Патенты с меткой «электронно-зондового»

Номер патента: 397827

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Верцнер, Крупчаткин, Петрова, Розов, Соловьев, Топорков, Уваров

МПК: G01N 23/223

Метки: камера, микроанализатора, образцов, электронно-зондового

...снизу заканчивается частшо корпуса камеры образцов, к нижнему скосу которой на вакуумном уплотнении полсослинена вторая часть корпуса 20 1 со столиком образцов.Образец 2 располагают в держателе 3 наподвижной каретке 4, установленной на верхней площадке 5 механизма столика образцов.Каретка 4 подтянута пружиной 6 к упору 7.25 Столик образцов выполнен на упругих безлюфтовых параллелограммных механизмах, позволяющих точно перемещать образец по трем координатам х, у, г. Верхняя площадка 5 закреплена на упругих в направлении х 30 плоских пружинах 8, соединенных с площад3кой 9, которая жестко связана с подвижной в направлении у площадкой 10.Площадка 5 подтянута пружиной 11 через шарнирный упор к отсчетной,рукоятке 12.Площадка 10 закреплена...

Номер патента: 974456

Опубликовано: 15.11.1982

Авторы: Макаров, Морозов, Панов, Руднев

МПК: H01J 37/20

Метки: анализатора, камера, объектов, электронно-зондового

...каретки 3 вдоль оптической оси 00состоящей иэ валика 8, проходящего в вакуумируемый корпус через уплотнение 9, закрепленного на валике 8 кривоши- па 10 с телескопически выдвигающимся упором 11, с роликом 12 и пружи ной 13. Поворот кривошипа ограничивают упоры 14.Шлицевые валы являются одновреМенно направляющими для каретки 3, которая имеет упоры 15 и фиксато ры 16.Передача движения от вала 6 к вилке 4 обеспечивается зубчатыми колесами 17 и 18, а передача движения от вала 7 столику 5 для объекта обес печивается зубчатыми колесами 19-23 и зубчатой рейкой 24.Камера. работает следующим образом.Весь диапазон перемещения вдоль . оптической оси (координата л) обеспечивается поворотом валика 8 на угол, немного больший половины...

Номер патента: 1100525

Опубликовано: 30.06.1984

Авторы: Гимельфарб, Гончаров, Сиденко, Соловьев, Фатюшин

МПК: G01N 1/28, G01N 1/32, G01N 1/44 ...

Метки: веществ, микроанализа, нелюминесцирующих, образца, подготовки, электронно-зондового

...и обезжиривали четыреххлористым углеродомЗатем путем вакуумного напыления в установке типа ЛЕЕ-УВ фирмы ЗЕОЬ-Япония на поверхность образца наносили слой металлического иттрия толщиной 1 мкм и подвергали образец с нанесенным на него слоем вакуумО ному диффузионному отжигу при 850 С в течение двух часов.Далее образец окисляли в атмосфеоре кислорода при 450 С в течение одного часа и охлаждали до комнатнойтемпературы. Одновременно окиспялипо такому же режиму образец сравнения (стандартный образец) - иттрийс известным содержанием (6, 1+.ф 0,6)10 4 мас,. Ж,Исследуемый и стандартный образцы помещали в колонну микроанализатора, где они облучались пучкомэлектронов 4 1 мкм, с энергией электронов 15 кэВ, ток пучка 30 нА. СпектОрометр...

Номер патента: 1191788

Опубликовано: 15.11.1985

Авторы: Алехова, Гимельфарб, Гончаров

МПК: G01N 21/64

Метки: микроанализа, нелюминесцирующих, твердых, тел, электронно-зондового

...что предлагаемый способ дает возможность проводить локальный анализ примесей в кремнии, в частности, германия при их содержании порядка 10мас / При исследовании этого образца известным способом, а именно: при окислении кремния в парах воды, не удалось определить ни распределение, ни наличие германия, так как предел обнаружения примесей в кремнии по известному способу составляет 10мас.Я, т.е. предел обнаружения примесей в кремнии по предлагаемому способу на порядок ниже, чем поизвестному,Пример 2. Исследовали образец кремния, легированный германием. Интегральное содержание германия (5,1-0,5) 10 мас.(данные спектрального анализа) определяли распределением германия точно также, как в примере 1.Обработку (окисление) в атмосфере...

Номер патента: 1502990

Опубликовано: 23.08.1989

Авторы: Гимельфарб, Городский

МПК: G01N 23/227

Метки: количественного, микроанализа, образцов, поверхностью, шероховатой, электронно-зондового

...направление проекции нормали к поверхности образца в этой точке на горизонтальную плоскость, а угол . между нормалью к поверхности в данной точке и оптической осью микроанализатора однозначно определяется отношением разности максимальной и минимальной интенсивностей1502990 где в правой части находятся известные (определенные из эксперимента) функции, х и у - координаты выбранной точки, а Е(0,0)=сопзС, произвольно. Тогда путем интегрирования в этой системе уравнений находят функцию 2(х,у), описывающую микрорельеф поверхности на исследуемом участке.П р и м е р 2. Требуется определять элементный состав поверхности излома кристалла СаАз в трех заданных точках А, В, С . Для этого образец 9 помещают в держатель 3, оснащенный описанным...

Номер патента: 1518747

Опубликовано: 30.10.1989

Авторы: Бернер, Сиделева

МПК: G01N 23/225

Метки: диаметра, микровключения, плоскости, среднего, шлифа, электронно-зондового

...накладывает принципиальное ограничение ца измерение размера микровключений по способу - прототипу.Действительно,не зная размера и формы микронключения, невозможно установить размеры области диффузии электронов. Это приводит к систематическому увеличению измеряемого по способу-прототипу размера по сравнению с истинным, Тдк как при обычных условиях анализа размеры области диффузии электронон составляют несколькомикрометров, то систематические погрешности определения размера микронкпючеция могут достигать нескольких сотен процецтон для частиц субмикронных и микронных размеров.Б предлагаемом способе размеры области диффузии также неизвестны, однако они сохраняются постояннымипри первом и втором измерении, так как измерения...