Установка для нанесения покрытий из паровой (газовой) фазы

) (10 С 16/О ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ РСКО К ЕТЕЛЬСТВ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(56) Авторское свидетельство СССР .М 954512, кл. С 23 С 16/00, 1980,Применение металлоорганических соединений для получения неорганических покрытий и материалов, Под ред. РазуваеваГ.А, - М.: Наука, 1986, с, 199-200,54) УСТАНОВКА.ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ПАРОВОЙ (ГАЗОВОЙ) ФАЗЫ(57) Изобретение относится к оборудованиюдля нанесения покрытий, в частности к устройствам для получения неорганических покрытий при разложении металлоорганическихсоединений, Цель изобретения - повышение производительности. Одну иэ камер 4 устанавливают в пОзицию загрузки, при этом с помощью силового элемента 14 салазки 11 перемещают в сторону от оси вращения рамы 2. Механизм 23, взаимодействуя с упорами 25, переводит крышку 10 в горизонтальное положение. Шаговый конвейер 15 подает сменный подложкодержатель 16 с изделиями 17, механизм 23 за упоры 25 возвращает крышку 10 в первоначальное положение, а силовой элемент 14, выступающая часть штока 13 которого находится в радиусном пазе 12, перемещает салазки 11 вместе с крышкой 10 и сменным подложкодержателем 16 с изделиями 17 в рабочую камеру 4. Приводом 3 осуществляют поворот рамы 2 и устанавливают камеры 4 на технологические позиции обработки, Конструктивные особенности устройства обеспечивают автоматизацию всего процесса. 1 з,п, ф-лы, 3 ил.30 35 40 45 50 55 Изобретение относится к вакуумной технологии получения неорганических покрытий при разложении металлоорганических соединений (МОС) и может найти применение в равличнык отраслях машиностроения, в частности в инструментальной промышленности при изготовлении сверл, метчиков, фрез, разверток и др.Известно устройство, содержащее реактор с подложкодержателем, приводом вращения и нагревателем, размещенными в камере, разделенной перегородками на секции, к одной из которых подвешены патрубки подачи МОС и отвода продуктов распада.Известна также установка, имеющая термостатированную кольцевую камеру, разделенную радиальными перегородками на секции для размещения в каждой изделия,Недостатком устройства и установки является низкая производительность(до 10 изделий в смену), одной из причин которой является невозможность механизировать загрузку и выгрузку изделий.В качестве прототипа взята установка модели УПТ, предназначенная для покрытия внутренней поверхности шести труб одновременно, Она содержит шесть вакуумированных камер, размещенных на равных расстояниях одна от другой по окружности, внутри которых установлены на. греватели и питатели, сообщающиеся с дозаторами и приводимыми в движение приводами рабочего и холостого ходов Недостатком установки, несмотря на увеличение количества камер, является недостаточная производительность (18 труб в смену), Загрузка и выгрузка изделий в камеры производится вручную, при этом все шесть камер не работают,Цель изобретения - повышение производительности достигается тем, что установка снабжена приводом поворота рамы с закрепленными на ней камерами и салазками, установленными под каждой рабочей камерой, при этом салазки шарнирно соединены с крышками и установлены с возможностью взаимодействия с механизмом загрузки-выгрузки, а на каждой крышке рабочей камеры смонтированы приводы вращения подложкодержателя,На фиг, 1 показана установка, общий вид; на фиг. 2 - то же, вид в плане; на фиг, 3- разрез А-А на фиг. 1.Установка для нанесения покрытий из паровой (газовой) фазы содержит основание 1, на круговых направляющих которого смонтирована рама 2, имеющая воэможность совершать вращение от привода 3. На 5 10 15 20 25 раме 2 на равных расстояниях одна от другой по окружности закреплены рабочие камеры 4, к которым от установленного на стойке 5 коммутационного устройства 6, выполненного, например, в виде кранового распределителя и вращающегося токосъемника, подведены патрубки 7, а к нагревателям 8 - токопроводы 9: Каждая рабочая камера 4 с внешней стороны закрыта крышкой 10, шарнирно соединенной с салазками 11, размещенными под рабочей камерой 4. Каждые салазки 11 снабжены пазом 12, выполненным по радиусу, с которым в зоне загрузки и разгрузки взаимодействует выступающая часть штока 13 силового элемента 14, находящегося между камерой 4 и шаговым конвейером 15,Сменный подложкодержатель 16 с изделиями 17 закреплен на оправке 18 привода 19, смонтированного на крышке 10 и содержащего зубчатый редуктор 20, муфту 21 и электродвигатель 22, В зоне загрузки и разгрузки смонтирован механизм 23, с помощью которого после окончания покрытия изделий 17 металлоорганическим соединением, поступающим в паровой (газовой) фа- . зе из испарителя 24, крышка 10 меняет свое положение на упорах 25,Установка работает следующим образом.Одну из камер 4 устанавливают в позицию загрузки, при этом с помощью силового элемента 14 салазки 11 перемещают в сторону от оси вращения рамы 2. Механизм 23, взаимодействуя с упорами 25, переводит крышку 10 в горизонтальное положение. шаговый конвейер 15 переносит сменный подложкодержатель 16 с изделиями 17 и устанавливает его в оправку 18 привода 19. Механизм 23 за упоры 25 возвращает крышку 10 в первоначальное положение, а силовой элемент 14, выступающая часть штока 13 которого находится в радиусном пазе 12, перемещает салазки 11 вместе с крышкой 10, приводом 19 и сменным подложкодержателем 16 с изделиями 17 в сторону рабочей камеры 4 и плотно прижимает торец крышки 10 к торцу рабочей камеры 4. В ключают вакуумный насос (не показан), который через трубопровод 7 создает в камере 4 разрежение 1 10 мм рт.ст.Механизм 23 освобождает упоры 25, а привод 3 поворачивает раму 2 относительно основания 1, устанавливая вторую камеру 4 в позицию загрузки, Одновременно с этим в первой (загруженной изделиями 17) рабочей камере 4 включают нагреватель 3, тепловое излучение которого разогревает изделия 17 до 400-500 С, Вторую рабочую камеру 4 загружают изделиями 17 с по1723193 мощью загрузочных механизмов, выполняя приемы, описанные выше при загрузке первой рабочей камеры 4, После загрузки при.вод 3 снова осуществляет поворот рамы 2 вместе с рабочими камерами 4,. устанавливая третью по счету камеру в позицию загрузки. В это время в первой загруженной камере 4 на нагретые изделия 17 из испарителя 24 подают. МОС в паровой фазе, в результате чего на поверхность изделий наносится износостойкое покрытие. При этом включают двигатель 22. Через муфту 21, зубчатый кондуктор 20 и оправку 18 вращение совершает подложкодержатель 16, создавая условия для более равномерного покрытия каждого изделия 17, находящегося в нем. Во второй загруженной рабочей камере 4 с помощью вакуум-насоса создают разрежение и разогревают находящиеся в ней иэделия 17,После очередного поворота рамы 2 следующая рабочая камера 4 встает в позицию загрузки, а в первой камере 4 заканчивают покрытие; коммутационное устройство 6 перекрывает патрубки подачи МОС в испаритель 24, отключает подачу электроэнергии через токоподводы 9 к нагревателю 8. Изделия 17 начинают остывать. Загрузка последующих рабочих камер 4 повторяется неоднократно, Наконец камера 4, с которой установка начинала работу, при очередном повороте рамы. 2 оказывается в позиции разгрузки. В камеру нагнетают инертный гаэ. например аргон. Давление внутри камеры выравнивают с давлением окружающей среды. Силовой элемент 14, смонтированный в позицию разгрузки, перемещает салазки 11 вместе с крышкой 10 и 6. покрытыми иэделиями 17 от рабочей каме ры 4. В конце хода механизм 23 переводиткрышку 10 в горизонтальное положение.Шаговый конвейер 15 снимает подложкодержатель 16 с оправки 18, направляя изделия 17 для проведения последующих 20 технологических операций вне установки.Рама 2 при очередном повороте устанавливает только что разгруженную камеру 4 в позицию загрузки. Круг замкнулся.Таким образом, если первая камера со вершает полный оборот (рабочий цикл нансения покрытия на иэделия) за 55 мин, то вторая и последующие камеры будут разгружаться через каждые 15 мин, и тогда производительность данной установки по 30 сравнению с известными повысится в 5-7раз.формула изобретения 1, Установка для нанесения покрытий иэпаровой (газовой) фазы, содержащая термо статированные рабочие камеры с крышкамии подложкодержателями, установленные на раме, механизм загрузки-выгрузки подложкодержателей, патрубки подачи металлоорганических соединений и Откачки продуктов 40 реакции через коммутационные узлы, о т л ич а ю ща я с я тем, что, с целью повышения производительности, она снабжена приводом поворота рамы и салазками, установленными под каждой рабочей камерой; при этом 45 салазки шарнирно соединены с крышками иустановлены с возможностью взаимодействия с механизмом загрузки-выгрузки.2. Установка по и. 1, о т л и ч а ю щ а я с ятем, что подложкодержатель выполнен с при. водам вращения, смонтированным на крышке рабочей камеры,1123193Составитель В.Забелинедактор А.Маковская Техред М.Моргентал Корректор А.Осауленко Заказ 1046 Тираж . Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5изводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 10