Катодный узел

ОПИСАНЫЕИЗОБРЕТЕН ИяК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоеетсиикСоциапистичесииа(51) М. Кд. С 23 С 15/00 1 ввударетееилий кеиитет СССР в аллеи изобретений и открытий(72) А вторы изобретения А, П, Доствнко, В. Я. Шприцов, В, В, Шаталов и В, А. Бобков Минский радиотехнический институт(54) КАТОДНЫЙ УЗЕЛ Изобретение относится к технике нанесения тонких пленок в вакууме и может быть использовано для осаждения на поверхности твердого тела пленок сложного состава путем ионного распыления.Известна конструкция квтодного узла, оодержащего основание и мозаичную шинель Ы.Недостатком устройства является сложность конструкции из-за индивидувльнос 0 ти водо- и электроснабжения каждого элемента, благодаря чему становится невоз можным получение многокомпонентных пленок из широкого круга материалов,Цель изобретения - упрошение конст 15 рукпии.Это достигается тем что в катодном уэлэ содержашем основание и мозаичную мишень, мозаичная мишень выполнена в виде решетчатой пластины из материала одного из рвспыляемых компонентов, а водоохлаждаемое основание выполнено с пазами, служвшими дли раэмешения стержней из материала других рвспыляемых компонентов, причем отверстия решетчатой пластины размещены над пазами водоохлвждаемого основания,На фиг. 1 схематично показана, онструкпия квтодного узла, в котором основание рвэьемное; ва фиг. 2 - то же осНОВВНИЕ ВЫПОЛНЕНО НЕРВЗЬЕМНЫМ.В верхней части основания 1 высверлены вертикальные отверстия 2, у которые вставлены стержни 3 из отдельныхкомпонентов наносимой пленки. Лицеваясторона пластины 1 с помощью, например,пайки или сварки, закрыта решетчатойпластиной 4, выполненной иэ основногокомпонента, в которой имеются отверстиядля стержней 3.Изменение состава мозаичной мишениосуществляется путем варьирования количества стержней 3, замена которых осуществляется при снятой пластине 5.Катодный узел имеет основание 1 (см.фиг. 2) в котором выфрезерованы пазыпрямоугольной формы, Лицевая сторона Основания 1 с помошью, например, пайкиз 69903или сварки, закрыта решетчатой пласщной 2, выполненной из основного компонента, в которой есть отверстия 3, расположенные под пазами основания 1, нри"чем диаметр отверстий 3 меньше шириныпаза. В пазы механически вставляются,стержни 4 иэ отдельных компонентов,Минимальное содержание в пленке материала решетчатой пластины пропорйионально через коэффициент распыления площади решетчатой пластины за вычетомплощади отверстий, Для увеличения. количества материала решетчатой пластины впленке можно применять съемные стержни из того же материала,Основание выполняется иэ материалас хорошей теплопроводностью, например,из меди, и в процессе распыления мозаичной мишени интенсивно охлаждается водойодним из известных способов. Расположе"оние вставных стержней в пазах основанияобеспечивает их хорошее охлаждение приинтенсивной бомбардировке ионным потоком, что позволяет изготовить их иэ лег- ,25ко диссоциирующих веществ, например, из6 А.Катодный узел см. фиг. 1) имеет диаметр 100 мм. Верхняя 1 и нижняя 5части толщиной 5 мм каждая изготавливаются иэ меди. Решетчатая пластина 4зотолщиной 1 мм выполняется из палладия.Вставные стержни 3 диаметром 5 мм изготавливается иэ ванадия и никеля. Принапылении пленок Рд -У-М в:дазы плас 35тины 1 вставляются одновременно стерж 2 4ни из Ч и Ф которые чередуются в шахматном порядке, Катодный узел (см. фиг. 2) имеет линейные размеры 50 ф 50 мм, Основание 1 выполняется из меди, решетчатая пластина 2 из палладия. а вставные стержни 4 - из рутения и вольфрама, Катодный узел позволяет значительно сократить время переналадки обо. рудования при необходимости смены состава нацыляемой пленки. С помощью раэра ботанных катодных узлов проводится осаж-, дение методами ионно-плазменного распыления сплава РВМ, Рдйи РВУ РдйРд 7" Ф.формула изо бретенияКатодный узел, содержащий водоохлаждаемое основание и мозаичную мишень,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения конструкпии, мозаичная мишень выполнена в виде решетчатой пластины из материала одного из распыляемыхкомпонентов; а водоохлаждаемое основание выполнено с пазами, служащими дляразмещения стержней иэ материала других расйыляемых компонентов, причем отверстия решетчатой пластины размещенынад пазами водоохлаждаемого основания,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1.КитаЯо НУБЕАТ"аия Ва"ЮНуЮпагрРу апд Расклад 1972, 8, М 3,7-10.Беспало 53/27 ак СоставительРедактор Н, Разумова ТехредЛ. Ал ТирЦНИИПИ Госупо делам и3035, Москв ж 1130арственно обретений а, Ж,навал ППП фПатент, г. Уаго омн тета ткры щй шская н Корректор М. ШарощаПодписное б., д. 4/5Проектная, 4