Интерферометр для измерения неплоскостности оптических поверхностей

ои 945643 ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сфюэ ;оветекихСфциалиетическихРеспублик(51)М. Кл,0 01 В 9/02 6 01 В 11/30 йвудврвееввИ квинтет СССР Ъ а явам вмбрвтеннН и втхвытвВ(72) Авторы изобретения С,П,Андреев, А,Е,Кравченко, М,А.Лебедев и Н.В,Мазаев Ордена Трудового Красного Знамени инсти ут Физики АН Белорусской ССРЗаявитель 54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ НЕПЛОСКОСТНОСТИ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ1изобретение. относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля качества оптических поверхностей. 5По основному авт.св. 11 700778 известен интерферометр для измерения неплоскостности оптических поверхностей, содержащий источник света1 О и расположенные по ходу светового луча коллиматор, зеркало, пластину с образцовой поверхностью, на которую нанесено отражающее покрытие, юстировочный столик, измерительный сто 15 лик, контрольную сетку, выполненную в виде двух прямых взаимно параллель. ных прозрачных штрихов на зеркальном покрытии, матовый экран, микровинт, Фотоприемники, электронный блок обра-го ботки и светоиндикаторы, причем фо- топриемники расположены один против другого под штрихами и попарно соединены по дифференциальной схеме в элект-ронном блоке обработки, к выходам которого подключены светоиндикаторы 111Недостатком известного интерферометра является невысокая точность измерения вследствие неравномерности светового поля, получаемого с помощью лазера при его работе, особенно в многомодовом режиме генерации.Цель изобретения - повышение тоцности измерения.Поставленная цель достигается тем, что интерферометр снабжен матовым диском с регулярно расположенными непрозрачными секторами, установленным в промежуточном фокусе коллиматора с возможностью вращения, направление этого вращения в плоскости поперечного сечения луча совпадает с направлением перемещения измерительного столика.На Фиг.1 изображен предлагаемый интерферометр, разрез; на фиг.2 вид А на Фиг,1; на фиг.3 - вид Б на фиг 1.з 94564Интерферометр содержит источник1 света, коллиматор 2, матовый диск3 с регулярно расположенными непрозрачными секторами 4 1 фиг.3), зеркало 5, пластину 6 с образцовой поверхностью 7, на которую нанесеноотражающее покрытие, юстировочныйстолик 8, измерительный столик 9,контрольную сетку 1 О, выполненнуюв виде двух прямых взаимно парал олельных прозрачных штрихов 11( Фиг.2) на зеркальном покрытии,фотоприемники 12, установленные одинпротив другого под разными штрихами11 контрольной сетки 10 и попарновключенные по дифференциальной схемев электронном блоке 13, матовый экран 14, микровинт 15 и светоиндика-,торы .16,В 20Пластина 6 с образцовой поверхностью 7 и контролируемая поверхность17 изделия 18 образуют интерференционную пару,Источник 1 света должен быть моюнохроматицным и с малой расходимостьюлуча, например газовый лазер.ФУстройство работает следующим образом,Луч от источника 1 света фокусируется в промежуточном фокусе коллиматора 2 на краю вращающегося матовогодиска 3,Ось вращения матового диска 3 расположена строго под лучом, размерсфокусированного луца мал и не превышает 50 нкм в диаметре, так что,практически, перемещение освещеннойповерхности матового диска происходит по направлению координатной осиХ, Таким образом устраняется нерав - 4 ономерность светового поля источника1 света. 4 наличие непрозрачных секторов 4 создает модуляцию световогопотока,После коллиматора 2 параллельный 45пучок света направляется зеркалом 5а интерференциальный зазор, образуемый образцовой поверхностью 7 пластины 6 и контролируемой поверхностью17 изделия 18, Интерференцирнная кар отина в виде полос 19 1 фиг.2 ) благодаря малой расходимости луча передается без искажений на контрольнуюсетку 10 и матовый экран 14. Свет,прошедший сквозь штрихи 11, попа- удает на фотоприемники 12. Посредством юстировоцного столика 8 оператор обеспечивает примерную парал 3 4-лельность интерференционных полос 19 штрихами 11.При перемещении измерительного столика 9 с помощью микровинта 15, наблюдая картину на матовом экране 14, по светоиндикаторам 16 определяют моменты симметричного положения фотоприемников 12 относительно интерференционной полосы для каждой пары фотоприемников по соответствующим им направлениям 1, 1, В и т.д.Снимают показания микровинта 15 в эти моменты и вычисляют наибольшее искривление интерференционных полос Ь Х и расстояние между интерференционными полосами Х. Величина неплоскостности контролируемой поверхности 17 ь 1 в долях длины волны излучения А определяется по формуле4= х-ьх,3,Перемещение измерительного столика 9 осуществляется по оси Х, в этом же направлении расположены один относительно другого фотоприемники 12 в паре, а поскольку, в этом же направлении создана. наилучшая равномерность освещения, все это способствует повышению точности измерений. Этому же способствует возможность использовать синхронный принцип обработки сигналов в электронном блоке, обеспечиваемая благодаря модуляции излучения от источника света.формулаизобретенияИнтерферометр для измерения неплоскостности оптических поверхностей по авт.св. Ю 700778, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюуповышения точности измерения, онснабжен матовым диском с регулярно расположенными непрозрачными секторами, установленным в промежуточномфокусе коллиматора с возможностьювращения, направление этого вращенияв плоскости поперечного сечения луча совпадает с направлением перемещения измерительного столика,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1 Авторское свидетельство СССРИ 700778, кл. С 01 В 11/30, 1978956 ч 3 ФР 42 Составитель Л,ЛобзоваРедактор О.Юрковецкая Техред К.Рейвес Корректор А Азяткое е ЮЕ е в шва е Ш ю ее ее ее а исное 11303 иал ППП цВа нт", г. Ужгород, ул. Проектная, М 1УиИ 43 аказ 5312/57 Тираж 611 ВНИИПИ Государственного комитета СС ло делам изобретений и открыт 5, Москва, 1-35,.Раушская наб, биде 1