Патенты с меткой «напряжений»
Способ повышения влагоразрядных напряжений электрических изоляторов
Номер патента: 1835560
Опубликовано: 23.08.1993
Авторы: Жеребцов, Пимченко, Храмов, Шумилов
МПК: H01B 17/50
Метки: влагоразрядных, изоляторов, напряжений, повышения, электрических
...поверхности защищаемогоматериала благодаря присутствию в слоезагрязнения щелочных компонентов, являющихся катализатором для полимеризациижидкости 119-215, Кремнийорганическаяжидкость 119 - 215 не токсична, не взрывоопасна, пожароопасна.Обработка поверхности изоляции оборудования кремнийорганической жидкостью производится с помощью стандартныхопрыскивателей или распылителей, что значительно сокращает затраты ручного трудапо сравнению с гидрофобизацией с помощью паст,По сравнению с минеральными маслами кремнийорганическэя жидкость 119-215обладает более сильным гидрофобизирующим эффектом;В таблице приведены данные сравнительных испытаний по определению влагоразрядных напряжений предварительнозагрязненных цементом изоляторов типаПС 6-Б...
Устройство для контроля наличия трехфазных напряжений
Номер патента: 1836769
Опубликовано: 23.08.1993
Автор: Дружинин
МПК: H02H 3/24
Метки: наличия, напряжений, трехфазных
...индикаторов нключень 1 встречно- параллельно светоизлучающим элементам 7, 8, 9 второго цвета свечения второго 2, третьего 3 и первого 1 индикаторов соответственно. В сети с нулевым пронодом общая точка соеДинения всех светаизлучающих элементов 49 подключается к четвертому выводу 16 устройства.Устройство работает следующим образом.Светоизлучаащие элементы 4, 5 и 6 первого цвета свечения выбираются, например, желтого свечения, а работающие с ними в паре на общий снетовод светаизлучающие элементы 7, 8 и 9 второго, синего, цвета свечения. Поэтому после подключения устройства к контролируемой трехфазнай се 1 и через светаизлучаощие элементы 4-9 проходят импульсы тока, ограничиваемые элементами 10, 11, 12, и в результате смешивания в...
Устройство контроля угла между векторами напряжений в двух точках энергосистемы
Номер патента: 1836770
Опубликовано: 23.08.1993
Автор: Меклин
МПК: H02H 3/28
Метки: векторами, двух, между, напряжений, точках, угла, энергосистемы
...дмежду векторами, определяемый по формулей =У 1 -Р,не меняется, 45Изменение угла с вызывается отклонениями скоростей изменения фазовых угловнапряжений в различных частях энергосистемы,Это отражается в характере изменения 50напряжений Од, О 1 в, О 1 с, Огд, Огв, Огскоторые формируются в блоках моделирования и поступают на блоки 16 и 17.Данные блоки являются функциональными преобразователями, определяющими 55значение фазового угла по мгновенным значениям напряжений в трех фазах,В блоке 16 определяется фазовый уголр 1 по выражению: О 1 д ГЗу 1 =агст 91 в - са в блоке 17 - по выражению:= агстЕв=ОгсДанные выражения для у и щ следуют из анализа напряжений в трехфазнойсинусоидальной симметричной системе,меняющихся по законуОд= Ози р,Он=О...
Способ определения напряжений на больших базах при подземной отработке рудных тел
Номер патента: 2000433
Опубликовано: 07.09.1993
Авторы: Еременко, Кожевников, Кузнецова, Шрепп
МПК: E21C 39/00
Метки: базах, больших, напряжений, отработке, подземной, рудных, тел
...параллельно образующей выработанного пространства и по нормали к ней,Способ определения напряжений на больших базах осуществляется следующим образом.В направлении вкрест простирания рудных тел по нормали к выработанному пространству 1 (при горизонтальных реперных линиях) из выработок 2 (фиг,1) бурят соосные скважины 3 в каждую сторону (например, станком НКРМ, диаметром 105 мм и глубиной до 90 м), в которых на оп ределенной глубине от устья скважин (или выработанного пространства) закрепляют репера 4 с помощью специальных распорных замков 5; по 3-4 жестких репера, полученных свинчиванием штанг, диаметром 10-12 мм и длиной по 15 м,Расположение реперных линий в скважинах, пробуренных по нормали к выработанному пространству 1,...
Способ определения остаточных напряжений в поверхностных слоях металлических деталей
Номер патента: 1436609
Опубликовано: 30.10.1993
Автор: Меркулова
МПК: G01B 5/30
Метки: металлических, напряжений, остаточных, поверхностных, слоях
...полученной кривой для определения ос- Ы таточных напряжений по скорректирован-, ным результатам измерения деформации.На чертеже представлена временная диаграмма измерения деформации при реализации способа на стальном образце, уп рочненном микрошариками. Способ осуществляют следующим образом,Исследуемую металлическую деталь помещают в электролизную ванну с травильным раствором и погруженным в раствор катодом. К детали и катоду по соответствующим шинам подводят напряжение от исФ о р мула. и за бр ете н и яСПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОСТАТОЧНЫХ НАПРЯЖЕНИЙ В ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЯХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ДТАЛЕЙ, за ключающийся в том, что исследуемую деталь помещают в электролизную ванну с травильным раствором и катодом, к детали и катоду подводят напряжение от...
Способ определения температурных напряжений при заданной температуре
Номер патента: 2002205
Опубликовано: 30.10.1993
Автор: Янышев
МПК: G01B 17/04
Метки: заданной, напряжений, температуре, температурных
...контролируемом теле научастке о-и. под действием тепловой энергии возникают сжимающие избыточные силы Рс, которые вызывают реакцииотталкивания частиц и реактивные температурные силы растяжения Р,р. Они образуютрастягивающие Тн относительно точки микроравновесия го, на участке спада,На фиг. 3 изображена модель образования ТН сжатия на участке постоянства от годо максимальной температуры, при которойматериал сохраняет упругие свойства.Сплошными линиями условно изображено(фиг. 2 и 3) состояние при го, штрихпунктирными (фиг, 2) - ниже го, фиг., 3 выше го, т.е.после дополнительного воздействия температуры относительно гона фиг,4 изображена температурная зависимость предела текучести из однородной стабилизированной стали ЭП 921.Здесь 0-1...
Способ измерения напряжений в рентгенопрозрачных материалах
Номер патента: 2003080
Опубликовано: 15.11.1993
Авторы: Андреев, Васильков, Химич
МПК: G01N 23/20
Метки: материалах, напряжений, рентгенопрозрачных
...приводит к значитель- -;ым ошибкам для рентгенопрозрачных ма;ериалов, где глубина проникновения составляет несколько миллиметров, В частности, если напряжения сосредоточены в ;иком приповерхностном слое,.например после механической обработки, результат .:,мерений оказывается не чувствительным к попобнь 1 м напряжениям, так как в результате усреднения по большому обьему, измен-"змые напряжения будут нулевыми.1 ель изобретения - повышение. чувствительности измерения напряжений,Поставленная цель достигается применением щели, экранирующей часть дифрагированного пучка и расположенной непосредственно на поверхности образца в(Бб) Русаков А.А, Рентгенография металлов. М. Атомиздат, 1977, с. 286-299.35 ГСтри р м а изобретени СПОСОБ И В РЕНТГЕНО...
Устройство для снятия психических напряжений
Номер патента: 2003354
Опубликовано: 30.11.1993
Автор: Завьялов
МПК: A61M 21/00
Метки: напряжений, психических, снятия
...но и с другими техническими решениями в данной области тех 45 ники показывает, что реле времени,мультивибраторы, фильтры низкой частоты,генераторы шума известны. Однако при ихвведении в укаэанной связи с остальнымиэлементами схемы в заявляемое устройствадля снятия психических напряжений укэ 200335445 50 55 го- (56) Магнитофон "Весна - 202", Техническое описание, 1988,Устройство содержит блок питания 1, реле времени 2,мультивибратор 3, фильтр низкой частоты 4. генератор шума 5, звуковую систему 6 воздействия на слуховой анализатор пациента, причем первый и второй выходы блока питания 1 соединены с первым и вторым входами реле времени 2, первый и второй выходы которого соединены с первым и вторым входами мультивибратора 3, первый и...
Выпрямитель на несколько выходных напряжений для многопредельных мегомметров
Номер патента: 2004054
Опубликовано: 30.11.1993
Автор: Задеренко
МПК: H02M 7/04
Метки: выпрямитель, выходных, мегомметров, многопредельных, напряжений
...контактом 84,1 - фиксированное положение переклю 30 чателя.Разомкнуты следующие контакты;1,4.5,8,9,12,13,16;17,24,25,28,29,54,55,57,58,62,63,66,67,75,76,79,80.Замкнуты такие контакты: 7, 14,18,35 23,30,31,36,39,44,48,53,59,64,68,74,81,На фиг. 2 - схема выпрямителя во Ификсированном положении переключателя, Разомкнуты следующие контакты:4,8,9,12,13,17,18,23,24,29,30,31,36,39,44,48,40 53,54,57 58,62,63,67,68,74,75,80,81,Замкнуты контакты: 1,5,7,14,16,25,28,55,59,64,66,76,79,На фиг. 3 - схема выпрямителя вфиксированном положении переключателя.45 Разомкнуты следующие контакты:5,7,9,12,14,16,23,24,29,30,36,39,44,48,53,54,57,59, 62,64,67,68,76,79.Замкнуты контакты: 1,4,8,13,17,18,25,28,31,55,58,63,66,74,75,80,81.(19,22,40,43,69,73),...
Способ разгрузки горного массива от напряжений
Номер патента: 2004823
Опубликовано: 15.12.1993
Автор: Бакулин
МПК: E21F 5/00
Метки: горного, массива, напряжений, разгрузки
...работой группы виброисточников во времени до достижения положительного эффекта и выбирают оптимальный режим нггружения горного массива во время проведения гидроразрыва, при котором не индуцируются остаточные напряжения, и осуществляют контроль скорости нагружения.При синхронной работе группы виброисточников их амплитуду медленно поднимают от минимального до максимального уровня, определяемого уровнем напряжений в горном массиве и равном 0,5 от величины разрушающих напряжений пород, слагающих массив, с таким условием, чтобы не вызвать динамических проявлений горного давления.Осуществляя регистрацию сейсмических колебаний на значительных удалениях от виброисточника, обрабатывают полученную геоакустическую информацию, анализируют ее и по...
Способ определения остаточных напряжений в образцах с покрытиями и устройство для его осуществления
Номер патента: 1093075
Опубликовано: 30.01.1994
Автор: Меркулова
МПК: G01B 7/16
Метки: напряжений, образцах, остаточных, покрытиями
1. Способ определения остаточных напряжений в образцах с покрытиями, заключающийся в том, что образец помещают в ванну с травильным раствором, пропускают через образец электрический ток, измеряют деформации образца в процессе электрохимического стравливания слоев и по ним определяют остаточные напряжения, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения напряжений, стабилизируют ток, протекающий через образец, и контролируют время протекания тока и потенциал поверхности образца, по изменению которого судят о моменте перехода к травлению основного металла.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения остаточных напряжений, периодически пропускают через образец корректирующие импульсы...
Способ определения остаточных напряжений в образцах и устройство для его осуществления
Номер патента: 1236779
Опубликовано: 28.02.1994
Метки: напряжений, образцах, остаточных
1. Способ определения остаточных напряжений в образцах, включающий анодное травление в сернокислом электролите, определение деформации и расчет напряжений, отличающийся тем, что, с целью повышения точности путем стабилизации скорости травления, в процессе травления потенциал образца поддерживают в области значений потенциалов положительнее потенциала перепассивации металлов и отрицательнее потенциала выделения кислорода путем наложения корректирующих импульсов тока, а процесс ведут в электролите, содержащем, мас. % :Плавиковая кислота 1,2 - 4,7Серная кислота 21,4 - 21,6Азотная кислота 7,1 - 7,2Вода Остальное2. Устройство для определения остаточных напряжений в образцах, содержащее электролитическую ванну и...
Устройство для измерения отношения двух напряжений
Номер патента: 1667504
Опубликовано: 30.04.1994
Автор: Поторочин
МПК: G01R 19/10
Метки: двух, напряжений, отношения
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ОТНОШЕНИЯ ДВУХ НАПРЯЖЕНИЙ, содержащее два элемента с регулируемым коэффициентом передачи, управляющие входы которых объединены и соединены с выходом первого блока сравнения, первый вход которого является первым входом устройства, второй вход первого блока сравнения соединен с первым выводом первого элемента с регулируемым коэффициентом передачи, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения отношения и расширения диапазона входных напряжений, в него введены два усилителя, два блока вычитания, второй и третий блоки сравнения и токоограничивающий элемент, первый вывод которого соединен с вторым входом устройства и первым входом первого блока вычитания, второй вход которого соединен с шиной опорного...
Способ определения внутренних механических напряжений в тонких пленках
Номер патента: 1442012
Опубликовано: 09.08.1995
Автор: Прохоров
МПК: H01L 21/66
Метки: внутренних, механических, напряжений, пленках, тонких
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВНУТРЕННИХ МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ путем вытравливания в подложке окон и измерения геометрических размеров деформированной пленки, по которым судят о величине механических напряжений, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и упрощения процесса измерений, после травления подложку скрайбируют по лицевой стороне через выбранные для исследования структуры так, чтобы излом прошел параллельно свободно висящему краю пленки, отламывают часть пластины и вновь скрайбируют ее параллельно полученному ранее излому с шагом, обеспечивающим прохождение излома через исследуемые структуры, вновь отламывают часть структуры подложки и располагают ее под углом
Способ резки металлических конструкций генерируемыми взрывом волнами напряжений
Номер патента: 1820555
Опубликовано: 10.02.1996
Авторы: Волгин, Лашкевич, Пасечник, Скорый
МПК: B21D 26/08, B26F 3/00
Метки: взрывом, волнами, генерируемыми, конструкций, металлических, напряжений, резки
...выполнение на одной из поверхностей разрезаемой конструкции непрерывного рабочего надреза, размеконтрольным надрезом, глубина которого обозначена линией АА равномерно увеличивается до максимальной величины, равной толщине разрезаемой конструкции с 5 установленными йа ней на расстоянии 1между собой в соответствии с приведенным выше описанием контрольными зарядами ВВ, имеющими квадратное сечение заданной величины Я.10 Точка О характеризует минимальнуюглубину Ьо надреза, где начался реэ при осуществлении одновременного подрыва контрольных зарядов со стороны меньшей глубины надреза, обозначенной точкой А.15 После определения Ьо резку осуществляют (фиг.2) рабочими зарядами 2 квадратного сечения заранее заданной площади 3, выполненными...
Способ резки металлических конструкций волнами напряжений
Номер патента: 1820553
Опубликовано: 20.03.1996
Авторы: Волгин, Лашкевич, Пасечник, Скорый
МПК: B21D 26/08, B26F 3/00
Метки: волнами, конструкций, металлических, напряжений, резки
...зарядами 2квадратного сечения площадью Я того жеВВ, устанавливаемыми параллельно на расстоянии /, между собой, и на одном и томже расстоянии от предварительно нанесенной на противоположной от расположениязарядов плоскости конструкции линии надреза 3 той же конфигурации,П р и м е р. На поверхности пластины(см, фиг, 1) из материала Ст.З толщиной и =12 мм механическим способом наносилинадрез треугольного сечения с углом привершине 45 О, радиусом закругления 0,1 мми глубиной 1 мм.На противоположной от расположениянадреза стороне пластины устанавливали иподрывали в соответствии с приведеннымвыше описанием два одинаковых пирамидальных заряда аммонита 6 ЖВ плотностью р= 1050 кг/м с основаниями и = 12мм и Зп = 36 мм, в результате чего была45...
Способ определения напряжений в изделиях
Номер патента: 1830798
Опубликовано: 10.05.1996
Авторы: Большаков, Гурьева, Жуков, Куликов, Окунь
МПК: B23K 31/12
Метки: изделиях, напряжений
...балки центро- плана, в окно которой вваривали карточку самолета ИЛ, изготовленной из стали ЗОХГСН 2 А с толщиной стенки 5 мм.Первоначально насыпали гранулированный порошок из свариваемого материа 4045 50 5 10 15 20 253035 ла, толщиной 1,0 мм на балку, который свободен от напряжений, и производили облучение рентгеновским излучением РУП-З, получив первую дифракционную картину 2 облучения.Затем производили облучение рентгеновским излучением на аппарате РИН исследуемого участка 1 сварного соединения со швом 4 балки центроплана и получили вторую дифракционную картину 3 облучения. Измерения. напряжения проводили после мехобработки, сварки, правки, отжига, закалки и окончательной правки. После всех операций, кроме сварочной, были...
Повторитель напряжений
Номер патента: 1799220
Опубликовано: 20.07.1996
Автор: Медведев
МПК: H03F 3/50
Метки: напряжений, повторитель
...ГЭС.Устройство работает следующим образом, Периодический сигнал поступает на вход повторителя напряжения и повторяется на его выходе. Амплитуда сигнала на выходе определяется напряжением на стоке полевого транзистора повторителя и сопротивлением Повторитель напряжения, содержащий первый и второй полевые транзисторы, затвор первого полевого транзистора является входом повторителя напряжения, исток является выходом повторителя напряжения и соединен с первым выводом первого резистора, сток соединен с первым выводом второго резистора и через третий резистор - с соответствующей шиной питания, а также конденсатор, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности амплитуды выходного сигнала периодических импульсов,799220 4 его...
Голографическое устройство для определения внутренних остаточных напряжений
Номер патента: 1711544
Опубликовано: 20.08.1996
Авторы: Андрущенко, Антонов, Козинцев, Лобанов, Пивторак, Черкашин, Чернышев
МПК: G01B 5/30
Метки: внутренних, голографическое, напряжений, остаточных
Голографическое устройство для определения внутренних остаточных напряжений, содержащее источник когорентного излучения, полый корпус с отверстием для ввода излучения, узел для позиционирования корпуса с тремя шаровидными опорами, голографический интерферометр с оптической схемой записи голограмм во встречных пучках, установленный в корпусе, и блок создания напряженно-деформированного состояния, отличающееся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей, оно снабжено основанием в виде плиты с центральным отверстием, на одной из поверхностей которой выполнено три углубления для фиксации шаровидных опор корпуса и стержневых опор, предназначенных для установки основания на поверхности объекта и размещенных в плите с возможностью...
Контрактометр для определения внутренних напряжений в покрытиях
Номер патента: 1746781
Опубликовано: 10.01.1997
Авторы: Козлов, Люблинский, Пирогов, Самсонова, Шевчук, Явно
МПК: G01B 5/30
Метки: внутренних, контрактометр, напряжений, покрытиях
Контрактометр для определения внутренних напряжений в покрытиях, содержащий основание, рабочий элемент, установленный на основании держатель, связанный с одним концом рабочего элемента, предназначенного для нанесения покрытия, и регистрирующий элемент, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, он снабжен вторым держателем, связанным с другим концом рабочего элемента, второй держатель связан с регистрирующим элементом, а рабочий элемент выполнен в виде ленточной спирали.
Устройство для измерения пробивных напряжений приборов
Номер патента: 795186
Опубликовано: 20.01.1997
МПК: G01R 31/25
Метки: напряжений, приборов, пробивных
Устройство для измерения пробивных напряжений приборов, содержащее подключенную к источнику питания через контакты кнопки управления накопительную RC-цепочку, соединенные с испытуемым прибором через диод запоминающий конденсатор и вольтметр, причем запоминающий конденсатор через нормально замкнутые контакты кнопки управления зашунтированы разрядным резистором, отличающееся тем, что, с целью уменьшения потребляемой мощности при измерении и повышении удобства в эксплуатации, накопительная RC-цепочка подключена через вторую пару нормально замкнутых контактов кнопки управления к источнику питания, а также через пару нормально разомкнутых контактов кнопки управления к испытуемому прибору.
Способ контроля остаточных напряжений в немагнитных металлических изделиях
Номер патента: 1619878
Опубликовано: 10.05.1997
Авторы: Макаров, Погодин, Румянцев, Учанин
МПК: G01N 27/00
Метки: изделиях, металлических, напряжений, немагнитных, остаточных
...реализуется следующим образом. Предварительно в соответствии с известными соотношениями электродинамики выбирают низшую частоту н, обеспечивающую проникновение вихревых токов на глубину, в 2 - 3 раза превышающую дп поверхностно обработанного слоя, и высшую 1. Способ контроля остаточных напряжений в немагнитных металлических изделиях, заключающийся в том, что возбуждают в контролируемом изделии вихревые токи при двух различных распределениях их плотности в зоне контроля, определяют реакцию вихревых токов при каждом распределении их плотности, формируют напряжения, функционально связанные с полученными реакциями вихревых токов, и по отношению этих напряжений судят об остаточных напряжениях, отличающийся тем, что, с целью повышения...
Устройство контроля остаточных напряжений в поверхностно упрочненных слоях металла
Номер патента: 1450592
Опубликовано: 10.05.1997
Авторы: Макаров, Погодин, Румянцев
МПК: G01N 27/90
Метки: металла, напряжений, остаточных, поверхностно, слоях, упрочненных
Устройство контроля остаточных напряжений в поверхностно-упрочненных слоях металла, содержащее генератор гармонического тока, вихретоковый преобразователь, анализатор и индикатор, соединенный с выходом анализатора, отличающееся тем, что, с целью повышения достоверности контроля остаточных напряжений в поверхностно-упрочненных слоях немагнитных металлов, анализатор выполнен в виде генератора тактовых импульсов, трех управляемых коммутаторов, двух блоков памяти, счетнорешающего блока, выход которого является выходом анализатора, а входы соединены с каждым из блоков памяти, которые подключены входами к выходам второго и третьего коммутаторов соответственно, измерителя разности фаз, соединенного сигнальным входом с выходом вихретокового...
Высоковольтный вакуумный конденсатор емкостного делителя напряжений
Номер патента: 1333114
Опубликовано: 10.10.1999
МПК: H01G 4/02
Метки: вакуумный, высоковольтный, делителя, емкостного, конденсатор, напряжений
1. Высоковольтный вакуумный конденсатор емкостного делителя напряжений, содержащий размещенные в диэлектрической оболочке цилиндрические высокопотенциальный, низкопотенциальный, экранный и защитный электроды, отличающийся тем, что, с целью повышения долговечности и расширения диапазона рабочих частот, он снабжен полыми цилиндрическими рассеивающими электродами, промежуточными электродами в виде полых цилиндров с отбортованными внутрь краями торцов и переходными кольцами, установленными на внутренней поверхности диэлектрической оболочки между высокопотенциальным и низкопотенциальным электродами, при этом рассеивающие и промежуточные электроды закреплены на внутренней поверхности...
Регулятор углов включения вентилей преобразователей и напряжений для электропередач постоянного тока
Номер патента: 1517690
Опубликовано: 10.06.2000
Авторы: Логунова, Мордкович, Ступель
МПК: H02J 1/00
Метки: вентилей, включения, напряжений, постоянного, преобразователей, регулятор, углов, электропередач
Регулятор углов включения вентилей преобразователей и напряжений для электропередач постоянного тока, содержащий измерители рассогласования между измеренным значением и заданными уставками выпрямленного напряжения, выходы которых подключены к устройствам формирования команд в телеканал связи с второй подстанцией электропередачи постоянного тока, измерители рассогласования между измеренным значением и заданными уставками угла включения вентилей, выходы которых подключены к формирователю команд в устройство переключения ответвлений преобразовательного трансформатора, отличающийся тем, что, с целью увеличения срока службы преобразовательных трансформаторов и снижения частоты возмущений,...
Способ определения остаточных напряжений в пластически деформированных деталях
Номер патента: 1746792
Опубликовано: 10.06.2000
Авторы: Ломовской, Самохвалов
МПК: G01N 3/00
Метки: деталях, деформированных, напряжений, остаточных, пластически
Способ определения остаточных напряжений в пластически деформированных деталях, по которому на деталь воздействуют внешними усилиями, изменяющими напряжения по сечению детали и измеряют на отдельных участках твердость Hв, по изменению которой и величине внешних усилий судят об остаточных напряжениях, отличающийся тем, что, с целью расширения информативности за счет определения остаточных напряжений в замкнутых цилиндрических деталях, предварительно определяют твердость Hи в материале детали без остаточных напряжений, в качестве внешних усилий используют внутреннее давление, твердость Hв замеряют на различных расстояниях от деформированного контактного слоя,...
Способ приготовления образцов для контроля величины локальных механических напряжений на границе раздела si sio2
Номер патента: 1662298
Опубликовано: 20.03.2012
Авторы: Зеленин, Сенько, Снитовский
МПК: H01L 21/66
Метки: величины, границе, локальных, механических, напряжений, образцов, приготовления, раздела
Способ приготовления образцов для контроля величины локальных механических напряжений на границе раздела Si - SiO 2, заключающийся в том, что пленку оксида кремния отделяют от подложки путем травления кремния в смеси водорода и хлористого водорода через сформированные методом фотолитографии окна в оксиде кремния, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности за счет повышения скорости травления, травление осуществляют при температуре 950-1220°С при концентрации хлористого водорода 0,5-10 об.%.