Камера образцов для электронно-зондового микроанализатора

ОП ИСАЙИ Е ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Соаетских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельства-М. Кл. 6 01 п 23/22 Заявлено 01.Х.1971 ( 1719810/26-25) с присоединением заявки-Государственный комитет Совета Мнннстров СССР ла делам изовретеннй и открытийПриоритетОпубликовано 17 ЛХ.1973, Бюллетень37 Дата опубликования описания 13.11.1974 УДК 621,386(088.8) Авторыизобретения С. П, Розов, А. М. Соловьев, В, Н, Верцнер, В, Д. Крупчаткин,В. ф. Уваров, Г, А. Петрова и С. А. ТопорковЗаявитель КАМЕРА ОБРАЗЦОВ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННО-ЗОНДОВОГО МИКРОАНАЛ ИЗАТОРА1Изобретение относится к рентгсноспектральным приборам с узким электронным пучок- электронным зондом для возбуждения в локальном участке образца характеристического рентгеновского излучения, по которому определяется химический состав в этом участке.Известны камеры образцов для электроннозондовых микроанализаторов, в которых помимо объекта помещают эталоны, играющие роль внешнего стандарта при количественных измерениях концентрации элементов в микро- объемах образца; при этом образец и эталоны помещают на одной подвижной площадке столика образцов. Для замены образца эталоном и эталона образцом площадку перемещают прецизионным механизмом столика образцов.Однако замена образца эталоном и ооратно происходит довольно медленно, так как механизм перемещения микрометрический, а линейные расстояния от образца до эталона большие. Кроме того,микрометрический механизм подвергается ускоренному износу из-за частого подведения под электронный зонд. Для установки образца в первоначальное положение после увода эталона нужно по отсчетным устройствам механизма столика выставить ранее отсчитанные координаты, что также замедляет и усложняет работу.Цель изобретения - ускорение ввода эталонов под электронный зонд на место образца и вывода их из-под зонда, автоматизация возвращения образца в первоначальное положение после увода эталона и уменьшение износа прецизионного механизма столика образцов.5 Предлагаемая камера образцов отличаетсятем, что столик образцов снабжен двумя каретками, первая из которых с образцами при вводе эталонов под электронный зонд отводится второй кареткой с эталонами, При вы воде эталонов из-под зонда образец автоматически возвращается в исходное положение. На чертеже схематически показан микроанализатор с подробным изображением лета лей механизма столика образцов.Панцырь короткофокусной линзы снизу заканчивается частшо корпуса камеры образцов, к нижнему скосу которой на вакуумном уплотнении полсослинена вторая часть корпуса 20 1 со столиком образцов.Образец 2 располагают в держателе 3 наподвижной каретке 4, установленной на верхней площадке 5 механизма столика образцов.Каретка 4 подтянута пружиной 6 к упору 7.25 Столик образцов выполнен на упругих безлюфтовых параллелограммных механизмах, позволяющих точно перемещать образец по трем координатам х, у, г. Верхняя площадка 5 закреплена на упругих в направлении х 30 плоских пружинах 8, соединенных с площад3кой 9, которая жестко связана с подвижной в направлении у площадкой 10.Площадка 5 подтянута пружиной 11 через шарнирный упор к отсчетной,рукоятке 12.Площадка 10 закреплена на упругих в направлении у плоских пружинах 13, соединенных с подвижной в направлении г стойкой 14. Площадка 10 подтянута пружиной 15 через два шарнирных упора и двуплечий рычаг к винту отсчетной рукоятки 16. Стойка 14 на упорном шарнире 17 соединена с двуплечим рычагом 18, который также соединен упругим шарниром 19 с корпусом камеры 1 и упирается на установочный винт 20. Нижний конец стойки 14 соединен упругим звеном 21 с корпусом камеры 1,Эталонны 22 располагают в держателе 23 на каретке 24, которая установлена на стойке 14 и подтянута пружиной 25 к толкателю 26 в корпусе камеры. Поверхности образца и эталонов находятся в одной плоскости.Для ввода на место образца эталона нажимают на толкатель 26 и прямолинейно перемещают каретку 24 с держателем эталонов 23, Каретка 24, подойдя к каретке 4, упором отводит ее вместе с образцом в сторону, Для установки нужного эталона толкатель 26 останавливается в положении, соответствующем положению данного этанола под электронным зондом, Названия или номера эталонов прочитываются на шкале толкателя. 5 1 О 15 го 25 зо4Для отвода эталона и установки образца в первоначальное положение относительно электронного зонда толкатель 26 перемещают в обратном направлении. При этом под действием пружин 6 и 25 начинают перемещаться в обратном направлении каретки 4 и 24. Каретка 4 с образцом автоматически останавливается в исходном положении, дойдя до упора 7. Удары ее об упор гасятся установленным на ней центробежным тормозом (на чертеже не показан).При вводе и выводе эталона прецизионный механизм перемещения образца по осям х и у находится в статическом положении.Предмет изобретенияКамера образцов для электронно-зондового микроанализатора, в корпусе которой,размещен столбик дланя образцов и эталонов с механизмами перемещения, отличающаяся тем, что, с целью повышения оперативности анализа, столик снабжен двумя каретками с подвижными частями, одна из которых предназначена для образцов, а другая - для эталоБов, причем первая каретка подтянута пружиной к упору на подвижной части, а вторая установлена на подъемной части механизма перемещения столика, подтянута пружиной к толкателю, размещенному в корпусе камеры, и снабжена упором для отвода первой каретки.Заказ 224/2 Изд.90 Тираж 755 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 45 Типография, пр. Сапунова, 2