154953

/ +11 т ч а Класс Н 011; 2 К 82 вв, 21 д, 13 а, 154953 СССР р П з,Т.1.Т 1.0- Т 1-Х 111111 сО; 11 иоАиие изовФййййия К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Одгаснал группа95, Г. Е, Леви М. Л, Денен Е УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНОЙ АПОЛНЕНИЯ ИНЕРТНЫМ ГАЗОМ ЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ П ОЛ УАВТОМАТ И Ч ЕСОТКАЧКИ, СУШКИ,И ГЕРМЕТИЗАЦИИ 1 оября 1961 г, за М 750898/26-9с 1 шй и открытий при Совете Министров СССРизобретений и товарных знаков М 11 за 1963 Заявлено 1делая изобр в Ь,очитет б 1 иковано Б 1 оллете Известные полуавтоматические устройства для вакуумнои откачки, сушки, наполнения инертным газом и герметизации полупроводниковых приборов, выполненные в виде вращающейся карусели с установленными на ней блоком откачки, сварочным блоком и распределительным коллектором, малопроизводительны и сложны по конструкции.Повышение производительности и упрощение конструкции в предлагаемом полуавтоматическом устроЙстве для вакуумной Откаи, сушки, наполнения инертным газом и герметизации полупроводниковых приборов достигнуто установкой на карусели рабочих камер с размещенными в них вращающимися групповыми кассетами, а также использованием установленного на колонне коллектора, снабженного вра:цающейся кольцевой обоймой.На фиг. 1 изображено полуавтоматическое устройство для вакуумной откачки, сушки, наполнения инертным газом и герметизации полупроводниковых приборов; на фиг. 2 - рабочая камера.Полуавтоматическое устройство выполнено в виде врагцающейся карусели 1, на которой установлены блок 2 откачки, сварочньш блок 3 и распределительный коллектор 4, служащий для подачи инертного газа на рабочие позиции карусели. На карусели 1 установлены рабочие камеры 5. В камерах 5 на валу б (прерывисто вращающемся от механизма) разме 1 цены вращающиеся кассеты 7, которые служат для крепления полупроводниковых приборов 8. Штенгели полупроводниковых приборов 8, подлежащих заварке, расположены на кольцевом сварочном электроде 9, вращающемс в 1 есте с кассеой, В 1 амере 5 установлен также154953нагревательный элемент 10, предназначенный для вакуумной сушки по лупроводниковых приборов, Кроме того, в крышке 11 камеры 5 размещен пережимающий сварочный электрод 12 с хвостовиком 13, перемещающийся поступательно-возвратно посредством сильфона 14, Электроэнергия от сварочного блока 3 по кабелю 15 поступает к токопроводящему башмаку 1 б пресса 17, установленного на станине с помощью кронштейна 18. Распределительный коллектор 4 выполнен в виде обоймы, установленной с помощью шарикоподшипников на неподвижной колонне 19, сообщающейся с резервуаром для инертного газа, не показанным на чертеже. Из резервуара инертный газ, пройдя изолированную полость коллектора 4 и вращающуюся кольцевую обойму 20, по трубе, через кран выпуска газа 21, поступает в рабочую камеру. Аналогичным путем осуществляется соединение камеры с вакуумной линией и подача охлаждающей воды из магистрали.Цикл обработки полупроводниковых приборов происходит з следующей последовательности.В первой позиции выгружают кассету с герметизированными приборами и загружают новую кассету. При повороте карусели 1, укрепленной а неподвижной станине 22, крышка 11 рабочей камеры 5, шарнирно подвешенная на рычаге 23, откидывается с помощью гидроцилиндра 24, шток которого втягивается при подъеме и вытягивается при опускании крышки.По окончании перезарядки камеры 5 крышка 11 закрывается, и карусель 1 совершает поворот на одну позицию. При повороте форвакуумный кран 25 с помощью копира 2 б открывается, соединяя рабочий объем с вакуумной линией через трубопровод и вакуумный коллектор. По достижении необходимого вакуума включается нагревательный элемент 10 и ведется процесс вакуумной сушки в нескольких, например пяти, позициях. После окончания сушки карусель 1, поворачиваясь, перемещает камеру 5 в позицию наполнения приборов инертным газом. Затем карусель 1, поворачиваясь, перемещает камеру в позицию пере- жима и заварки-герметизации, одновременно прекращая пуск инертного газа в камеру. После остановки карусели шток пресса 17, двигаясь поступательно вниз, башмаком 1 б нажимает на хвостовик электрода, осуществляя тем самым пережим и сварку приборов.Возвратная пружина осуществляет подъем электрода, Шток гидро- цилиндра 27, двигаясь вверх и нажимая на приводной рычаг 28 механизма поворота, перемещает кассету 7 с приборами. Затем пресс 17 производит пережим и заварку очередного прибора. По окончании герметизации всех приборов, размещенных в кассете, пережим и сварка прекращаются; карусель, поворачиваясь, перемещает камеру в первую позицию - выгрузки и загрузки.Далее процесс повторяется. Поворот карусели 1 осуществляется с помощью мальтийского механизма с количеством рабочих пазов, соответствующим количеству позиций полуавтомата.Предмет изобретенияПолуавтоматическое устройство для вакуумной откачки, сушки, наполнения инертным газом и герметизации полупроводниковых приборов, выполненное в виде вращающейся карусели с установленным на ней блоком откачки, сварочным блоком и распределительным коллектором, служащим для подачи инертного газа на рабочие позиции карусели, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности и упрощения конструкции полуавтомата, на карусели установлены рабо М 154953чие камеры с размещенными в них вращающимися групповыми кассетами, служащими для крепления полупроводниковых приборов, штенгели которых расположены на кольцевом сварочном электроде, вращающемся вместе с кассетой, а распределительный коллектор установлен на колонке, сообщающейся с резервуаром для инертного газа и снабженной вращающейся кольцевой обоймой, соединенной с рабочими камерами.154953 Риг 2 Редактор Л. М, Шипулина Техред А. А. Камышникова Корректор Ю. М. Федул Типогра ия, пр. Сапунова, 2. дп, к пец. 3/И 1 - 63 г. Фо ЦНИИПИ Государственного коми Москва, Ц