Устройство автоматического проявления металлизированных фотошаблонов

(21) 2196236/1заявки Ме 22) Заявлено 03.12,7 с присоединениПриоритет арственный номнте ннстрав СССизобретенийкрытий Совета Мло дела) УДК 77143(088.8) Опубликовано 30.04.77, Бюллетень Ме исания 24.06.77 Дата опубликования 2) Авторы изобретени(7 витель ф 0 Д еАБсР 1 И ОГО ПРОЯВЛЕ ОШАБЛО НОВ 4) УСТРОЙСТВО АВТОМАТИЧ МЕТАЛЛ ИЗ И РОВАН НЫХ Изобретение относится к фотографическимспособам и процессам, а также к устройствамдля обработки, а именно автоматического проявления, металлизированных фотошаблонов.Известны автоматические и полуавтоматические устройства для проявления фоторезисторов и светочувствительных эмульсий, содержатцие ванну, реле времени и исполнительныймеханизм, при этом таймер используется дляподачи сигнала на исполните:Ьный механизм 111.Недостатком известных устройств являетсяотсутствие оперативного контроля за ходомпроцесса проявления, автоматической коррекции времени проявления и необходимостьконтрольного проявления для выбора времениобработки,Известны устройства для обработки фотошаблонов, содержащие проявочный бак, блокуправления с реле времени, держатель с фотопластинкой, источник постоянного тока, дваэлектрода, расположенных перпендикулярнодруг другу 121, Недостатком известных устройств является невозможность контроля заходом процесса проявл ння, а также расположение полярпзующего электрода под обрабатываемой подпои:кой приводит к образованиюнеравномерного распределения ионов проявителя в плоскости обрабатываемой годложки,что может ухудшить качество проявляемогоизображения. С целью упрощения оперативного контроляза процессом проявления металлизированныхфотошаблонов в предлагаемом устройстзе металлизнрован слой фотошаблонов соединен с5 отрицательным потенциалом источника постоянного тока в зоне, размещенной выше уровняпроявителя, и подключен ко входу усилителя,выход которого через дифференцирующее устройство и пороговый элемент соединен с нс 10 полннтсльным механизмом.На фиг. 1 представлена олок-схема устройства и узел 1; на фиг. 2 - 4 - эпюры тока инапряжения соответственно в цепях усилителя, днфференцирующего устройства и порого 15 ного элемента,Устройство состоит из ванны 1, электрода 2,источника постоянного тока 3, сопротивлениянагрузки 4, подключенного к отрицательномуполюсу источника постоянного тока 3 и к ме 20 таллизированному слою 5 фотошаблонов сподложкой 6 в зоне выше уровня проявителя7, пленки 8, усилителя 9, дпффсренцпрующегоустройства 10, порогового элемента 11, исполнительного механизма 12 с источником пита 25 ння 13.Устройство работает следующим образом.В процессе проявления происходит вымывание части пленки 8 фотошаблона, в связи счем омпческое сопротивление цепи: электродЗЭ 2, проягитель 7, металлнзированпый слой 5подложки 6 уменьшается, соответственно ток5 10 15 20 25 30 в цепи растет и имеет характеристику, показанную на фиг, 2. Окончание процесса проявления характеризуется полным вымыванием участков пленки и соответственно максимальным значением тока в цепи, что соответствует точкам Угаах тшахУменьшение значения тока в момент окончания проявления связано с перераспределением зарядов на подложке 6 (катоде) и в объеме проявителя 7.Изменение омического сопротивления в нагрузке источника постоянного тока 3 вызывает изменение тока в цепи и падение напряжения на последовательно включенном сопротивлении 4. Сигнал с сопротивления 4 усиливается предварительным усилителем 9 и поступает иа дифференцирующее устройство 10, выдающее на пороговый элемент 11 сигнал, пропорциональный скорости изменения тока в цепи, показанной на эпюре фиг, 3.Уменьшение до нулевого значения (в момент полного проявления) сигнала с дифференцирующего устройства 10 вызывает опрокидывание порогового элемента 11 (показано иа эпюре фиг. 4), нагруженного через сопротивление 4 на исполнительный механизм 12. Система блокировок исполнительного механизма 12 по окончании выполнения команды порогового элемента 11 приводиг схему в исходное состояние.Б устройстве по изобретсню улучшаются условия обработки пленки за счет приложения электрического потенциала величиной 0,1 - 5 в к проявителю и непосредственно к металлизированному слою подложки фотошаблонов, что создает направленный ионный процесс, позволяет увеличить процент выхода годных фото. шаблонов как за счет точного определения времени проявления, отказа от проявления контрольных подложек, так и за счет наличия катодной защиты пленки от воздействия отрицательных нонов проявителя (например, при проявлении пленки позитивного фотошаблона происходит катодная защита от ионов ОН-, СОО-) . Формула изобретенияУстройство автоматического проявления металлизированных фотошаблонов, содержащее ванну с электродом, связанным с отрицательным потенциалом источника постоянного тока, и исполнительный механизм, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью упрощения оперативного контроля за процессом проявления металлизированных фотошаблонов, в нем метал- лизированный слой фотошаблонов соединен с отрицательным потенциалом истоЧника постоянного тока в зоне, размещенной выше уровня проявителя, и подключен ко входу усилителя, выход которого через дифференцирующее устройство и пороговый элемент соединен с исполнительным механизмом.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1. Патент США Мо 3745368, кл. 134-95, 10.12.73.2, Патент США Мо 3733993, кл. 95-89, 11.11.73 (прототип) .5 б 6405 к оставитель Л, Теплова Редактор Т. Ларина Техред Л. Котова Коррек рло Заказ 1113/17ЦНИ одписн ипографня, пр. Сапунова,1 рв 7 ХНА Изд.416 Государственного комитет по делам изобретений 13035, Москва, )К, РаушТираж 582Совета Министров ССоткрытийкая наб д. 4/5