Книпович

Номер патента: 1732312

Опубликовано: 07.05.1992

Авторы: Воронина, Гаськов, Книпович, Конюшкина

МПК: G02B 5/28

Метки: защитного, кремниевых, оптических, поверхности, покрытия, элементов

...из кремния помещается через шлиф 4 на кварцевую платформу 5. Азотная смесь вводится в реактор через кран 7, пройдя систему очистки, Скорость газового потока измеряется ротаметром 8, регулировка скорости проводится краном 7. Датчики 9 измерения давления располагаются на входе и выходе из реактора. Проточный режим работы реактора обеспечивается форвакуумным насосом НВЗ. Для предварительного обезгаживания стенок реактора используется магниторазрядный насос "НОРД". Электрическое питание разряда осуществляется от блока питания БПи разрядного блока (не показаны). Суммарная емкость конденсаторной батареи 4,17 мкф, напрякение на электродах 1200 - 1300 В, длительность импульса 20 мкс, частота 20 Гц.Способ осуществляют следующим...

Номер патента: 1730202

Опубликовано: 30.04.1992

Авторы: Ашурлы, Воронина, Горохова, Книпович, Конюшкина

МПК: C23G 5/00

Метки: зеркал, медных, поверхности

...- 30 мин при комнатной температуре и скорости потока 0,5 - 2 л/ч.Изобретение позволяет: повысить коэффициент зеркального отражения медных поверхностей на длине волны А = 10,6 мкм; исключить влияние предлагаемой обработки на шероховатость поверхности медных зеркал; исключить радиационные повреждения медных Зеркал; упростить проведение процесса очистки медных зеркал ввиду того, что в предлагаемом способе нет необходимости в применении сложного высоко- вакуумного оборудования и ионных источников; изобретение дает возможность осуществлять очистку поверхности оптических элементов из меди сложной конфигурации. 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 На чертеже представлена схема установки, реализующей предложенный способ,Основной ее частью является...

Номер патента: 1664871

Опубликовано: 23.07.1991

Авторы: Воронина, Горохова, Книпович, Конюшкина

МПК: C23C 8/36, G02B 5/28

Метки: меди, медных, нитрида, оптических, покрытия, элементах

...ухудшается коэффициент зеркальногоотражения (КЗО) оптических элементов,Затем включают импульсный конденсированный разряд, Время обработки зеркалав зоне послесвечения разряда соответствует времени горения разряда, Оптимальноевремя обработки составляет 50 - 70 мин, Выдерживание оптического элемента в азотном послесвечении менее 50 мин приводитк образованию тонкой пленки, не обеспечивающей лучевой и адгезионной прочностипокрытия, Обработка более 70 мин не приводит к увеличению толщины покрытия,Контроль химического состава полученных покрытий проводят методом ожеспектроскопии на образцах-свидетелях.Получаемые покрытия. состоят из нитридамеди Снах с небольшой примесью карбидамеди. Оксид меди не обнаружен как в покрытии, так и при...