Интерферометр для контроля качества оптических поверхностей

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 0% 01) Эцио С 01 В 9/021 С 01 В 11/24 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТЮ(56) 1. Коломийцев Ю.В. Интерферометры. Л , "Машиностроение", 1976,с. 52,2, Авторское свидетельство СССРУ .425043, кл. С 01 В 11/30, 1974(54) (57) 1. ИНТЕРфЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ, содержащий последовательно расположенные монохроматический источник света, телескопическую системуи светоделитель, делящий световойпоток на две ветви, микрообъектив,объектив и опорный оптический элемент, расположенные в первой ветви,плоское зеркало, голограмму, объектив, диафрагму и регистратор, расположенные во второй ветви о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюповышения точности контроля, он снабжен последовательно расположеннымиза микрообъективом прямоугольнойпризмой и сферическим зеркалом,установленным так, что центр кривизны его совпадает с задней фокальнойплоскостью объектива.11043622. Интерферометр по п,1, о т л и" ковыпуклой линзы и мениска, обращенч а ю щ и й с я тем, что объектив ного вогнутостью к двояковыпуклой первой ветви выполнен в виде двоя- ,линзе.Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь зовано, в частности при контроле качества оптических поверхностей.Известен интерферометр физо для контроля качества плоских поверхностей, содержащий последовательно расположенные источник монохроматическо го света, линзу, диафрагму и свето- делитель, делящий световой поток на две ветви, окуляр, объектив и клиновидную образцовую пластину 1 .Недостатком интерферометра является низкая точность контроля.Наиболее близким по технической 1 сущности к изобретению является интерферометр для контроля качества ,оптических поверхностей, содержащий последовательно расположенные моно- хроматический источник света, теле скопическую систему и светоделитель, делящий световой поток на две ветви, 1микрообъектив, объектив и опорный оптический элемент,.расположенные в первой ветви, плоское зеркало, 25 голограмму, объектив, диафрагму и регистратор, расположенные во вто рой ветви 2 Д.Недостатком известного интерферометра является невысокая точность. 30 контроля из-за одноразового отражения волнового фронта от контролируемой поверхности. На чертеже изображена оптическаясхема интерферометра для контролякачества оптических поверхностей.Интерферометр содержит монохроматический источник 1 света, телескопическую систему 2 и светоделитель3, делящий световой поток на двеветви, микрообъектив 4, прямоугольнуюпризму 5, объектив 6, сферическоезеркало 7, установленное так, чтоцентр кривизны его совпадает с задней фокальной плоскостью объектива6, опорный оптический элемент 8,плоское зеркало 9, голограмму 10,объектив 11, диафрагму 12 и регистратор 13.Объектив 6 может быть выполненв виде двояковыпуклой линзы 14 имениска 15, обращенного вогнутостьюк двояковыпуклой линзе 14,Описываемый интерферометр работает следующим образом.Предварительно производят записьголограммы 10: пучок лучей от монохроматического источника 1 светарасширяется телескопической системой2 и разделяется светоделителем 3на два пучка. Один пучок собйраетсямикрообъективом 4 на поверхностипризмы 5 в фокальной плоскости объектива 6, преобразуется объективом6 в параллельный пучок, отражаетсяот поверхности опорного оптическогоэлемента 8 и собирается объективом6 в центре кривизны зеркала 7. Отра Целью изобретения является повышение точности контроля.Поставленная цель достигается тем, что интерферометр для контроля качества оптических поверхностей, содержащий последовательно расположен ные монохроматический источник света, телескопическую систему и светоделитель, делящий световой поток на две ветви, микрообъектив, объектив и опорный оптический элемент, распо ложенные в первой ветви, плоекое зеркало, голограмму, объектив, диафрагму и регистратор, расположенные во второй ветви, снабжен последовательно расположенными за микрообъективом прямоугольной призмой и сферическим зеркалом, установленным так, что центр кривизны его совпадает с задней фокальной плоскостью объектива.Кроме того, объектив первой ветви выполнен в виде двояковыпуклой линзы и мениска, обращенного вогнутостью к двояковыпуклой линзе.1104362 Составитель Л.ЛобзоваРедактор Н.Лазаренко Техред А, Ач Корректор А.Дзятко Заказ 5201/28 Тираж 587 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушскаа наб д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 зившись от зеркала 7, пучок проходит свой путь в обратной последовательности и попадает на голограмму 10. На голограмму 10 попадает, отразившись от зеркала 9, вторая часть пучка, где и интерферирует с первой. После фотопроцесса на место опорной поверхности оптического элемента 8 устанавливают контролируемую поверхность и производят ее исследование,При контроле поверхностей с различными коэффициентами отражения в качестве зеркала 9 используются плоские пластинки с различными покрытиями. Повышение точности контроля в описываемом интерферометре достигается за счет двойного отражения волнового фронта от контролируемой поверхности.Поэтому в наблюдаемой интерференци- Оонной картине заложена удвоенная ошибка контролируемой поверхности.