Устройство для защиты смотровых окон вакуумных ка. мер от запыления

Номер патента: 420707

Автор: Тютюннаков

ZIP архив

Текст

(51) М. Кл, С 23 с 13 08 Гооударстввииый комитет Совета Мииивтрав СССР во делам изобрвтвиий и открытий.52(088,8) я описания 2.08.74 ата опубликова ЕСЕСО ОЗИМИ Гттл .ъь 1 1 1;0- фч. И. Тютюнников 4) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАЩИТЫ СМОТРОВЫХ ОКОН ВАКУУМНо 1 Х КАМЕР ОТ ЗАПЫЛЕНИЯ редмет изобретени овых окон васодержащее ус со смотродачи газа, о тИзобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано для наблюдения за процессами при нанесении покрытий из парогазовых сред.Известно устройство для защиты смотровых окон вакуумных камер от запыления, содержащее встроенный в стенку камеры тубус со смотровым стеклом и штуцером для подачи газа.При насыщении покрытий,из парогазовых сред применение обдува смотрового стекла несколько уменьшает, но не устраняет конденсацию на стекле и стенках корпуса. В результате этого измерение температуры подложки через смотровое окно оптическими методами, например, с помощью пирометра, невозможно при пуске в установку паров хлоридов и других агрессивных легколетучих соединений.Цель изобретения - исключить конденсацию продуктов испарения на смотровом стекле в процессе получения покрытий из парогазовой фазы.Это достигается тем, что устройство снабжено прозрачным диском, установленным в тубусе с помощью пористых прокладок.На чертеже представлена конструкция предлагаемого устройства.Устройство состоит из встроенного в стенку камеры 1 тубуса 2 со смотровым стеклом 3 и штуцером 4 для подачи газа, прозрачного диска 5, установлешого в тубусе 2 с помощьюпористых прокладок 6. Стекло 3 укрепленов тубусе с помощью прокладок 7 и фланца 8.Торец тубуса 2 со стороны реакционной ка 5 меры 1 выполнен так, что образует посадочное место для тугоплавкого,прозрачного диска 5. Диск 5 расположен между пористымипрокладками 6 и закреплен с помощью прижимной втулки 9 и гайки 10.10 Прокладки 7 выполнены из вакуумной резины, фторопласта, прокладки б - из графита,например, марки ГЭ с пористостью до 30%,пористых керамики и металла.Устройство работает следующим образом.15 Перед началом процесса в зазор междустеклом 3 и диском 5 вводят газ, например,аргон, при давлении, избыточном по отношению к давлению газов в реакционной камере.Газ через отверстие в прижимной втулке 9 по 20 ступает к пористым прокладкам 6 и, далее, через поры в прокладках б и между поверхностями диска 5 и прокладок 6 в камеру 1, омывая диск 5 и оттесняя от него парогазовуюсмесь,25 Устройство для защиты смотркуумных камер от запыления, встроенный в стенку камеры туб 30 вым стеклом и штуцером для по420707 Составитель Л. Анисимова Техред Е. Борисова Корректор Л. Чуркина Редактор О, Степина Заказ 24756 Изд.633 Тираж 944 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, УК.35, Раушская наб., д, 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью исключения конденсации продуктов испарения на смотровом стекле в процессе получения покрытий из парогазовой фазы, оно снабжено прозрачным диском, установленным в тубусе с помощью пористых прокладок.

Смотреть

Заявка

1799690, 22.06.1972

А. И. Тютюннаков

МПК / Метки

МПК: C23C 14/52

Метки: вакуумных, запыления, защиты, ка, мер, окон, смотровых

Опубликовано: 25.03.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-420707-ustrojjstvo-dlya-zashhity-smotrovykh-okon-vakuumnykh-ka-mer-ot-zapyleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для защиты смотровых окон вакуумных ка. мер от запыления</a>

Похожие патенты