Автомат сортировки и укладки кристаллов по группам

Союз Советских Социалистических РеспубликОП АСАН ИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(51) М, Кл. с присоединением зая 07 С 5/344 Государственный комитеСовета Инннотров СИРоо делам нэобретеннй(54) АВТОМАТКРИСТ СОРТИРОВКИ В ПО ГРУППА УКЛАДКИ устройствам электрическим рименение в тве на операристаппов по ерем с разлой уста- эаданн енной ии кристалла определной присоской коордиивается, кристаллом захвата от спутниосится в кассету, Пт выбраны кристаллыэводят замену прогрвыборку кристаллов д При совмешегруппы с вакууный стол останавлляется механиэьносителя и перетого, когда будуной группы, прои осуществляютгруппы,нат- тде- ке- осле 0 ммы б стр еха Изобретение относится кдля разбраковки изделий попараметрам и может найти иполупроводниковом проиэвоасциях сортировки и укпапки кгруппам.Известно устройство для разбраковкикристаллов 11, которое последовательнопроводит следующие операции: измерениеэлектрических параметров кристаллов на полупроводниковой пластине с одновременнымкодированием признака группы каждого кристелла, координат его расположения на плаотине относительно базовых точек и записьинформации на программоноситель; закрегеление полупроводниковой пластины на спутник-носитель, снабженный липкой пленкой;скрайбирование полупроводниковой пластины;ломка полупроводниковой пластины на криоталлы; сортировка кристаллов по группам и оОукладка их на липкую основу специальнойкассетыСортировку кристаллов производят нау ойстве, содержащем координатный стол,м низм захвата и переноса кристаппов 25 с вакуумной присоской, механиз щения кассеты, Спутник-носите анной полупроводнкоой пс навливают.на перемешаювтийся программе координатный стоп. Недостатком известного устройства является сравнительно низкая производительность, обусловленная поочередной выборкой определенных групп кристаллов и заменой программ. Кроме того, устройство оснашно сложно. системой для компенсации изменения размеров пага расположения кристаллов на спутнике-носителе после разпамзвания пластины,35 Таким образом, если перемещать жесткую рамку, на которой установлены спут нии-носитель с разломанной пластиной и носитель информации с шагом, равным шагу неразпоманной пластины, то вакуумная присоска не будет совмещаться с центрами кристаллов. Если же перемещать рамку с шагом, равным шагу расположения кристаллов на разпоманной пластине, то оптическая ось считывающего устройства не будет совпадать с теми участками носителя 55 60 Известны способ и устройство для раэбраковки и укладки кристаллов по группам121,Сортировку и укладку кристаллов по группам производят на автомате 31, содержащем координатный стоп, оптическое считывающее устройство, карусель с присоскамии механизмы перемещения ленточных носителей, количество которых равно количеству групп сортируемых кристаллов,1 ОСортировка кристаллов производитсяследующим образом Спутник-носитель сразломанной полупроводниковой пластинойи носитель информации закрепляют на жес 1кой технологической рамке и устанавливают на координатный стол автомата, Приперемещении стола на шаг считывающееустройство обеспечивает данные для памяти с регистром сдвига, При расположенииспутника-носителя в положении, где удаление (съем) кристалла был запрограммированкоординатный стол останавливается,и одна из вакуумных присосок захватываеткристалл, а его адрес заносится в блокпамяти, Когда блок памяти показывает,25что вакуумная присоска с кристаллом привращении карусели дошла до соответствующего ленточного носителя, кристалл укладывается в ячейку ленты-носителя соответствующей группы,;зоВ автомате предусмотрен также контроль размеров кристаппов, Ломаные и превышающие нужный размер кристаплы, таруОсновным недостатком известного автомата является необходимость обеспечениякомпенсации изменения размеров шага расположения кристаллов на спутнике-носителепосле разпамывания пластиныЭто объяоняется тем, что сортировку кристалловосуществляют в соответствии с информацией,записанной при измерении параметров криоталлов на неразломанной пластинеПосле разламывания размеры пластины 45увеличиваются, а следовательно, и увеличивается размер шага расположения кристаллов на спутнике-носителе. -программы на которых занесена записькода, определяющая группу кристалла,Для совмещения вакуумных нрисосок сцентрами кристаллов, а оптической оси считывающего устройства с участками носителя программы, на которых записан код, определяющий группу соответствующих кристаллов, в автомате снужит электронный блок,по командам от которого периодически осуществляется перемещение оптического считывающего устройства относительно носителя программы на величину, равную разности шагов. Так как сигнал на корректировку положения считывающего устройства подается периодически через несколько шаговто в промежутках между корректировкамичасто наблюдаются сбои в работе автоматавследствие ошибок при считывании программы,Кроме того, сложная электронная схемакорректирующего устройства подверженадействию помех, что также ведет к сбоямпо шагу и частым отказам в работе, Этоявляется основным недостатком известногоавтомата сортировки и укладки кристалловпо группам 13,Цель изобретения - повышение надежности автомата в работе путем точного сомещения присосок с кристаллами.Поставленная цель достигается тем, чтоавтомат снабжен механизмом коррекции перемещения спутника-носителя разломанной полупроводниковой пластины, состоящимиз двух установленных одна на другой наверхней каретке координатного стола рамок, кинематически связанных посредствомзакрепленных на верхней каретке координатного стола Г-образных рычагов с двумя копирами, один копир установлен на нижнейкаретке координатного стола, а другой -на Г-образном кронштейне. Один конецГ-образного кронштейна установлен в закрепленных на корпусе автомата направляющих, а другой - в направляющих, закрепленных на верхней каретке координатногостола, при этом верхняя рамка кинематически связана посредством одного Г-образного рычага с копиром, установленным наГ-образном кронштейне, а нижняя рамкас копиром, установленным на нижней каретьке координатного стопа На фиг. 1 схематически изображен предлагаемый автомат, общий вид; на фиг,-2координатный стол автомата, разрез; на фиг. 3 - разрез А-А фиг, 2; на фиг, 4- стоп, вид сверху; на фиг. 5 - разрез Б-Б фиг. 2.Автомат сортировки и укладки кристаллов по группам содержит карусель 1 с при560653 сосками 2, координатный стол 3, считываю 1щее устройство 4 механизм 5 контролякристаллов по внешцел 1 у виду, механизмыперемещения 6 кассет 7, микроскоп 8 и 9тару для бракованных кристаллов,Координатный стоп (фиг, 2) содержиткорпус 10, нижнюю каретку 11 с приводом, верхнюю каретку 12 с приводом, закрепленную на верхней каретке 12 жесткую рамку 13, Г-образный кронштейн 14,один конец которого установлен в направляющих 15, закрепленных на корпусе 10,в другой конец - в направляющих 16, закрепленных на жесткой рамке 13,На жесткой рамке 13 установлены однанв другой рамки 17, 18. На верхней рамке18 установлен спутник-носитель 19 с ра 5 035 50 55 60 ломанной полупроводниковой пластиной 20,.На жесткой рамке 13 установлен такженоситель 21 программы,.Для повышения надежности съема кристаллов со спутника-носителя 19 спуртмеханизм 22 подкалывания кристаллов, работающий синхронно с вакуумной приоЬокой 2. Верхняя рамка 18 кинемвтическисвязана при помощи Г-образного рычага 23с роликом 24, закрепленного на оси 25 нажесткой рамке 13, с копиром 26, установленным на Г-образном кронштейне 14,Нижняя рамка 17 кинематически связанапри помощи Г-обрвзного рычага 27 с роликом 28, закрепленного на оси 29 нажесткой рамке 13, с копиром 30, установленным нв нижней каретке 11 координатного стопа,Силовое замыкание Г-образных рычагов23, 27 с рамками 17, 18 и копирвми 26,30 осуществляется.при помощи пружин 31,32, закрепленных на жесткой рамке 13Регулировка положения копиров 26, 30 осуществляется их поворотом вокруг осей 33,34 при помощи эксцентриков,-Фиксируетсяноситель 21 на жесткой рамке 13 штифтами 35, а спутник-носитель 19 на рамке 18 штифтами 36 Автомат сортировки и укладки кристаллов по группам работает следующим обр зом. В исходное положение ца жесткую рамку 13 устанавливается носитель 21 программы, в на верхнюю рамку 18 - спут ник-носитель 19 с разломанной пластиной .20 При этом запись кода, определяющего группу кристаллов нв носителе программы, произведена с швгол 1 1, равным шагу расположения кристаллов на цераэломанной пластине, а ца спут 1 ц 1 ке-носителе крцстачлы расположены с шагом т ф 0, где 0 20 25 зо 35 40 45 приращение шага, получившееся вследствие разламывания пластины.При помощи микроскопа 8 производят совмещение присоски 2 с базовым кристаллом полупроводниковой пластины 20 путем перемещения рамок 17, 18 при помощи специальных микровинтов (на чертежах не показаны). Затем включают привод карусели 1 и приводы верхней 12 и нижней 11 кареток координатного стола 3. При этом присоска 2 захватывает один из кристаллов полупроводниковой пластины 20, перемещает его сначала на позицию контроля. геометрических размеров, который осущесэвляется при помощи механизма 5, а затем в соответствии с заданной программой укладывает его на одну из кассет 7. Бракованные кристаллы сбрасываются в тару 9.После сьемв очередного кристалла со спутникв-носителя 19 нижняя каретка 1 1 вместе с жесткой рамкой 13, на которой установлен носитель 21, перемещается по координате Х на щаг 1, равный шагу расположения кристаллов на неразломанной пластине,-,.Твк как запись кода, определяющего группу кристаллов, была сделана с таким же шагом, то оптическая ось считывающего устройства совпадает с центром того участка носителя программы, на котором записана информация о группе очередного кристалла.При перемещении нижней каретки 11 по координате Х положение корпуса 30, Г-образного рычага 27 и нижней рамки 17 относительно жесткой рамки 13 не изменяеч ся.- Не изменяется также положение Г-образного кронштейна 14 относительно корпуса 10, в под действием копирв 26 Г-обрв:- ный.рычаг 23 поворачивается вокруг оси 25 и сообшает верхней рамке 18 дополнительное перемещение относительно жесткой рамки 13, равноеТаким образом, прц перемещении нос теля 21 программы цв швг Ф по координате У происходит перемещение спутнике- носителя 19 нв швг, равный 1+8 в том же направлении, Благодаря этому достигвется совмещение оси присоски 2 с кристаллом, а оптической осц считывающего устройства - с центром того участка носителя программы, ца котором записана информация о группе этого крцствллв,Когда ряд кристаллов, расположенный по координате Х, будет полностью снят со спуч нике-носителя 19, включается привод верхней каретки 12, ц коордццатцый стол перомешается ца шм 1 по. коордцнате У, Приэтом Г-образками кроцштейц 14 переместит ся в цаправпякцц 1 х 15 относительно корпу.0 5 3 О 7са 10 также на шаг, равный 1, и положение.копира 26 и Г-образного рычага 23 относительно жесткой рамки 13 не изменяется, а под действием копира 30 1-образный рычаг поворачивается вокруг оси 29 и сообщает нижней рамке 17 и вместей с ней верхней рамке 18 дапинительное перемещение относительно жесткой рамки 13, равное Ю.Таким образом, при перемещении носителя программы на шагпо координате У происходят перемещение спутникноси- теля 19 на шаг, равный 1 + 3 в том же направленииПредложенная конструкция позволяет компенсировать изменение размеров шага расположения кристаллов на спутнике-носителе после разламывания пластины, повышает точность укладки рассортированных кристаллов в кассеты и надевйость работы автомата, Конструкция автомата сортировки и укладки кристаллов по группам проще за счет исключения приводов перемещения счйтывающего устройства и электронногоблока их управления. формула изобретения Автомат для сортировки и укладки кристал.лов по группам, содержащий корпускоординатный стол с приводными верхней и нйж ней каретками для шагового перемещения носителя программы и спутника-носителя раэломанной полупроводниковой циснны, считывающее устройство и карусель с присосками, о глин нюши йся тем,чтос целью повышения надежности автомата вработе путем точного совмещения присосокс кристаллами, он снабжен механизмом корекции перемещения спутника-носителя раз ломанной полупроводниковой пластины, состоящим из двух установленных одна на другой на верхней каретке координатного столарамок, кинематически связанных посредством закрепленных на верхней каретке координатного стола Г-образных рычагов с двумя копирами, один копир установлен на нижней каретке координатного стола, а другойна Г-образном кронштейне, один конец котсрого установлен в закрепленных на корпусеавтомата направляющих, а другой - в направляющих, закрепленных на верхней кареткекоординатного стола, при этом верхняя рамка кинематически связана посредством одного Г-образного рычага с копиром, установленным на Г-образном кронштейне, анижняя рамка - с копиром, установленнымна нижней каретке координатного стола, -Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1, Патент США М 3720309, 209-73,1970 г.2. Журнал Е Э М вып. 14 1969 И 15оборудование американской фирмы Те 1 едтТА С ", Модель 51 ь 1 е тп - 1000,3, Проспект фирмы США Тенерип ТАС815 ею -1000 автомат Р 5 -1011560653 каревич 363/125 Тираж 775 ПодписноеИПИ Государственного комитета Совета Министрпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д, 4/5 Зака в С илиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная Составитель В, Блитстейнактор В, Смнрягина Техред 3, фанта. Корректор