Интерферометр для измерения неплоскостности оптических поверхностей

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(51)М, Кл,2 с присоединением заявки Нов С 01 В 9/02О 01 В 11/30 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(72) Авторы изобретения С.П.Андреев, А.Е.Кравченко,и О.М,Смирнова Специальное конструкторско-технологическое бюро с опы 11 ным производством Института Физики АН Белорусской ССР(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ НЕПЛОСКОСТНОСТИ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ25 Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано, в частности, при измерении неплоскостности оптических поверхностей.Наиболее близким к изобретению по технической сущности является интерферометр для измерения неплоскостности оптических поверхностей, содержащий источник света и расположенные по ходу световых лучей коллиматор, пластину с образцовой поверхностью, фотоприемники, электронный блок обработки и две диафрагмы, одна из которых неподвижно установлена на оптической оси, а другая с возможностью перемещения по полюинтерферометра (1) .Лучи, прошедшие сквозь диафрагмы, интерферируют и приводятся на фотоприемники, сигналы с которых выво;дятся на электронный блок обработки, Величина изменения сигнала соответ" ствует степени плоскопараллельности интерференционного зазора, характеризующей неплоскостность оптических поверхностейНедостатком известного устройства является иедостаточно высокая производительность измерения. Целью изобретения является повышение производительности измерения.Это достигается тем, что предлагаемый интерферометр снабжен, экраном и контрольной сеткой, распойоженной между пластиной с образцовой поверхностью и экраном и выполненной в виде двух прямых взаимно параллель- ных прозрачных штрихов на зеркальном покрытии, а фотоприемники расположены один против другого под штрихами и попарно соединены по дифференциальной схеме. На фиг.1 изображен предлагаемыйинтерферометр, разрез; на фиг.2,вид по стрелке А Фиг.1,Интерферометр содержит источник 1света, коллиматор 2, зеркало 3, пластину 4 с образцовой поверхностью 5,на которую нанесено отражающее покрытие, юстировочный столик 6, измерительный столик 7, контрольную сетку8, выполненную в виде двух прямыхвзаимно параллельных прозрачныхштрихов 9 (см,фиг.2) на зеркальномпокрытии, Фотоприемники 10; матовыйэкран 11, микровинт 12, электронныйбдок 13 обработки и светОиндикаторы 14.Пластина 4 с образцовой поверхностью 5 и контролируемая поверхность1 5 с изделием 1 б образуют интерференционную пару. Фотоприемники 10 установлены под штрихами 9 сетки 8 наизмерительном столике 7, стоят одинпротив другого под разными штрихамии попарно соединены по дифференциаль.ной схеме в электронном блоке 13обработки,Источник света должен быть монохроматичным и с малой расходимостьюлуча, например газовый лазер.Работает интерферометр следующим .образом.Луч источника света, расширенныйколлиматором 2 и отраженный зеркалом3, проходит интерференционный зазор.Интерференционная картина в видеполос 17 (см.фиг.2),благодаря малой расходимости луча передается 2 Обез искажений на контрольную сетку8 и экран 11. Свет, прошедший сквозьштрихи 9, попадает на Фотоприемники 10.Посредством юстировочного столикаб оператор обеспечивает примерную25параллельность интерференционныхполос 17 штрихам 9.При,перемещении измерительногостолика 7 с помощью микровинта 12,наблюдая картину на матовом экране11 по светоиндикаторам 14, определяют моменты симметричного положения фотоприемников 10 относительноинтерференционной полосы для каждойпары фотоприемников по соответствующим им направлениям 1, 11, 111 и т.д,Снимают показания микровинта 12 вэти моменты и вычисляют наибольшееискривление интерференционных полос ьХ и расстояние между интерференционными полосами Х. Величина неплоскост ности проверяемой поверхности ьС в долях длины А излучения проверяется по ФормулеАХ. ХьС= -- ,х д.В качестве фотоприемников могут быть использованы, например, координатные ФотодиодыФормула изобретенияИнтерферометр для измерения не- плоскостности оптических поверхностей, содержащий источник света и расположенные по ходу световых лучей коллиматор, пластину с образцовой поверхностью, фотоприемники и электронный блок обработки,о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения производительности измерения, он снабжен экраном и контрольной сеткой, расположенной между пластиной с образцовой поверхностью и экраном и выполненной в виде двух прямых взаимно параллельных прозрачных штрихов на зеркальном покрытии, а фотоприемники расположены один против другого под штрихами и попарно соединены по дифференциальной схеме.Источники информации, принятыево внимание при экспертизе1. Клементьева В,Г. Определение формы отражающих поверхностей быстро- сканирующего интерферометра ФабриПеро. - Оптико-механическая промыш ленность, 1978, У 1, с,б 3-65.700778 Сос вител Д Л.Ал Редактор О,Юркова е аказ 7375/3 коми и откр ская н ПП фПатент, г. Ужгород, ул. Проектная,фил ЦНИИПИ Госу по делам 113035, Москв