Устройство для защиты стекол вакуумной установки

Номер патента: 390201

ZIP архив

Текст

патоню,бкбпиот,- ОПИСАНИ ИЗОБРЕТЕН И оюз Советских циалистицескихРеспублик АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ависимое от авт. свидетельст а -Заявлено 26 Л 7,1971 ( 16509 М. Кл. С 23 с 13/О/22-1) с присоединен Приоритет - Опубликовано Дата опублик ем заявкиГосударственный комитетСовета Министров СССРпа делам изобретениЯи открытий УД К 621.793,14.002.52етень3 Х 11.1973. Бю ания описания З,ХП,197 Авторы зобретения К. Клименко, В. Н. Ковалев, В. Н, Лысаков и М. М, Чурсиковское ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамевысшее техническое училище им. Н. Э. Баумана аявитель УСТРОЙСТ Я ЗАЩИТЫ СТЕКОЛ ВАКУУМНОЙ УСТАНО ОТ ЗАГРЯЗНЕНИЯ ром 5 для пода верстием экра слонка 6, имею сблокирован с к 5 при закрытом газа прекращае Устройство р Через штуцер ный газ, напри 0 через отверстие никновению пр Расход нейтрал что он не влия тановке.анесе ь при уста стекол содертакое я протельно ия почение тем, вана дачи является увели Это достигается краном смонтиро туцером для п Предметтройство для занонки от загрязс отверстием, ою увеличения сри экраном смоная штуцером дл изо бр ете ни усткол вакуумнои держащиее экеся тем, что, с бы, между стек- камера, снабинертного газа. щиты ст ения, с личающе ка служ тирована я подачи уста ран 20 цельлом жен ти отве вак экр я ш ом цеИзобретение относится к области нния покрытий в вакууме и может бытменено для защиты стекол вакуумныхновок от загрязнения.Известно устройство для защитывакуумной установки от загрязнения,жащее экран с отверстием. Однакоустройство не предотвращает попаданидукта испарения на стекло, что отрицасказывается на времени использованследи его.Целью изобретениясрока службы стекла.что между стеклом и экамера, снаоженная шинертного газа.На чертеже показано предлагаеморойство,Устройство включает экран 1 сем, размещенным перед стеклом 2ной установки 3. Между стеклом исмонтирована камера 4, снабженна чи инертного газа. Перед отна подвижно укреплена защая привод 7, причем привод лапаном подачи газа так, что заслонкой отверстии подача тся.аботает следующим образом.Б в камеру 4 натекает инертмер аргон, который, истекаяэкрана 1, препятствует проодуктов работы к стеклу 2. ьного газа выбирается таким, ет на степень вакуума в ус390201 исимоваисова Корректор Е. Мирон Изд.1749осударственного комитетапо делам изобретенийМосква, Ж, Раушская Заказ 320 ИИП бд,Типография, пр. Сапунова едактор Н, Корчен ставитель ЛТехред Е,Тираж 826 Подписи вета Министров СССР открытий

Смотреть

Заявка

1650999

МПК / Метки

МПК: C23C 14/52

Метки: вакуумной, защиты, стекол, установки

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-390201-ustrojjstvo-dlya-zashhity-stekol-vakuumnojj-ustanovki.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для защиты стекол вакуумной установки</a>

Похожие патенты