Патенты с меткой «154953»

Номер патента: 154953

Опубликовано: 01.01.1963

МПК: H01L 21/00

Метки: 154953

...сообщающейся с резервуаром для инертного газа, не показанным на чертеже. Из резервуара инертный газ, пройдя изолированную полость коллектора 4 и вращающуюся кольцевую обойму 20, по трубе, через кран выпуска газа 21, поступает в рабочую камеру. Аналогичным путем осуществляется соединение камеры с вакуумной линией и подача охлаждающей воды из магистрали.Цикл обработки полупроводниковых приборов происходит з следующей последовательности.В первой позиции выгружают кассету с герметизированными приборами и загружают новую кассету. При повороте карусели 1, укрепленной а неподвижной станине 22, крышка 11 рабочей камеры 5, шарнирно подвешенная на рычаге 23, откидывается с помощью гидроцилиндра 24, шток которого втягивается при подъеме и...