Патенты с меткой «алюминиевого»

Номер патента: 1263140

Опубликовано: 20.12.2005

Авторы: Майстренко, Свиридов

МПК: H01L 21/28

Метки: алюминиевого, большой, контакта, площади

Способ изготовления алюминиевого контакта большой площади на кремниевой пластине, включающий подготовку поверхности пластины шлифовкой, нанесение слоя алюминия на пластину, нагрев и охлаждение пластины, отличающийся тем, что, с целью повышения качества контакта за счет улучшения адгезии алюминия к пластине, снижения переходного сопротивления и снижения разброса по толщине, кремниевую пластину шлифуют до шероховатости Ra не более 3,2·10-7 м, затем окисляют до образования слоя двуокиси кремния толщиной от 8·10-8 до 10-7м, а слой алюминия наносят контактированием расплава алюминия с кремниевой пластиной, нагретой до температуры от 923 до 1023 K, в...