Годник

Номер патента: 1512397

Опубликовано: 10.11.1997

Авторы: Годник, Двуреченский, Кашников, Кучерявый, Потемкин

МПК: H01J 3/04

Метки: импульсного, отжига, пластин, полупроводниковых

Устройство для импульсного отжига полупроводниковых пластин, содержащее установленные в вакуумной камере катод с размещенными на нем искровыми источниками плазмы, сетку и анод, генератор высоковольтных импульсов и конденсаторную батарею, отличающееся тем, что, с целью повышения качества при отжиге пластин большого диаметра, оно содержит высоковольтный переключатель с системой фотоконтроля, выполненный в виде одного или нескольких неподвижных дисков с установленными на них контактами и соосных с ними подвижных дисков с выполненными в них радиальными пазами и снабженных пружинными контактами, причем число контактов неподвижного диска равно числу радиальных пазов подвижного диска, а каждый источник плазмы подключен к высоковольтному...

Номер патента: 323685

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Будкер, Годник, Дубинина, Институт, Красицка, Пономаренко, Трайнин, Чириков, Юдин, Юрченко, Яснецкий

МПК: G01L 21/32

Метки: 323685

...напряжения ца пушку. При использовании вакуумметра для измерения высокихдавлений он может быть снабжен собственной откачной системой 13, присоединенной кинжектору 4. При использовании же вакуумметра для измерения низких давлений он мо.жет быть снабжен соленоидом 14, располо.жецным между катушками 3.Ваг;уухгхгетр работает следующим образомЭлектропитание инжектора 4 осуществляется от схемы 10. При подаче отрицательного импульса напряжения сг на катод электроны, ускоренные до энергии У выходятиз инжектора под углом а к магнитной силовой линии. Электроны проходят первую маг323685 Предмет изобретения1 Составитель И. Ратенбергктор Г. Гончарова Техред Е, Борисова Корректор И. И 1 матова Заказ 586/13 Изд. М 1821 Тираж 448 ПодписноеЦНИИПИ...