Микроманипулятор

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскин Социалистическин Респубпикосударстеенный комитетСовета Министров СССРпо делам изобретений(54) МИКРОМАНИПУЛЯТОР мозного элемента матически соедин винтом посредств ны и с полэуном,На фиг, 1 изображен общий вид микроманипулятора; на фиг. 2 - механизм перемещения пластинодержателя в вертикальной плоскости; на фиг, 3 - фиксатор верхнего положения (разрез по А-А).Микроманипулятор содержит пластинодержатель 1, механизм перемещения пластинодержателя в двух взаимно перпендикулярных в горизонтальной плоскости направляющих 2, механизм поворота пластины вокруг вертикальной оси 3 и механизмперемещения пластинодержателя в вертикальной плоскости 4. На чертежах изображен также шаблонодержатель 5 и фотошаблон 6.Механизм перемещения пластинодержателя в вертикальной плоскости состоит използуна 7, на котором закреплен пластинодержатель 1, выполненный в виде полусферы, Полэун представляет собой цилиндр, снабженный возвратной пружиной 8,15 61) Дополнительное к авт22) Заявлено 29.12.73 (21с присоединением заявки(45) Дата опубликования Изобретение относится к радиотехникеав частности, к устройствам для препиэионного совмещения при изготовлении полупроводниковых микросхем,Известны микроманипуляторы, содержа-щие пластинодержатель, механизм перемещения пластинодержателя в двух взаимноперпендикулярных в горизонтальной плоскости направляющих, механизм поворота пластин вокруг вертикальной оси, механизмперемещения пластинодержателя в вертикальной плоскости, снабженный направляюшими и выполненный в виде ползуна, кинематически соединенного с микрометрическим винтом, и клинообразной пластины,тормозной элемент и приводной механизм,Цель изобретения - повышение плавности изменения зазора совмещения.Это достигается тем, что механизмперемещения пластинодержатедя в вертикальной плоскости снабжен размещеннымв направляющих толкателем и двуплечимрычагом, одно плечо которого взаимодействует с приводным механизмом, адругое - с толкателем посредством тор-причем толкатель кинес микрометрическим м клинообразной пластиШток 9 пневмоцилиндра служит для перемещения ползуна 7 вверх при помощи сжатого воздуха, подаваемого через штуцер10. На штоке 9 жестко закреплен кронш-, 5тейп 11 с вмонтированным в него микрометрическим винтом 12, На нижнейплощадке кронштейна 11 в направляющихустановлена клинообразная пластина 13,поджимаемая постоянно к микрометрпче 10скому винту 12 пружиной 14, К скосуклинообразной пластины 13 поджата плоская пружина 1 5, на плоскости которойразмещен свободно установленный в направляющих толкатель 16, связанный с15кронштейном посредством пружины 17.Толкатель 16 фиксируется в верхнем положении посредством тормозного элемента 18, поджимаемого к боковой поверхности толкателя двуплечим рычагом 19, для20перемещения которого служит пневмоцилиндр 20, а штуцер 21 служит для подачисжатого воздуха в штоковую полость пневмоцилиндра 20,Зазор совмещения "Б" определяется25расстоянием между нижней плоскостьюштока 9 и верхней плоскостью толкателя16.Перед началом работы микроманипулятора полупроводниковая пластина 22 уклаЗОдывается на полусферический пластинодержатель 1, а фотошаблон 6 фиксируется нашаблонодержателе 5,Через штуцер 10 в штоковую полостьпневмоцилиндра подается сжатый воздухи. 35шток 9 перемешается вверх, сообщая движение ползуну 7, на котором закрепленпластинодержатель 1, В результате пластина 22 прижимается к фотошаблону 6.Вместе со штоком 9 перемешается такжеи кронштейн 11 с микрометрическим винтом 12, клинообразной пластиной 13 итолкателем 1.6.После того как пластина 22 прижметсяк фотошаблону 6, через штуцер 21 подается сжатый воздух в штоковую полость цилиндра 20, который перемешает двуплечийрычаг 19 вокруг его оси,Рычаг 19воздействует на тормозной элемент 18.Последний прижимается к боковой поверхности толкателя 1 6 и фиксирует тем самым его положение,фиксированным положением толкателя 16 определяется зазор совмещения фБ". Регулирование этого зазора осуществляется посредством микрометрического винта 12, который перемешает клинообразную пластину 13, а та в свою очередь черезплоскую пружину 15 перемешает толка- тель 16. При заворачивании микрометрического винта 12 зазор совмещения "Б" уменьшается,. при выворачивании - увеличи- вается.Поскольку толкатель 16 находится взафиксированном положении в момент при-,жатия пластины 22 к фотошаблону 6, топосле подачи сжатого воздуха в штоковуюполость пневмоцилиндра шток 9 опускается на величину "Б", В,это же время пружины 8 перемещают ползун 7 к штоку 9,благодаря чему между пластиной 22 и фотошаблоном 6 образуется зазор совмещения "Бф,Предмет изобретенияМикроманипулятор, преимущественно бдля устройств прецизионного совмещения при изготовлении полупроводниковых микросхем, содержащий пластинодержатель, механизм перемещения пластин одержателя в двух взаимно перпендикулярных в горизонтальной плоскости направляющих, механизм поворота пластин вокруг вертикальной оси, механизм перемещения пластино- держателя в вертикальной плоскости, снабженный направляющими и выполненный в виде попзуна, кинематически соединенного с микрометрическим винтом, и клинообразной пластины, тормозной элемент и приводной механизм, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения плавности изм енения зазора совмещения, ы еханизм перемещения пластинодержателя в вертикальной плоскости снабжен размещенным в направляющих толкателем и двуплечим рычагомодно плечо которого взаимодействует с приводным механизмом, а другое с толкателем посредством тормозного элемента, причем толкатель кинематически соединен с микрометрическим винтом посредством клинообразной пластины и с ползуном.493053 Н,Блинкова оставит ТехредЕ,Подурушина корректор Л.Брахниина еда кт О. Подиисно Гредириятис Патент, Москва, Г 59, Бережковская иаб 2 Зак л, /7 Изд РЬ Цф(Тираж 86 сЩ 1 ИИГ 1 И Государственного комитета Совета Министпо делам изобретений и открытий Москва, 113035, Раушская иаб 4