Устройство для перемещения деталей

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ДЕТАЛЕИ(57) Изобретение относится к устройствам для пееремещения и ориентации различных деталей и может быть использовано для работы в любой контролируемой атмосфере: вакууме, агрессивных средах, в технологических камерах по изготовлению ЭВП методом переноса. Цель изобретения - повышение долговечности. Устройство позволяет перемещать детали на большие расстояния с вращением вокруг центральной оси и обеспечивает дистанционное управление захватом без нарушения герметизации среды. Для этого оно снабжено основным валом, емонтированным в Г-образной стойке корГОСУДАРСТВЕННЫИ НОМИТЕ ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И пуса. Один конец основного вала соединен с первым герметичным вводом привода поворота, выполненным в виде электромагнитной экранированной синхронной муфты, на другом конце основного вала установлен с возможностью поворота полый вал, который через шестерню связан с вторым герметичным вводом привода линейного перемещения. Привод захвата выполнен в виде вала, установленного параллельно основному валу. Один конец вала соединен с третьим герметичным вводом привода захвата, а другой конец кинематически связан при помощи бесконечно перфорированной стальной ленты с валом-шестерней. Последний установлен соосно основному валу и через подпружиненную рейку, установленную на планке, связан с захватным устройством, состоящим из трех выступающих из планки равномерно расположенных по окружности эксцентриковых валиков, снабженных шестернями, кинематически связанными с одним из зубчатых венцов блок-шестерни, свободно установленной на оси. 2 ил.Изобретение относится к устройствам для перемещения и ориентации различных деталей и может быть использовано для работы в любой контролируемой атмосфере: вакууме, газонаполнецных и агрессивных средах, а также может быть использовано в электровакуумном производстве в составе технологических камер для изготовления электровакуумных н фотоэлектронных приборов методом переноса.Целью изобретения является повышение долговечности устройства Лля перемещения деталей.На, фиг. 1 показано предлагаемое устройство, общий вид, разрез; ца фиг. 2 разрез Л-Л на фиг. 1.Устройство состоит из корпуса 1, в котором на подшипниках смонтирован основной вал 2. На одном конце вала 2 установлена муфта 3, соединяющая его с первым герметичным вводом привода поворота, привочимым во вращение электродвигателем с редуктором 4 через муфту 5. На другом конце вала 2 в его торцевом гнезде ца подшипниках 6 установлен вал-шестерня 7, соединенный через опорный подшипник с Г-образной стойкой 8.С валом 2 сопряжены полый вал 9 и шцоцка 10. 11 олый вал 9 выполнен в виде круглой рейки по наружному диаметру вдоль образующей. Полый вал 9 кицематически связан через шестерню 11 с вторым герметичным вводом линейного перемещения, приводимым во вращение электродвигателем 2 с редуктором (фиг. 2).В Г-образной стойке 8 корпуса 1 смонтирован вал 13 параллельно основному валу 2. Олин конец вала 13 соединен через муфту 4 с третьим герметичным вводом привола захвата, приводимым во вращение электродвигателем 15 с редуктором, Другой конец вала 13 кинематически связан, например с помощью бесконечной перфорированной стальной ленты 16 с валом-шестерней 7. Для церемегцения ленты 16 на валу 13 смонтирован ведущий шкив 17, на валу-шестерне 7 смонтирован ведомый шкив 18. Шкивы 17 и 18 снабжены штифтами, предотвращающими проскальзывание ленты 16 при ее движении.Захватное устройство смонтировано ца планке9, прикрепленной к торцу полого вала 9. Оно состоит из трех выступаюцих за планку 19 равномерно расположенных по окружности эксцентриковых валиков 20, снабженных шестернями 21, кинематически связанными с одним из зубчатых венцов блок-шестерни 22, свободно устацовленый ца оси 23.Другой зубчатый венец блока-шестерни 22 кинематическц связан с валом-шестерней 7 через подпружиненную рейку 24. Пружина 25 обеспечивает необходимое усилие зажима захватываемых леталей.5055 5 10 15 20 25 30 35 40 Все три герметичных ввода, смонтированные в корпусе 1, выполнены в виде электромагнитных экранированных синхронных зубчатых муфт 1 - 111 вращательного движения, каждая из которых обеспечивает передачу вращения ведомому звену через неподвижную герметичную немагцитную стенку цилиндрические экраны 26 толщиной 0,5 мм.Экран 26 уплотняется относительно плиты корпуса 1 прокладкой 27 и крепится с помощью флаццевого соединения. Муфта состоит из наружной магнитной полумуфты 28 и внутренней магнитной полумуфты 29. Полумуфты имеют одинаковое число зубьев. Магнитный поток, создаваемый неподвижной электромагнитной катушкой 30, замыкается через зубья наружной и внутренней полумуфт, образуя их сцепление. Крутящий момент от электродвигателя с редуктором 4 передается ца наружнчю полу- муфту 28, при этом магнитный поток, создаваемый катушкой 30, заставляет вращаться внутреннюю цолумуфту 29 синхронно наружной полумуфте 28. Внутренняя полумуфта 29 находящаяся в рабочем пространстве технологической камеры, грашается в подшипниках 31.Устройство работает следующим образом.При включении электромагнитной муфты 111 и электродвигателя 5 вращение передается через муфту 14 валу 13. При повороте вала 13 поворачивается шкив 17, и с помощью ленты 16 поворачиваются шкив 18 и вал-шестерня 7, который перемешает сцеиляюгцуюся с ним рейку 24. Рейка 24 поворачивает блок-шестерню 22 и сцепляющиеся с ней шестерни 21, установленные на планке 19, обеспечивая синхронный разворот трех зажимных эксцентриковых валиков 20 по радиусу К. Поштучный самоцентрирующий зажим обра батываемых деталей осуществляется от пружины 25 через подпружиненную рейку после выключения электромагнитной муфты 111.Величина угла поворота вала 13 определяется датчиками положения, установленными в корпусе .После захвата детали осугцествляется ее подъем или опускание на некоторую величину при помощи реечной передачи. Для этого включаются электромагнитная муфта 11 и электродвигатель 12 (фиг. 2). Шестерня 11, вращаясь, перемещает полый вал 9, а вместе с ним планку 19 с захватным устройством и деталью по валу 2. Величина перемещения детали определяется датчиками положения, установленными в корпусе 1.Для вращения летали вокруг оси вала 2 или ее поворота на заданный угол вокруг той же оси выключается электродвигатель, при этом электромагнитная муфта 11 остается включенной.1255432 Форлула изобретения 17 1 б Затем включаются электромагнитная муфта 1 и эл ектродв и гател ь.Вал 2, вращаясь с помощью шпонки 10, передает вращение полому валу 9 вместе с закрепленной на нем планкой 19 с захватным устройством и деталью,Возврат детали в исходное положение происходит в обратной последовательности. Устройство для перемещения деталей преимущественно в герметичных камерах, содержащее корпус, приводы поворота, линейного перемещения и захвата, отличающееся тем, что, с целью повышения его долговечности, привод поворота выполнен в виде основного вала с установленным на нем с возможностью поворота дополнительным полым валом, концевое звено привода линейного перемещения жестко связано с корпусом захвата, причем на наружной поверхности полого вала нарезаны круговые зубья, предназначенные для взаимодействия с зубчатым элементом привода линейного перемещения, а привод захвата включает вал, установленный параллельно основному валу привода поворота и кинематически связанный при помощи гибкой передачи с введенным валом-шестерней, установленным соосно основному валу привода поворота.Редактор О. ЮрковепкаяЗаказ 4765/19 Составитель В. КурятииковаТехред И. Верес Корректор В. БутягаТираж 1031 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий13035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4