В процессе пресованияпрессуюший поршень 1 перекрывает заливочное окно 9, После этого воздух и газы 10,оставшиеся ь верхней, свободной от металла, части камеры прессования, выходят ватмосйеру чеоез фильтр 5 и канал 4, другая...
Устройство для отделения прессостатка от центрального литника в машинах литья под давлением с горизонтальной камерой прессования
Номер патента: 698720
Опубликовано: 25.11.1979
Автор: Зелин
МПК: B22D 17/10
Метки: горизонтальной, давлением, камерой, литника, литья, машинах, отделения, прессования, прессостатка, центрального
...от центрального литника. Устройство содержит подвижную плиту 1,литниковую втулку 2, торец которой выполнен со скосом, неподвижную плиту 3 с камерой прессования 4 и прессуюшим поршнем 5, шток 6, который снабжен поводком 7, взаимодействующим с пазом 8, выполненным в камере прессования 4.1 О Устройство работает следующим образом.После запрессовки и кристаллизацииметалла раскрывают пресс-форму. Подвижная плита 1 перемещается под действием прессуюшего поршня 5 и между ней и неподвижной плитой 3 образуется зазор. При выходе из камеры прессования 4 пресс- остаток под воздействием прессуюшего поршня и благодаря наличию скосов на торцах литниковой втулки 2 и прессуюшего 20 поршня 5 перемешается вертикально вниз.При этом пресс-остаток...
Предыдущий патент: Устройство для подачи порошковой шихты
Следующий патент: Способ обработки алунита
Случайный патент: Устройство для очистки подводной части пляжа проточного водоема от наносов