Сиделева

Номер патента: 1518747

Опубликовано: 30.10.1989

Авторы: Бернер, Сиделева

МПК: G01N 23/225

Метки: диаметра, микровключения, плоскости, среднего, шлифа, электронно-зондового

...накладывает принципиальное ограничение ца измерение размера микровключений по способу - прототипу.Действительно,не зная размера и формы микронключения, невозможно установить размеры области диффузии электронов. Это приводит к систематическому увеличению измеряемого по способу-прототипу размера по сравнению с истинным, Тдк как при обычных условиях анализа размеры области диффузии электронон составляют несколькомикрометров, то систематические погрешности определения размера микронкпючеция могут достигать нескольких сотен процецтон для частиц субмикронных и микронных размеров.Б предлагаемом способе размеры области диффузии также неизвестны, однако они сохраняются постояннымипри первом и втором измерении, так как измерения...

Номер патента: 1130783

Опубликовано: 23.12.1984

Авторы: Бернер, Гимельфарб, Костылева, Сиделева, Тарасов

МПК: G01N 23/22

Метки: послойного, распределения, элементов

...функции распределения рентгеновского излучения по глубине(х,Е) известен только для однородных материалов,Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является способ послойного контроля распределения элементов методом рентгеноспектрального анализа, заключающийся в том, что поверхность образца, установленного .в наклонном положении, облучают пучком электронов и измеряют интенсивность генерируемого рентгеновского излучения 3 .Известный способ позволяет получить максимальный сигнал характеристического рентгеновского излучения и соответственно более точные значения концентрации элементов, находящихся в одном определенном слое, В то же время для получения данных послойного распределения элементов первый слой стравливают, т.е,...