Тютюннаков

Устройство для защиты смотровых окон вакуумных ка. мер от запыления

Загрузка...

Номер патента: 420707

Опубликовано: 25.03.1974

Автор: Тютюннаков

МПК: C23C 14/52

Метки: вакуумных, запыления, защиты, ка, мер, окон, смотровых

...фазы.Это достигается тем, что устройство снабжено прозрачным диском, установленным в тубусе с помощью пористых прокладок.На чертеже представлена конструкция предлагаемого устройства.Устройство состоит из встроенного в стенку камеры 1 тубуса 2 со смотровым стеклом 3 и штуцером 4 для подачи газа, прозрачного диска 5, установлешого в тубусе 2 с помощьюпористых прокладок 6. Стекло 3 укрепленов тубусе с помощью прокладок 7 и фланца 8.Торец тубуса 2 со стороны реакционной ка 5 меры 1 выполнен так, что образует посадочное место для тугоплавкого,прозрачного диска 5. Диск 5 расположен между пористымипрокладками 6 и закреплен с помощью прижимной втулки 9 и гайки 10.10 Прокладки 7 выполнены из вакуумной резины, фторопласта, прокладки б -...